熱處理裝置與熱處理製程之調整方法
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專利名稱-中文熱處理裝置與熱處理製程之調整方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是發明I240333, 專利性質是發明, 執行單位是中科院飛彈所, 產出年度是94, 計畫名稱是新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫, 專利發明人是蘇俊傑、余孟泉、曹仁杰、林銘俊、蘇泳森、賴奕翔.

序號	2007
產出年度	94
領域別	(空)
專利名稱-中文	熱處理裝置與熱處理製程之調整方法
執行單位	中科院飛彈所
產出單位	(空)
計畫名稱	新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫
專利發明人	蘇俊傑 \| 余孟泉 \| 曹仁杰 \| 林銘俊 \| 蘇泳森 \| 賴奕翔
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	發明I240333
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種熱處理製程之調整方法，包括下列數個步驟。首先，將一加熱燈及其反射罩配置於一晶圓上，以量測並調整單一之加熱燈對於晶圓之熱通量分佈。之後，將多個加熱燈所組成之一加熱燈組配置於一晶圓上，其中這些加熱燈係以軸對稱之多個圈環的陣列排列。接著，調整加熱燈組與晶圓之間的位置，使得加熱燈組之陣列中心的軸線與晶圓之中心的軸線之間具有水平之一偏移向量，並調整這些加熱燈之加熱功率。之後，讓晶圓與加熱燈組沿著平行晶圓之中心軸線作相對旋轉，以接收來自加熱燈組之均勻的熱通量。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	蘇俊傑
電話	(03)4712201 EXT:356512
傳真	(空)
電子信箱	(空)
參考網址	(空)
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

2007

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

熱處理裝置與熱處理製程之調整方法

執行單位

中科院飛彈所

產出單位

(空)

計畫名稱

新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫

專利發明人

蘇俊傑 | 余孟泉 | 曹仁杰 | 林銘俊 | 蘇泳森 | 賴奕翔

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

發明I240333

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種熱處理製程之調整方法，包括下列數個步驟。首先，將一加熱燈及其反射罩配置於一晶圓上，以量測並調整單一之加熱燈對於晶圓之熱通量分佈。之後，將多個加熱燈所組成之一加熱燈組配置於一晶圓上，其中這些加熱燈係以軸對稱之多個圈環的陣列排列。接著，調整加熱燈組與晶圓之間的位置，使得加熱燈組之陣列中心的軸線與晶圓之中心的軸線之間具有水平之一偏移向量，並調整這些加熱燈之加熱功率。之後，讓晶圓與加熱燈組沿著平行晶圓之中心軸線作相對旋轉，以接收來自加熱燈組之均勻的熱通量。

技術摘要-英文

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聯絡人員

蘇俊傑

電話

(03)4712201 EXT:356512

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(空)

電子信箱

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備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

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Apparatus and Adjusting Technology for Uniform Thermal procesing

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熱處理裝置與熱處理製程之調整方法 - 技術司專利資料集 @ 經濟部

序號

產出年度

領域別

專利名稱-中文

執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

核准國家

獲證日期

證書號碼

專利期間起

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