以自組裝單分子做為矽基材之阻障層進行區域選擇性蝕刻與區域選擇性沉積
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論文名稱以自組裝單分子做為矽基材之阻障層進行區域選擇性蝕刻與區域選擇性沉積的作者是高維澤, 指導教授是陳良益, 學位類別是碩士, 畢業學年度是111, 論文名稱(外文)是Area-Selective Etching and Area-Selective Deposition on Silicon Substrates Using Self-Assembled Monolayers as Barrier Layer, 系所名稱是化學工程系, 學校名稱是國立臺灣科技大學.

論文名稱以自組裝單分子做為矽基材之阻障層進行區域選擇性蝕刻與區域選擇性沉積
論文名稱(外文)Area-Selective Etching and Area-Selective Deposition on Silicon Substrates Using Self-Assembled Monolayers as Barrier Layer
學校名稱國立臺灣科技大學
系所名稱化學工程系
畢業學年度111
學位類別碩士
作者高維澤
指導教授陳良益
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/axbskh

論文名稱

以自組裝單分子做為矽基材之阻障層進行區域選擇性蝕刻與區域選擇性沉積

論文名稱(外文)

Area-Selective Etching and Area-Selective Deposition on Silicon Substrates Using Self-Assembled Monolayers as Barrier Layer

學校名稱

國立臺灣科技大學

系所名稱

化學工程系

畢業學年度

111

學位類別

碩士

作者

高維澤

指導教授

陳良益

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/axbskh

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登記地址: 基隆市中正區義一路67號1樓 | 負責人: 高維澤 | 統編: 31501802 | 歇業 - 獨資 (核准文號: 1070000976)

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