一種低溫多晶矽薄膜器件及其制造方法與設備
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文一種低溫多晶矽薄膜器件及其制造方法與設備的核准國家是中國大陸, 證書號碼是ZL200510116621.7, 專利性質是發明, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是98, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是彭逸軒 ,黃志仁 ,王亮棠 ,張榮芳 ,翁得期 ,.

序號	5373
產出年度	98
領域別	(空)
專利名稱-中文	一種低溫多晶矽薄膜器件及其制造方法與設備
執行單位	工研院院本部
產出單位	(空)
計畫名稱	工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人	彭逸軒 \| 黃志仁 \| 王亮棠 \| 張榮芳 \| 翁得期
核准國家	中國大陸
獲證日期	(空)
證書號碼	ZL200510116621.7
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備，其乃利用高密度電漿與基材偏壓可誘發結晶的方式，致使多晶矽材料在低溫下結晶為多晶矽薄膜；再者，更利用具有優選方向及晶格常數與矽相近的誘發層，促使多晶矽薄膜之原子結構朝向規則排列，進而提高多晶矽薄膜的結晶品質與減少孕核層厚度。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-59117812
傳真	03-5917431
電子信箱	noralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	20100637-Joanne
特殊情形	(空)

序號

5373

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

一種低溫多晶矽薄膜器件及其制造方法與設備

執行單位

工研院院本部

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

彭逸軒 | 黃志仁 | 王亮棠 | 張榮芳 | 翁得期

核准國家

中國大陸

獲證日期

(空)

證書號碼

ZL200510116621.7

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備，其乃利用高密度電漿與基材偏壓可誘發結晶的方式，致使多晶矽材料在低溫下結晶為多晶矽薄膜；再者，更利用具有優選方向及晶格常數與矽相近的誘發層，促使多晶矽薄膜之原子結構朝向規則排列，進而提高多晶矽薄膜的結晶品質與減少孕核層厚度。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-59117812

傳真

03-5917431

電子信箱

noralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

20100637-Joanne

特殊情形

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低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I262550 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 95 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 彭逸軒 \| 黃志仁 \| 王亮棠 \| 張榮芳 \| 翁得期 @ 技術司專利資料集
一種低溫多晶硅薄膜器件及其制造方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200910006077.9 \| 專利期間起: 1999/10/20 \| 專利期間訖: 114/10/25 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 彭逸軒 \| 黃志仁 \| 王亮棠 \| 張榮芳 \| 翁得期 @ 技術司專利資料集

低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備

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一種低溫多晶硅薄膜器件及其制造方法

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多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,904,736 \| 專利期間起: 100/03/08 \| 專利期間訖: 119/01/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平 \| 李政崑 \| 莊國煜 \| 吳宗憲 @ 技術司專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,916,129 \| 專利期間起: 100/03/29 \| 專利期間訖: 118/03/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜 \| 蕭詠今 \| 陳右凱 \| 李森 \| 楊博智 @ 技術司專利資料集
多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7904736 \| 專利期間起: 100/03/08 \| 專利期間訖: 119/01/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平 \| 李政崑 \| 莊國煜 \| 吳宗憲 @ 技術司專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7916129 \| 專利期間起: 100/03/29 \| 專利期間訖: 118/03/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜 \| 蕭詠今 \| 陳右凱 \| 李森 \| 楊博智 @ 技術司專利資料集
靜電放電防護電路	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,692,907 \| 專利期間起: 99/04/06 \| 專利期間訖: 117/03/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 資訊與通訊領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳世宏 \| 柯明道 @ 技術司專利資料集
壓電驅動光學鏡頭	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,511,904 \| 專利期間起: 98/03/31 \| 專利期間訖: 116/05/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 胡朝彰 \| 蘇漢威 \| 沈聖智 @ 技術司專利資料集
氫甲醯化製程	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,683,219 \| 專利期間起: 99/03/23 \| 專利期間訖: 118/03/22 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 薛茂霖 \| 楊浩熏 \| 時國誠 \| 蘇再添 @ 技術司專利資料集
停車管理系統及裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200710159782.3 \| 專利期間起: 100/03/16 \| 專利期間訖: 116/12/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 郭倫嘉 \| 吳忠郼 \| 沈仲九 \| 黃士一 @ 技術司專利資料集

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METHOD OF MULTI-LEVEL FACIAL IMAGE RECOGNITION AND SYSTEM USING THE SAME	核准國家: 美國 \| 證書號碼: US6697504B2 \| 專利期間起: 38041 \| 專利期間訖: 44802 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 蔡坤成
在網際網路快速計算位置信息的送出時機和範圍的方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: 第146271號 \| 專利期間起: 38056 \| 專利期間訖: 44164 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 鄭育鎔
萬維網環境下的可選擇漸進式模型下載方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: 第153802號 \| 專利期間起: 38112 \| 專利期間訖: 44183 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 鄭育鎔
雙處理器管理機制	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第192904號 \| 專利期間起: 37956 \| 專利期間訖: 44536 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 陳澤民 \| 胡繼陽
視訊影像小波轉換處理方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第194287號 \| 專利期間起: 37987 \| 專利期間訖: 44529 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 宣志凌
三維動態資料的處理方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第197811號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王學武 \| 劉振鐸
目標模型之驅動方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第195899號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 陳俊呈 \| 王學武 \| 劉振鐸
彈性化系統模擬架構及其介面	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第197823號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 廖政順 \| 陳寶文
快速設定手持式裝置模擬器外觀之方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第200832號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 廖政順 \| 陳寶文
字元組區之顯示介面及軟體鍵盤	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第207069號 \| 專利期間起: 38159 \| 專利期間訖: 44836 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 黃聖傑 \| 田乾昌 \| 陳育群
提供字元頁面以輸出字元之方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第I222310號 \| 專利期間起: 38271 \| 專利期間訖: 44898 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 曹昌進 \| 吳進旺
程式最佳化方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第199575號 \| 專利期間起: 38067 \| 專利期間訖: 44898 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 胡岳偉 \| 江鎮城
用於無狀態（stateless）通訊協定的資料鎖定系統及其資料鎖定方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第204430號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 張孝賢 \| 洪良仁 \| 洪廷岳
繪製橢圓上之弧與扇形的方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第201926號 \| 專利期間起: 38098 \| 專利期間訖: 44876 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 許世和
網絡服務之使用者通話物件的處理方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第220621號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 手持式設備嵌入式系統軟體技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 許海悌 \| 劉惠玲 \| 林本琛

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