Atomic Layer Etching of Large-area 2D Materials
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titleAtomic Layer Etching of Large-area 2D Materials的creator是Chia-Wei Liu;Kuan-Chao Chen;Shih-Yen Lin, date是2018-12-06, contributor是應用科學研究中心, language是en, description.note是已出版;有審查制度, relation是OPTIC 2018 (Tainan, Taiwan : NCTU), type是conference.

contributor應用科學研究中心
creatorChia-Wei Liu | Kuan-Chao Chen | Shih-Yen Lin
date2018-12-06
description.sponsorship應用科學研究中心
description.note已出版;有審查制度
languageen
relationOPTIC 2018 (Tainan, Taiwan : NCTU)
titleAtomic Layer Etching of Large-area 2D Materials
typeconference

contributor

應用科學研究中心

creator

Chia-Wei Liu | Kuan-Chao Chen | Shih-Yen Lin

date

2018-12-06

description.sponsorship

應用科學研究中心

description.note

已出版;有審查制度

language

en

relation

OPTIC 2018 (Tainan, Taiwan : NCTU)

title

Atomic Layer Etching of Large-area 2D Materials

type

conference

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