結合模型預測控制和鏈散射式描述於晶圓檢測平台的控制器設計
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論文名稱結合模型預測控制和鏈散射式描述於晶圓檢測平台的控制器設計的作者是鄭皓庭, 指導教授是顏家鈺, 學位類別是碩士, 畢業學年度是112, 論文名稱(外文)是Controller design of a Wafer Inspection Platform by combining Model Predictive Control and Chain Scattering Description, 系所名稱是機械工程系, 學校名稱是國立臺灣科技大學.

論文名稱	結合模型預測控制和鏈散射式描述於晶圓檢測平台的控制器設計
論文名稱(外文)	Controller design of a Wafer Inspection Platform by combining Model Predictive Control and Chain Scattering Description
學校名稱	國立臺灣科技大學
系所名稱	機械工程系
畢業學年度	112
學位類別	碩士
作者	鄭皓庭
指導教授	顏家鈺
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/4ua9y8

論文名稱

結合模型預測控制和鏈散射式描述於晶圓檢測平台的控制器設計

論文名稱(外文)

Controller design of a Wafer Inspection Platform by combining Model Predictive Control and Chain Scattering Description

學校名稱

國立臺灣科技大學

系所名稱

機械工程系

畢業學年度

112

學位類別

碩士

作者

鄭皓庭

指導教授

顏家鈺

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/4ua9y8

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瑪尼亞斯設計有限公司臺北市大安區信義路4段1號2樓	鄭皓庭	60699048	核准設立
回頭望工作室新北市板橋區東門街30之2號1樓之45	鄭皓庭	91252139	核准設立 - 獨資 (核准文號: 1108176038)

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