正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置
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專利名稱-中文正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置的核准國家是中華民國, 執行單位是中科院飛彈所, 產出年度是94, 專利性質是發明, 計畫名稱是新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫, 專利發明人是王偉正、黃耀明、洪建中、游欽宏、練福人、林榮延、李玉麟, 證書號碼是發明I238486.

序號	1928
產出年度	94
領域別	(空)
專利名稱-中文	正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置
執行單位	中科院飛彈所
產出單位	(空)
計畫名稱	新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫
專利發明人	王偉正、黃耀明、洪建中、游欽宏、練福人、林榮延、李玉麟
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	發明I238486
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置，其適用於半導體晶圓輸送設備，以短暫之高速氣流吹向晶圓邊緣、晶圓與擷取臂之間之區域，以使緊貼機台表面之晶圓予以分離，並提供足夠之升力使擷取手臂得以吸附晶圓。如此，擷取手臂吸附晶圓之間隙可大幅增加，可避免因吸附間隙不夠，可能產生擷取手臂吸住機台之問題。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	王偉正
電話	(03)4712201 EXT:356357
傳真	(空)
電子信箱	(空)
參考網址	(空)
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)
同步更新日期	2023-07-05

序號

1928

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置

執行單位

中科院飛彈所

產出單位

(空)

計畫名稱

新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫

專利發明人

王偉正、黃耀明、洪建中、游欽宏、練福人、林榮延、李玉麟

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

發明I238486

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置，其適用於半導體晶圓輸送設備，以短暫之高速氣流吹向晶圓邊緣、晶圓與擷取臂之間之區域，以使緊貼機台表面之晶圓予以分離，並提供足夠之升力使擷取手臂得以吸附晶圓。如此，擷取手臂吸附晶圓之間隙可大幅增加，可避免因吸附間隙不夠，可能產生擷取手臂吸住機台之問題。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

王偉正

電話

(03)4712201 EXT:356357

傳真

(空)

電子信箱

(空)

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(空)

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

同步更新日期

2023-07-05

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噴墨頭墨水壓力控制裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 謝樹崢, 蘇士豪, 許成偉, 陳錦泰, 侯怡仲, 王介文 \| 證書號碼: ZL00100898.6
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噴墨筆的墨水壓力調節裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 許成偉, 蘇士豪, 侯怡仲, 王介文, 藍元亮 \| 證書號碼: ZL01103984.1
噴墨印頭晶片之驅動電晶體結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 劉建宏, 劉健群, 張智超, 胡紀平, 陳俊融 \| 證書號碼: 6,666,545
壓力調節裝置及利用此壓力調節裝置之噴墨印頭	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 林順泉, 張智超, 蘇士豪, 陳俊融, 李柏勳, 羅啟賓 \| 證書號碼: 6,644,795
微流模組	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 楊進成, 毛慶宜, 吳周霖 \| 證書號碼: 186642
生物晶片製造治具之影像對位裝置及方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 蘇士豪, 楊孟達, 劉健群, 張智超 \| 證書號碼: 191424
以投射方式製作影像顯示器面板之裝置以及導電基板形成圖案之裝置與方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 劉貞豪, 陳俊融 \| 證書號碼: 198956
產生虛擬鍵盤顯示器之裝置及方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 劉貞豪, 陳俊融 \| 證書號碼: 206612
應用於高密度元件之金氧半場效電晶體及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 劉建宏, 劉健群, 陳俊融, 胡紀平 \| 證書號碼: 195330
噴墨頭晶片結構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 劉健群, 陳俊融 \| 證書號碼: 220131

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領域別

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執行單位

產出單位

計畫名稱

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證書號碼

專利期間起

專利期間訖

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