高分子基電容式超音波換能器製作方法
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文高分子基電容式超音波換能器製作方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是I260940, 專利性質是發明, 執行單位是工研院辨識中心, 產出年度是95, 計畫名稱是無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫, 專利發明人是張明暐、龐大成、曾昭勝.

序號	2733
產出年度	95
領域別	(空)
專利名稱-中文	高分子基電容式超音波換能器製作方法
執行單位	工研院辨識中心
產出單位	(空)
計畫名稱	無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫
專利發明人	張明暐 \| 龐大成 \| 曾昭勝
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I260940
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種高分子基電容式超音波換能器製作方法，該方法包含步驟a)提供一基板；b)形成一第一導體部於該基板上；c)塗佈一犧牲層於該基板上，使其覆蓋該第一導體部；d)蝕刻該犧牲層，形成與該第一導體部接觸之一腔體部；e)塗佈一第一高分子基材料於該基板上，且使其完全覆蓋該腔體部；f)形成一第二導體部於該第一高分子基材料上；g)開設可通達該腔體部之一通孔於該第一高分子基材料上；以及h)利用該通孔對該腔體部進行蝕刻，藉以完全移除該腔體部。A method of fabricating a polymer-based capacitive ultrasonic transducer, which comprises the steps of: (a) providing a substrate; (b) forming a first conductor on the substrate; (c) coating a sacrificial layer on the substrate while covering the first conductor by the same; (d) etching the sacrificial layer for forming an island while maintaining the island to contact with the first conductor; (e) coating a first polymer-based material on the substrate while covering the island by the same; (f) forming a second conductor on the first polymer-based material; (g) forming a via hole on the first polymer-based material while enabling the via hole to be channeled to the island; and (h) utilizing the via hole to etch and remove the island for forming a cavity.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

2733

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

高分子基電容式超音波換能器製作方法

執行單位

工研院辨識中心

產出單位

(空)

計畫名稱

無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫

專利發明人

張明暐 | 龐大成 | 曾昭勝

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I260940

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種高分子基電容式超音波換能器製作方法，該方法包含步驟a)提供一基板；b)形成一第一導體部於該基板上；c)塗佈一犧牲層於該基板上，使其覆蓋該第一導體部；d)蝕刻該犧牲層，形成與該第一導體部接觸之一腔體部；e)塗佈一第一高分子基材料於該基板上，且使其完全覆蓋該腔體部；f)形成一第二導體部於該第一高分子基材料上；g)開設可通達該腔體部之一通孔於該第一高分子基材料上；以及h)利用該通孔對該腔體部進行蝕刻，藉以完全移除該腔體部。A method of fabricating a polymer-based capacitive ultrasonic transducer, which comprises the steps of: (a) providing a substrate; (b) forming a first conductor on the substrate; (c) coating a sacrificial layer on the substrate while covering the first conductor by the same; (d) etching the sacrificial layer for forming an island while maintaining the island to contact with the first conductor; (e) coating a first polymer-based material on the substrate while covering the island by the same; (f) forming a second conductor on the first polymer-based material; (g) forming a via hole on the first polymer-based material while enabling the via hole to be channeled to the island; and (h) utilizing the via hole to etch and remove the island for forming a cavity.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

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高分子基電容式超音波換能器製作方法	核准國家: 韓國 \| 證書號碼: 10-0634994 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 95 \| 計畫名稱: 無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 張明暐、龐大成、曾昭勝 @ 技術司專利資料集
Mehtod of fabricating a polymer-based capacitive ultrasonic transducer(高分子基電容式超音波換能器製作方法)	核准國家: 英國 \| 證書號碼: 2427321 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 97 \| 計畫名稱: 無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 張明暐龐大成曾昭勝 @ 技術司專利資料集
Mehtod of fabricating a polymer-based capacitive ultrasonic transducer(高分子基電容式超音波換能器製作方法)	核准國家: 日本 \| 證書號碼: 4142040 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 97 \| 計畫名稱: 無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 張明暐龐大成曾昭勝 @ 技術司專利資料集
高分子基電容式超音波換能器製作方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7673375 \| 專利期間起: 1999/3/9 \| 專利期間訖: 117/12/01 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 多重感測智慧型辨識與安全技術發展計畫 \| 專利發明人: 張明暐 ,龐大成 ,曾昭勝 , @ 技術司專利資料集

高分子基電容式超音波換能器製作方法

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Mehtod of fabricating a polymer-based capacitive ultrasonic transducer(高分子基電容式超音波換能器製作方法)

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一種高速假撚方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207547 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院化工所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 高科技纖維與產品技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳哲陽、簡淑華、黃麗娟、黃泳彬 @ 技術司專利資料集
增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇、李榮賢、陳棓煌 @ 技術司專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 226177 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生、楊書榮 @ 技術司專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6496481 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲、馬金溝 @ 技術司專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6665253 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松、張啟伸 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 @ 技術司專利資料集
萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 157850 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 抗病毒及抗發炎中草藥研發及現代化技術平台之建立四年計畫 \| 專利發明人: 潘一紅、李連滋、邱惜禾、劉惠儒、姚心然 @ 技術司專利資料集

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陣列式電感	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 240666 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 黃肇達, 李明林
多重厚度絕緣層製作方法及結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 222134 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 陳邦旭, 許博欽, 劉致為
多層式高阻抗平面微型結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 218573 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 黃肇達, 范榮昌, 李明林
微型熱電裝置及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 201640 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 劉君愷
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氣密室封裝基台與架構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200699 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 \| 專利發明人: 李宗昇, 利鴻禔
智慧型空調系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 206662 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 \| 專利發明人: 李宗昇, 曾國華, 陳龍德, 游金銘
智慧型空調系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6715689 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 \| 專利發明人: 李宗昇, 曾國華, 陳龍德, 游金銘
整合影像顯示之體溫計	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200916 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 \| 專利發明人: 李宗昇, 陳龍德, 曾國華, 吳家興
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場發射顯示器之支撐柱挾持結構與方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 202592 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林偉義, 蕭名君, 陳盈憲, 曾企民, 蕭雲嬌
利用TIO2層製作擴散式反射板	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 206687 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 廖奇璋, 陳明道, 黃良瑩, 翁逸君, 吳耀庭, 蔡明郎, 溫俊祥, 林顯光
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奈米碳管閘極之電晶體結構與製程	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 222742 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 魏拯華, 陳信輝, 賴明駿, 王宏祥, 高明哲

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