計畫名稱以奈米機電製程為基礎之極紫外光平行直寫微影系統技術之研發--子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造的計畫編號是NSC98-2221-E-002-166-, 日期是20090801, 序號是121108.
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與以奈米機電製程為基礎之極紫外光平行直寫微影系統技術之研發--子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造同分類的國家科學及技術委員會工程科技研究成果報告清冊
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-027- | 日期: 20080801 | 序號: 95429 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-028- | 日期: 20080801 | 序號: 95430 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-029- | 日期: 20080801 | 序號: 95431 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-030- | 日期: 20080801 | 序號: 95432 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-031- | 日期: 20080801 | 序號: 95433 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-035- | 日期: 20080801 | 序號: 95434 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-036- | 日期: 20080801 | 序號: 95435 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-037- | 日期: 20080801 | 序號: 95436 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-038- | 日期: 20080801 | 序號: 95437 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-039- | 日期: 20080801 | 序號: 95438 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-324-049- | 日期: 20080801 | 序號: 95439 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-327-027- | 日期: 20080801 | 序號: 95440 |
| 計畫編號: NSC97-2221-E-327-028- | 日期: 20080801 | 序號: 95441 |
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計畫編號: NSC97-2221-E-324-027- | 日期: 20080801 | 序號: 95429 |
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計畫編號: NSC97-2221-E-327-030- | 日期: 20080801 | 序號: 95443 |
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