懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法的核准國家是美國, 證書號碼是7523643, 專利性質是發明, 執行單位是工研院南分院, 產出年度是98, 計畫名稱是南部產業關鍵技術計畫, 專利發明人是陳榮泰 ,李佳言 ,邱以泰 ,朱俊勳 ,.

序號	5239
產出年度	98
領域別	(空)
專利名稱-中文	懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法
執行單位	工研院南分院
產出單位	(空)
計畫名稱	南部產業關鍵技術計畫
專利發明人	陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳
核准國家	美國
獲證日期	(空)
證書號碼	7523643
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法，係包括:提供一具有第一及第二表面之基板﹔該基板之第一表面及第二表面經氧化製程以形成一第一及第二氧化層﹔於該基板之第一氧化層依序形成一電阻感應層及濕度感應層﹔以及於該基板形成一貫穿第一及第二氧化層之開口，並於該開口中保留形成一懸臂，使該基板之懸臂上具有濕度感應層及電阻感應層，俾藉由該濕度感應層隨濕度變化而改變體積使電阻感應層產生變形，以用於感測環境的濕氣值。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-59117812
傳真	03-5917431
電子信箱	noralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	20100503-Joanne
特殊情形	(空)

序號

5239

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法

執行單位

工研院南分院

產出單位

(空)

計畫名稱

南部產業關鍵技術計畫

專利發明人

陳榮泰 | 李佳言 | 邱以泰 | 朱俊勳

核准國家

美國

獲證日期

(空)

證書號碼

7523643

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法，係包括:提供一具有第一及第二表面之基板﹔該基板之第一表面及第二表面經氧化製程以形成一第一及第二氧化層﹔於該基板之第一氧化層依序形成一電阻感應層及濕度感應層﹔以及於該基板形成一貫穿第一及第二氧化層之開口，並於該開口中保留形成一懸臂，使該基板之懸臂上具有濕度感應層及電阻感應層，俾藉由該濕度感應層隨濕度變化而改變體積使電阻感應層產生變形，以用於感測環境的濕氣值。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-59117812

傳真

03-5917431

電子信箱

noralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

20100503-Joanne

特殊情形

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后港福德宮

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懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I279536 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 96 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰李佳言邱以泰朱俊勳 @ 技術司專利資料集
懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,523,643 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 98 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
懸臂式電阻濕度感測結構及其制法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200610058514.8 \| 專利期間起: 1999/10/6 \| 專利期間訖: 115/03/09 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集

懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法

電阻式微橋濕度感測結構及其制造方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200610145706.2 \| 專利期間起: 1999/8/25 \| 專利期間訖: 115/11/13 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
電阻式微橋濕度感測結構及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I319479 \| 專利期間起: 1999/1/11 \| 專利期間訖: 115/10/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
電阻式微橋濕度感測結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,770,449 \| 專利期間起: 99/08/10 \| 專利期間訖: 117/04/11 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
電阻式微橋濕度感測結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7770449 \| 專利期間起: 1999/8/10 \| 專利期間訖: 117/04/11 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集

多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,904,736 \| 專利期間起: 100/03/08 \| 專利期間訖: 119/01/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平 \| 李政崑 \| 莊國煜 \| 吳宗憲 @ 技術司專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,916,129 \| 專利期間起: 100/03/29 \| 專利期間訖: 118/03/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜 \| 蕭詠今 \| 陳右凱 \| 李森 \| 楊博智 @ 技術司專利資料集
多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7904736 \| 專利期間起: 100/03/08 \| 專利期間訖: 119/01/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平 \| 李政崑 \| 莊國煜 \| 吳宗憲 @ 技術司專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7916129 \| 專利期間起: 100/03/29 \| 專利期間訖: 118/03/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜 \| 蕭詠今 \| 陳右凱 \| 李森 \| 楊博智 @ 技術司專利資料集
靜電放電防護電路	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,692,907 \| 專利期間起: 99/04/06 \| 專利期間訖: 117/03/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 資訊與通訊領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳世宏 \| 柯明道 @ 技術司專利資料集
壓電驅動光學鏡頭	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,511,904 \| 專利期間起: 98/03/31 \| 專利期間訖: 116/05/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 胡朝彰 \| 蘇漢威 \| 沈聖智 @ 技術司專利資料集
氫甲醯化製程	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,683,219 \| 專利期間起: 99/03/23 \| 專利期間訖: 118/03/22 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 薛茂霖 \| 楊浩熏 \| 時國誠 \| 蘇再添 @ 技術司專利資料集
停車管理系統及裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200710159782.3 \| 專利期間起: 100/03/16 \| 專利期間訖: 116/12/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 郭倫嘉 \| 吳忠郼 \| 沈仲九 \| 黃士一 @ 技術司專利資料集

熱釋電型感測器信號轉換電路	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 197821 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 涂鐘範 \| 林耀明
顯示裝置之檢測系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220689 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 田立芬 \| 葉峻毅 \| 楊福祥
寬頻掃頻電路架構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198444 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 郭晉榮 \| 謝賜山
光源產生裝置及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200164 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 林勝雄 \| 江敏華 \| 郭葉琮
相位差調整裝置及方法以及應用該相位差調整裝置之感測裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 206753 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 楊景榮 \| 高清芬 \| 陳譽元
新型窄長平直薄型基材專用浸泡塗佈裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 206450 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 葉清銘 \| 陳燦林 \| 陳譽元
反射尺讀頭裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 201496 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 林慶芳 \| 高清芬 \| 陳燦林 \| 陳譽元
物體表面三維形貌量測方法和系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200161 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 自動光學顯微檢測設備技術三年計畫 \| 專利發明人: 宋新岳 \| 田立芬
利用共軛光路量測二維位移量之方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,744,520 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張中柱 \| 高清芬 \| 李世光
紅外光轉換可見光之顯微影像裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,687,051 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 王浩偉 \| 林耀明 \| 葉迎春
可調光徑之光學捕捉裙	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,667,838 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 林耀明 \| 王浩偉 \| 羅偕益
利用雙波混合干涉術之掃瞄式超音波裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194233 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 李朱育 \| 施學兢
全光學激發雷射外調制式之原子鐘裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200261 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 姚鵬 \| 陳志光
控制奈米碳管長度之方法與裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200165 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 戴鴻名 \| 施能謙 \| 陳燦林
平面定位機構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 201505 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院量測中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 林慶芳 \| 張中柱

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