Effect of substrate bias on the promotion of nanocrystalline silicon growth from He-diluted SiH4 pla
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titleEffect of substrate bias on the promotion of nanocrystalline silicon growth from He-diluted SiH4 plasma at low temperature的creator是D. Das;D. Raha;W. C. Chen;K. H. Chen;C. T. Wu;L. C. Chen, date是2012, contributor是原子與分子科學研究所, language是en, description.note是已出版;[SCI];有審查制度;具代表性, relation是JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH 27, 1303, type是article.

contributor	原子與分子科學研究所
creator	D. Das \| D. Raha \| W. C. Chen \| K. H. Chen \| C. T. Wu \| L. C. Chen
date	2012
description.sponsorship	原子與分子科學研究所
description.note	已出版;[SCI];有審查制度;具代表性
language	en
publisher	(空)
relation	JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH 27, 1303
title	Effect of substrate bias on the promotion of nanocrystalline silicon growth from He-diluted SiH4 plasma at low temperature
type	article

contributor

原子與分子科學研究所

creator

date

2012

description.sponsorship

原子與分子科學研究所

description.note

已出版;[SCI];有審查制度;具代表性

language

publisher

(空)

relation

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH 27, 1303

title

Effect of substrate bias on the promotion of nanocrystalline silicon growth from He-diluted SiH4 plasma at low temperature

type

article

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螢光奈米鑽石為基礎之量子感測與量子光學	計畫主持人(中): 張銘顯、陳應誠 \| 計畫編號: AS-104-TP-A10 \| 計畫主持人所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所、中研院原子與分子科學研究所 \| 參與研究人員所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所 \| 西元年: 2014 \| 執行期間(起): 2015-01-01 \| 執行期間(迄): 2017-12-31 \| 備註: NULL @ 中央研究院主題研究計畫核定通過名單
光電化學分解水產氫之研究	計畫主持人(中): 陳貴賢 \| 計畫編號: AS-98-TP-A05 \| 計畫主持人所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所 \| 參與研究人員所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所、陽明大學生醫光電研究所、台灣大學凝態科學研究中心、海洋大學光電科學研究所、台灣大學化學系 \| 西元年: 2008 \| 執行期間(起): 2009-01-01 \| 執行期間(迄): 2011-12-31 \| 備註: NULL @ 中央研究院主題研究計畫核定通過名單
基質輔助雷射脫附離子化機制、軟X光的光游離及光分解動力學、及其在生物分子質譜學上的應用	計畫主持人(中): 倪其焜、胡維平 \| 計畫編號: AS-102-TP-A08 \| 計畫主持人所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所、國立中正大學化學暨生物化學系 \| 參與研究人員所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所、國立中正大學化學暨生物化學系、國立交通大學應用化學系、國家同步輻射研究中心科學研究組 \| 西元年: 2012 \| 執行期間(起): 2013-01-01 \| 執行期間(迄): 2015-12-31 \| 備註: NULL @ 中央研究院主題研究計畫核定通過名單
熱電材料作為新能源的研	計畫主持人(中): 陳貴賢 \| 計畫編號: AS-100-TP2-A01 \| 計畫主持人所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所 \| 參與研究人員所屬單位(中): 中研院原子與分子科學研究所、中研院物理研究所、中研院化學研究所、國立台灣大學凝態科學研究中心 \| 西元年: 2010 \| 執行期間(起): 2011-01-01 \| 執行期間(迄): 2012-12-31 \| 備註: NULL @ 中央研究院主題研究計畫核定通過名單
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