以原子層沉積法摻雜鉿於鍺通道材料之介面層之研究
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論文名稱以原子層沉積法摻雜鉿於鍺通道材料之介面層之研究的作者是陳尚群, 指導教授是簡昭欣, 學位類別是碩士, 畢業學年度是111, 論文名稱(外文)是A Study of Incorporation of Hafnium in Interfacial Layer of Germanium Channel by Atomic Layer Deposition Method, 系所名稱是電子研究所, 學校名稱是國立陽明交通大學.

論文名稱以原子層沉積法摻雜鉿於鍺通道材料之介面層之研究
論文名稱(外文)A Study of Incorporation of Hafnium in Interfacial Layer of Germanium Channel by Atomic Layer Deposition Method
學校名稱國立陽明交通大學
系所名稱電子研究所
畢業學年度111
學位類別碩士
作者陳尚群
指導教授簡昭欣
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/22722u

論文名稱

以原子層沉積法摻雜鉿於鍺通道材料之介面層之研究

論文名稱(外文)

A Study of Incorporation of Hafnium in Interfacial Layer of Germanium Channel by Atomic Layer Deposition Method

學校名稱

國立陽明交通大學

系所名稱

電子研究所

畢業學年度

111

學位類別

碩士

作者

陳尚群

指導教授

簡昭欣

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/22722u

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