內置式晶圓微影疊對圖樣設計
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文內置式晶圓微影疊對圖樣設計的核准國家是中華民國, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是96, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉, 證書號碼是I271811.

序號	3247
產出年度	96
領域別	(空)
專利名稱-中文	內置式晶圓微影疊對圖樣設計
執行單位	工研院院本部
產出單位	(空)
計畫名稱	工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人	顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I271811
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。_x000D_
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

3247

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

內置式晶圓微影疊對圖樣設計

執行單位

工研院院本部

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I271811

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。_x000D_

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

同步更新日期

2019-07-24

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晶片之疊對量測標記	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 95 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞、龐秀蘭、史密斯、奈吉 \| 證書號碼: I248154 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 \| 證書號碼: I286196 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶片之疊對量測標記	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 97 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 \| 證書號碼: 7,379,184 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞,龐秀蘭,史密斯奈吉, \| 證書號碼: 7,477,396 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
疊對量測標記及其疊對誤差之量測方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 龐秀蘭,顧逸霞,史密斯奈吉 \| 證書號碼: I361266 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶片之疊對量測標記	核准國家: 南韓 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞 ,龐秀蘭 ,史密斯奈吉 , \| 證書號碼: 10-1257961 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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一種高速假撚方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院化工所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高科技纖維與產品技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳哲陽、簡淑華、黃麗娟、黃泳彬 \| 證書號碼: 207547 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇、李榮賢、陳棓煌 \| 證書號碼: 207522 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生、楊書榮 \| 證書號碼: 226177 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲、馬金溝 \| 證書號碼: 6496481 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松、張啟伸 \| 證書號碼: 6665253 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 \| 證書號碼: 573696 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 \| 證書號碼: 573696 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院生醫中心 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 抗病毒及抗發炎中草藥研發及現代化技術平台之建立四年計畫 \| 專利發明人: 潘一紅、李連滋、邱惜禾、劉惠儒、姚心然 \| 證書號碼: 157850 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

一種高速假撚方法

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增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝

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熱管均熱板

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一種資料通訊的方法

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Optical Disk Control Mechanism

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時序還原之方法與系統

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萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法

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非金屬基材表面之多層金屬鍍膜及其方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 朱繼文、劉伍健、卓廷彬、楊玉森 \| 證書號碼: 207037
具有輔助磁極組之磁控靶源裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 劉伍健、楊玉森 \| 證書號碼: 210407
鎳合金電鑄手指手套模具之製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 張瑞模、陳建仁、蔡兆豐、陳正義、鄭勝元 \| 證書號碼: 184907
球閥耐火結構改良	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林庭凱、江文欽 \| 證書號碼: 211530
模具內傳送機構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林志浩、蔡行知、魏江銘 \| 證書號碼: 214980
球閥結構改良	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 江文欽、林庭凱 \| 證書號碼: 220003
用於物理氣相沉積之金屬化銦錫氧化物靶	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 朱繼文、楊玉森、邱松茂 \| 證書號碼: 195390
U形支架式具位置指示之閥手輪	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 仲之豪、林進順 \| 證書號碼: 222536
球閥結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 江文欽、林庭凱 \| 證書號碼: 634651
球閥防火結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林庭凱、江文欽 \| 證書號碼: 634266
中空金屬套管成形方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 翁震杰、賴逸林、鄭勝元 \| 證書號碼: 201043
U形支架式具位置指示之閥手輪	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 仲之豪、林進順 \| 證書號碼: 639900
波紋管之製造方法及該波紋管之膜片組串接成型裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 謝興達、曾光宏、侯信男、黃仁隆、曾界彰 \| 證書號碼: 201861
嵌入網際網路整合式晶片控制閥驅動器	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林進順、古嘉琳 \| 證書號碼: 204712
電漿電弧焊接裝置、其焊槍及波紋管焊接裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 謝興達、曾光宏、曾界彰、吳隆佃 \| 證書號碼: 224033

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領域別

專利名稱-中文

執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

核准國家

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