以本體推論系統結合長短期記憶模型探討離子束蝕刻冷卻系統之剩餘使用壽命及故障原因預知
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論文名稱以本體推論系統結合長短期記憶模型探討離子束蝕刻冷卻系統之剩餘使用壽命及故障原因預知的作者是李宜舫, 指導教授是黃欽印林育儒, 學位類別是碩士, 畢業學年度是111, 論文名稱(外文)是Predicting Remaining Useful Life and Fault Causes of Ion Mill Etching Cooling System by Integrating Ontology Reasoning System with Long Short-Term Mem..., 系所名稱是工業工程與經營資訊學系, 學校名稱是東海大學.

論文名稱	以本體推論系統結合長短期記憶模型探討離子束蝕刻冷卻系統之剩餘使用壽命及故障原因預知
論文名稱(外文)	Predicting Remaining Useful Life and Fault Causes of Ion Mill Etching Cooling System by Integrating Ontology Reasoning System with Long Short-Term Memory Model
學校名稱	東海大學
系所名稱	工業工程與經營資訊學系
畢業學年度	111
學位類別	碩士
作者	李宜舫
指導教授	黃欽印林育儒
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/pfw7x7

論文名稱

以本體推論系統結合長短期記憶模型探討離子束蝕刻冷卻系統之剩餘使用壽命及故障原因預知

論文名稱(外文)

Predicting Remaining Useful Life and Fault Causes of Ion Mill Etching Cooling System by Integrating Ontology Reasoning System with Long Short-Term Memory Model

學校名稱

東海大學

系所名稱

工業工程與經營資訊學系

畢業學年度

111

學位類別

碩士

作者

李宜舫

指導教授

黃欽印林育儒

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/pfw7x7

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