Si多層結構壓電基板特性與應用之研究
- 國家科學及技術委員會工程科技研究成果報告清冊 @ 國家科學及技術委員會

計畫名稱AlN/Diamond/Si多層結構壓電基板特性與應用之研究的計畫編號是NSC98-2221-E-214-008-MY2, 日期是20090801, 序號是112045.

序號	112045
計畫編號	NSC98-2221-E-214-008-MY2
計畫名稱	AlN/Diamond/Si多層結構壓電基板特性與應用之研究
日期	20090801
報告網址	http://www.etop.org.tw/index.php?c=adm11252&m=getReportFile&d=adm&i=112045

序號

112045

計畫編號

NSC98-2221-E-214-008-MY2

計畫名稱

AlN/Diamond/Si多層結構壓電基板特性與應用之研究

日期

20090801

報告網址

http://www.etop.org.tw/index.php?c=adm11252&m=getReportFile&d=adm&i=112045

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