光學顯微鏡嵌入技術
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技術名稱-中文光學顯微鏡嵌入技術的執行單位是工研院院本部, 產出年度是103, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 領域是服務創新, 技術規格是100X螢光顯微鏡以及30X-10000X高解析電鏡, 潛力預估是材料及生醫領域研究需求大.

序號6614
產出年度103
技術名稱-中文光學顯微鏡嵌入技術
執行單位工研院院本部
產出單位(空)
計畫名稱工研院創新前瞻技術研究計畫
領域服務創新
已申請專利之國家台灣
已獲得專利之國家(空)
技術現況敘述-中文結合螢光顯微鏡以及高解析電鏡的全方位檢測方案
技術現況敘述-英文(空)
技術規格100X螢光顯微鏡以及30X-10000X高解析電鏡
技術成熟度雛型
可應用範圍採自動化樣品移動與鏡頭定位系統,配合軟體為SEM影像增添色彩識別,再複雜的樣品也能一台搞定。
潛力預估材料及生醫領域研究需求大
聯絡人員顧逸霞
電話03-5732103
傳真03-5722383
電子信箱yku@itri.org.tw
參考網址http://www.itri.org.tw
所須軟硬體設備配合軟體為SEM影像增添色彩識別
需具備之專業人才光機電整合
同步更新日期2024-09-03

序號

6614

產出年度

103

技術名稱-中文

光學顯微鏡嵌入技術

執行單位

工研院院本部

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

領域

服務創新

已申請專利之國家

台灣

已獲得專利之國家

(空)

技術現況敘述-中文

結合螢光顯微鏡以及高解析電鏡的全方位檢測方案

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

100X螢光顯微鏡以及30X-10000X高解析電鏡

技術成熟度

雛型

可應用範圍

採自動化樣品移動與鏡頭定位系統,配合軟體為SEM影像增添色彩識別,再複雜的樣品也能一台搞定。

潛力預估

材料及生醫領域研究需求大

聯絡人員

顧逸霞

電話

03-5732103

傳真

03-5722383

電子信箱

yku@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

所須軟硬體設備

配合軟體為SEM影像增添色彩識別

需具備之專業人才

光機電整合

同步更新日期

2024-09-03

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TSV檢測技術

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: CD?3 um,aspect ratio ?16 | 潛力預估: 應用性高

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反射儀量測高密度高深寬比(aspect ratio 10)矽穿孔結構深度及形貌

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 應用近乎垂直入射式之寬波段光束入射待測晶圓,擷取TSV上/下孔徑不同深度的反射光干涉光譜訊號,透過自有專利之分析演算方法來分析TSV孔徑深度,特別適用於高密度、小尺寸(? 5 um)陣列式TSV孔徑深... | 潛力預估: 預期未來可應用於3D IC先進製程檢測機台之核心檢測模組。

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紅外共焦顯微鏡技術

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 建立彩色紅外共焦顯微檢測技術完整色散模型,應用於1-775 um薄化晶圓製程厚度/對位誤差量測,量測準確度? 0.1 um | 潛力預估: 預期未來可應用於3D IC先進製程檢測機台之核心檢測模組。

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micro-bump形貌檢測技術

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 101 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: Ball size > 40 mm | 潛力預估: 擬包含硬體架構及分析軟體整機技轉。

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極紫外線散射數

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 104 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: 服務創新 | 技術規格: 三維奈米結構量測解析度達 1奈米 | 潛力預估: 先進半導體製程參數檢測應用

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次世代微影疊對量測技術

執行單位: 工研院量測中心 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: Accuracy<3nm | 潛力預估: 可搶攻半導體檢測

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TSV檢測技術

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: CD?3 um,aspect ratio ?16 | 潛力預估: 應用性高

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反射儀量測高密度高深寬比(aspect ratio 10)矽穿孔結構深度及形貌

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 應用近乎垂直入射式之寬波段光束入射待測晶圓,擷取TSV上/下孔徑不同深度的反射光干涉光譜訊號,透過自有專利之分析演算方法來分析TSV孔徑深度,特別適用於高密度、小尺寸(? 5 um)陣列式TSV孔徑深... | 潛力預估: 預期未來可應用於3D IC先進製程檢測機台之核心檢測模組。

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紅外共焦顯微鏡技術

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 建立彩色紅外共焦顯微檢測技術完整色散模型,應用於1-775 um薄化晶圓製程厚度/對位誤差量測,量測準確度? 0.1 um | 潛力預估: 預期未來可應用於3D IC先進製程檢測機台之核心檢測模組。

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micro-bump形貌檢測技術

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 101 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: Ball size > 40 mm | 潛力預估: 擬包含硬體架構及分析軟體整機技轉。

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極紫外線散射數

執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 104 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: 服務創新 | 技術規格: 三維奈米結構量測解析度達 1奈米 | 潛力預估: 先進半導體製程參數檢測應用

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次世代微影疊對量測技術

執行單位: 工研院量測中心 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: Accuracy<3nm | 潛力預估: 可搶攻半導體檢測

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晶圓均溫加熱調整技術

執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 晶圓加熱均勻度: 0.5% ( 3σ ) | 潛力預估: 本項技術可就晶圓製程需求,以市場上現有零組件組裝快速熱處理機台,大幅降低成本。民國90年Applied Materials Inc推出的Radiance Centura 300,價格約為200 ~ 3...

微型慣性感測元件研製

執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 微奈米先進製程技術發展微型慣性感測單元,由於具有微型化、低功率消耗、成本低與高可靠度之優點,根據美國Honeywell公司對產品評估,與傳統機電式慣性感測單元比較,體積上可縮小90%,電源消耗上減少8... | 潛力預估: 微型陀螺儀應用範圍廣泛,未來可以結合國內優勢產業如資訊業產品滑鼠、遊戲機等發展3D產品或與GPS結合應用於手機、汽車上,發展自動導航系統。建立國內微慣性感測元件研發能量,完成核心組件專利佈局,協助業界...

有機奈米導電樹脂研究

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 覆膜厚度50-250nm、表面電阻104~109Ω/sq、透光率>70%(550nm) | 潛力預估: 因應EMI管制措施等,市場年成長率可達34%。

環保型耐燃熱熔膠研製

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: UL94 V-0、耐熱吊重(1Kg)>80℃、軟化點>150℃、黏度(180℃)8000~11500mPas、接著剪斷強度(25℃)>2.0 N/mm2、接著剪斷強度(-10℃)>0.3 N/mm2 | 潛力預估: 目前世界上尚未有廠家成功開發出無鹵環保型耐燃熱熔膠,但都已積極投入開發中;然而各大電子廠受限於歐美環保法規限制,對於環保型耐燃熱熔膠之需求十分殷切。

矽酮壓克力改質技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: OH/NCO=2:1~2.3:1,NCO-Siloxane/acrylic acid/OH-acrylate=1:0.6:0.4~1:0.4:0.6 | 潛力預估: 提升壓克力產品性能、增加其副加價值增進產品應用換範圍。

氟西汀原料藥微粒化製程精進

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 比表面積:>1 m2/g。 | 潛力預估: 原料藥之微粒化可提升人體之吸收率,促進藥效,市場需求日益增加。

導電複合材料開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 微晶一次粒徑:<50 nm;Surface Resistivity:~200 /□。 | 潛力預估: 導電複材導電性佳,可塗佈於絕緣體上,主要成份為銀/鎳、銀/鋁、銀/銅等混合金為主,產品單價從每公斤數萬台幣至十幾萬台幣不等,屬高單價產品,年需求量保守估計也在十萬公噸以上(且逐年增加),惟目前大部份仍...

半導體製程有害氣體過濾器研製技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 依製程進行各項氣體之定量校正曲線;建立現廠分析裝備之佈線及檢測參數;建立半導體乾式蝕刻製程相關氣體分析鑑測及功能驗證技術。 | 潛力預估: 由於半導體廠或一般化工廠之排放氣體需符合環保規範,此項分析監測技術既可定量檢測排放氣體;進而可執行其吸附濾槽之功能驗證,作為濾材配方調配之指標。可同時推廣至檢測單位、半導體廠、一般化工廠、及吸附濾材廠...

藍色磷光材料FIrpic及新紅色磷光材料CSPHR1技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 昇華後之成品純度>99%。 | 潛力預估: 磷光OLED材料因發光效率高,未來具有強大商機,昇華純化設備可應用在多種OLED材料之純化製程。

聚苯基乙烯系電激發光化學品(Phenyl PPV)合成技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 聚苯基乙烯電激發光化學品:OC1C10-PPV﹐Phenyl PPVs、terPhenyl PPVs,產品分子量(Mw)≧105 Daltons,發光波長(max) 500~590 nm,發光顏色... | 潛力預估: 除可應用於手機、PDA、數位相機、車用面板等平面顯示器民生用途產品外,亦可應用於及軍用可撓式攜帶型電子地圖、頭盔顯示器、軍用通訊器材及相關儀表面板等國防應用。

酸性TiO2 Anatase溶膠應用技術開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 鍍膜空氣中有機物分解能力:乙酸丁酯分解能力0.1~1.0μg/min.×W ×cm2;鍍膜品質:1.附?性:膠帶實驗不脫落;2.硬度≧H;3.耐刮力≧100g。 | 潛力預估: 約新台幣30億元/年。

電激光液晶混成溶膠技術開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 聚合物分散液晶薄膜中之液晶微粒大小~1μm,電子窗簾元件具有控制透明度之功能,經電場on-off形成之光線穿透率差ΔT(Ton-Toff)>30%,耐用性>10,000 cycle。 | 潛力預估: 約新台幣1.0億元/年。

光敏材料應用技術開發之建立

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: CdSe光敏材料粒徑:2~6nm。 | 潛力預估: LED、生物標籤及太陽能電池市場產值持續成長中。

77GHz防撞雷達研發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進安全車輛系統整合平台技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: Target detection range : 3m~200m˙Range Resolution : ±1m˙Relative Velocity : 150Km/Hr±1.5Km/Hr˙Failur... | 潛力預估: 根據Frost & Sullivan預測2005年歐洲市場之銷售量將可達22.6萬輛、市場規模約為4,944萬歐元,較2001年的96萬歐元大幅成長了50倍以上。根據IMS的估計,2003年日本適應...

汽車用前/後乘客座氣囊袋技術開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進安全車輛系統整合平台技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.氣囊袋容積:100 ~ 120 公升。2. 75 -- 210單尼薄型Nylon布。3. 0.1mm TPU薄型高分子膜。 | 潛力預估: 原料為現有商品,無缺貨之虞。每年可製作數萬枚。

晶圓均溫加熱調整技術

執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 晶圓加熱均勻度: 0.5% ( 3σ ) | 潛力預估: 本項技術可就晶圓製程需求,以市場上現有零組件組裝快速熱處理機台,大幅降低成本。民國90年Applied Materials Inc推出的Radiance Centura 300,價格約為200 ~ 3...

微型慣性感測元件研製

執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 微奈米先進製程技術發展微型慣性感測單元,由於具有微型化、低功率消耗、成本低與高可靠度之優點,根據美國Honeywell公司對產品評估,與傳統機電式慣性感測單元比較,體積上可縮小90%,電源消耗上減少8... | 潛力預估: 微型陀螺儀應用範圍廣泛,未來可以結合國內優勢產業如資訊業產品滑鼠、遊戲機等發展3D產品或與GPS結合應用於手機、汽車上,發展自動導航系統。建立國內微慣性感測元件研發能量,完成核心組件專利佈局,協助業界...

有機奈米導電樹脂研究

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 覆膜厚度50-250nm、表面電阻104~109Ω/sq、透光率>70%(550nm) | 潛力預估: 因應EMI管制措施等,市場年成長率可達34%。

環保型耐燃熱熔膠研製

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: UL94 V-0、耐熱吊重(1Kg)>80℃、軟化點>150℃、黏度(180℃)8000~11500mPas、接著剪斷強度(25℃)>2.0 N/mm2、接著剪斷強度(-10℃)>0.3 N/mm2 | 潛力預估: 目前世界上尚未有廠家成功開發出無鹵環保型耐燃熱熔膠,但都已積極投入開發中;然而各大電子廠受限於歐美環保法規限制,對於環保型耐燃熱熔膠之需求十分殷切。

矽酮壓克力改質技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: OH/NCO=2:1~2.3:1,NCO-Siloxane/acrylic acid/OH-acrylate=1:0.6:0.4~1:0.4:0.6 | 潛力預估: 提升壓克力產品性能、增加其副加價值增進產品應用換範圍。

氟西汀原料藥微粒化製程精進

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 比表面積:>1 m2/g。 | 潛力預估: 原料藥之微粒化可提升人體之吸收率,促進藥效,市場需求日益增加。

導電複合材料開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 微晶一次粒徑:<50 nm;Surface Resistivity:~200 /□。 | 潛力預估: 導電複材導電性佳,可塗佈於絕緣體上,主要成份為銀/鎳、銀/鋁、銀/銅等混合金為主,產品單價從每公斤數萬台幣至十幾萬台幣不等,屬高單價產品,年需求量保守估計也在十萬公噸以上(且逐年增加),惟目前大部份仍...

半導體製程有害氣體過濾器研製技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 依製程進行各項氣體之定量校正曲線;建立現廠分析裝備之佈線及檢測參數;建立半導體乾式蝕刻製程相關氣體分析鑑測及功能驗證技術。 | 潛力預估: 由於半導體廠或一般化工廠之排放氣體需符合環保規範,此項分析監測技術既可定量檢測排放氣體;進而可執行其吸附濾槽之功能驗證,作為濾材配方調配之指標。可同時推廣至檢測單位、半導體廠、一般化工廠、及吸附濾材廠...

藍色磷光材料FIrpic及新紅色磷光材料CSPHR1技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 昇華後之成品純度>99%。 | 潛力預估: 磷光OLED材料因發光效率高,未來具有強大商機,昇華純化設備可應用在多種OLED材料之純化製程。

聚苯基乙烯系電激發光化學品(Phenyl PPV)合成技術

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 聚苯基乙烯電激發光化學品:OC1C10-PPV﹐Phenyl PPVs、terPhenyl PPVs,產品分子量(Mw)≧105 Daltons,發光波長(max) 500~590 nm,發光顏色... | 潛力預估: 除可應用於手機、PDA、數位相機、車用面板等平面顯示器民生用途產品外,亦可應用於及軍用可撓式攜帶型電子地圖、頭盔顯示器、軍用通訊器材及相關儀表面板等國防應用。

酸性TiO2 Anatase溶膠應用技術開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 鍍膜空氣中有機物分解能力:乙酸丁酯分解能力0.1~1.0μg/min.×W ×cm2;鍍膜品質:1.附?性:膠帶實驗不脫落;2.硬度≧H;3.耐刮力≧100g。 | 潛力預估: 約新台幣30億元/年。

電激光液晶混成溶膠技術開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 聚合物分散液晶薄膜中之液晶微粒大小~1μm,電子窗簾元件具有控制透明度之功能,經電場on-off形成之光線穿透率差ΔT(Ton-Toff)>30%,耐用性>10,000 cycle。 | 潛力預估: 約新台幣1.0億元/年。

光敏材料應用技術開發之建立

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發展與應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: CdSe光敏材料粒徑:2~6nm。 | 潛力預估: LED、生物標籤及太陽能電池市場產值持續成長中。

77GHz防撞雷達研發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進安全車輛系統整合平台技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: Target detection range : 3m~200m˙Range Resolution : ±1m˙Relative Velocity : 150Km/Hr±1.5Km/Hr˙Failur... | 潛力預估: 根據Frost & Sullivan預測2005年歐洲市場之銷售量將可達22.6萬輛、市場規模約為4,944萬歐元,較2001年的96萬歐元大幅成長了50倍以上。根據IMS的估計,2003年日本適應...

汽車用前/後乘客座氣囊袋技術開發

執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進安全車輛系統整合平台技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.氣囊袋容積:100 ~ 120 公升。2. 75 -- 210單尼薄型Nylon布。3. 0.1mm TPU薄型高分子膜。 | 潛力預估: 原料為現有商品,無缺貨之虞。每年可製作數萬枚。

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