Atomic-layer etching of transition metal dichalcogenides and equivalent selective etching of their h
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titleAtomic-layer etching of transition metal dichalcogenides and equivalent selective etching of their hetero-structures的creator是Kuan-Chao Chen;Chia-Wei Liu;Si-Chen Lee;Shih-Yen Lin, date是2018-09-10, contributor是應用科學研究中心, language是en, description.note是已出版;有審查制度, relation是Graphene Week 2018 (San Sebastian, Spain : Graphene Flagship), type是conference.

contributor應用科學研究中心
creatorKuan-Chao Chen | Chia-Wei Liu | Si-Chen Lee | Shih-Yen Lin
date2018-09-10
description.sponsorship應用科學研究中心
description.note已出版;有審查制度
languageen
relationGraphene Week 2018 (San Sebastian, Spain : Graphene Flagship)
titleAtomic-layer etching of transition metal dichalcogenides and equivalent selective etching of their hetero-structures
typeconference

contributor

應用科學研究中心

creator

Kuan-Chao Chen | Chia-Wei Liu | Si-Chen Lee | Shih-Yen Lin

date

2018-09-10

description.sponsorship

應用科學研究中心

description.note

已出版;有審查制度

language

en

relation

Graphene Week 2018 (San Sebastian, Spain : Graphene Flagship)

title

Atomic-layer etching of transition metal dichalcogenides and equivalent selective etching of their hetero-structures

type

conference

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