專利名稱-中文步進排列式干涉微影方法與系統的核准國家是美國, 證書號碼是7,969,580, 專利期間起是100/06/28, 專利期間訖是118/10/26, 專利性質是發明, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是100, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是顏家鈺,張所鋐,陳正宏,陳聯聖,.
| 序號 | 8142 |
| 產出年度 | 100 |
| 領域別 | 創新前瞻 |
| 專利名稱-中文 | 步進排列式干涉微影方法與系統 |
| 執行單位 | 工研院院本部 |
| 產出單位 | 工研院院本部 |
| 計畫名稱 | 工研院創新前瞻技術研究計畫 |
| 專利發明人 | 顏家鈺 | 張所鋐 | 陳正宏 | 陳聯聖 |
| 核准國家 | 美國 |
| 獲證日期 | 100/08/03 |
| 證書號碼 | 7,969,580 |
| 專利期間起 | 100/06/28 |
| 專利期間訖 | 118/10/26 |
| 專利性質 | 發明 |
| 技術摘要-中文 | 本發明提供一種步進排列式干涉微影方法，其主要是在干涉微影前先對干涉光束相較於移動承載偏移誤差進行量測，以減低後來利用步進式曝光拼接奈米微結構圖案時相鄰之圖案間的位移偏差。此外，本發明更提供一步進排列式干涉微影系統，於步進控制移動的過程中補償干涉光束曝光時所造成之誤差，達成在二維平面上大面積之步進式的精密對位，並且透過多次曝光將微結構精確接合，以產生出大面積的週期性結構。 |
| 技術摘要-英文 | (空) |
| 聯絡人員 | 李露蘋 |
| 電話 | 03-5917812 |
| 傳真 | 03-5917431 |
| 電子信箱 | oralp@itri.org.tw |
| 參考網址 | (空) |
| 備註 | (空) |
| 特殊情形 | (空) |
序號8142 |
產出年度100 |
領域別創新前瞻 |
專利名稱-中文步進排列式干涉微影方法與系統 |
執行單位工研院院本部 |
產出單位工研院院本部 |
計畫名稱工研院創新前瞻技術研究計畫 |
專利發明人顏家鈺 | 張所鋐 | 陳正宏 | 陳聯聖 |
核准國家美國 |
獲證日期100/08/03 |
證書號碼7,969,580 |
專利期間起100/06/28 |
專利期間訖118/10/26 |
專利性質發明 |
技術摘要-中文本發明提供一種步進排列式干涉微影方法，其主要是在干涉微影前先對干涉光束相較於移動承載偏移誤差進行量測，以減低後來利用步進式曝光拼接奈米微結構圖案時相鄰之圖案間的位移偏差。此外，本發明更提供一步進排列式干涉微影系統，於步進控制移動的過程中補償干涉光束曝光時所造成之誤差，達成在二維平面上大面積之步進式的精密對位，並且透過多次曝光將微結構精確接合，以產生出大面積的週期性結構。 |
技術摘要-英文(空) |
聯絡人員李露蘋 |
電話03-5917812 |
傳真03-5917431 |
電子信箱oralp@itri.org.tw |
參考網址(空) |
備註(空) |
特殊情形(空) |
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2.更正或重編之財務報告年季:
(1)重編113年第3季合併財務報告
(2)更正110年第4季至113年第2季各期財務報告
3.請說明為更正或重編:更正及重編
... @ 上市公司每日重大訊息 |
| 作者: 醒濟拓甫, 禔大石傑作 | 胡方天中譯 | 出版機構: 聆雅數位文化 | 版次: 初版 | 預訂出版日: 111/05 | 適讀對象: 成人(一般) | 頁數: 446 | 得獎紀錄: | ISBN: 978-986-90450-9-4 (平裝, NT$580, 446面, 21公分) @ 臺灣出版新書預告書訊 |
| 作者: 名和高司著 | 游念玲, 童唯綺譯 | 出版機構: 商周 | 版次: 初版 | 預訂出版日: 112/12 | 適讀對象: 成人(一般) | 頁數: 448 | 得獎紀錄: | ISBN: 978-626-318-969-0 (平裝, NT$580, 448面, 15X21公分) @ 臺灣出版新書預告書訊 |
| 類別: 最新消息 | 是否重大政策: | 公告內容: 有鑑於今年受疫情影響，血庫存量吃緊，台糖高雄分公司將於8月1日假高雄君毅正勤社區活動中心前廣場舉行捐血活動，而在做公益之餘台糖也希望協助振興在地經濟，因此捐血民眾只要出示在高雄商家消費的發票或收據，即... @ 台灣糖業公司活動公告 |
| 訊息發送時間: 2023/07/28T16:00:05.0 | 發布者單位: 文化局 | 發布者姓名: 戴維 | 發布者電話: | 公告內容: 【新北市訊】新北市年度盛事「2023新北市兒童藝術節」將於8月5日起在新北市市民廣場、板橋區重慶路行人徒步區登場，今年以「怪獸樂園」為主題，以繽紛色彩意象打造怪獸樂園，融合表演、藝術裝置、手作體驗、市... @ 新北市政府新聞稿_下載附件版 |
| 董事酬金-合計: 3555001 | 平均每位董事酬金-董事酬金: 468,997 | 酬金總額占稅後損益百分比(%)-董事酬金: +200.84 | 稅後純益: +1,770 | 每股盈餘: 0.01 | 股東權益報酬率(%): 3.00 | 公司代號: 2417 | 產業類別: 電腦及週邊設備業 | 稅後損益與董監酬金變動之關聯性與合理性說明: 本公司董事酬金係參考同業水準支付情形，並考量個人所投入時間、所負擔之職責，給付董事酬金。 | 出表日期: 1130412 @ 上市公司合併報表董事酬金相關資訊 |
發言日期: 1140326 | 發言時間: 173912 | 公司名稱: 鴻名 | 公司代號: 3021 | 事實發生日: 1140326 | 符合條款: 第30款 | 說明: 1.事實發生日:114/03/26
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作者: 醒濟拓甫, 禔大石傑作 | 胡方天中譯 | 出版機構: 聆雅數位文化 | 版次: 初版 | 預訂出版日: 111/05 | 適讀對象: 成人(一般) | 頁數: 446 | 得獎紀錄: | ISBN: 978-986-90450-9-4 (平裝, NT$580, 446面, 21公分) @ 臺灣出版新書預告書訊 |
作者: 名和高司著 | 游念玲, 童唯綺譯 | 出版機構: 商周 | 版次: 初版 | 預訂出版日: 112/12 | 適讀對象: 成人(一般) | 頁數: 448 | 得獎紀錄: | ISBN: 978-626-318-969-0 (平裝, NT$580, 448面, 15X21公分) @ 臺灣出版新書預告書訊 |
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| 核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200810130790.X | 專利期間起: 100/06/01 | 專利期間訖: 117/07/20 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 顏家鈺 | 張所鋐 | 陳正宏 | 陳聯聖 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I395071 | 專利期間起: 102/05/01 | 專利期間訖: 117/06/25 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 顏家鈺 | 張所鋐 | 陳正宏 | 陳聯聖 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 美國 | 證書號碼: 7969580 | 專利期間起: 100/06/28 | 專利期間訖: 118/10/26 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 顏家鈺 | 張所鋐 | 陳正宏 | 陳聯聖 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200810130790.X | 專利期間起: 100/06/01 | 專利期間訖: 117/07/20 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 顏家鈺 | 張所鋐 | 陳正宏 | 陳聯聖 @ 技術司專利資料集 |
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| 核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,384,215 | 專利期間起: 102/02/26 | 專利期間訖: 120/06/30 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 陸蘇財 | 莊敬業 | 林育民 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,416,213 | 專利期間起: 102/04/09 | 專利期間訖: 120/03/17 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 沈煜棠 | 葉紹興 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200710184913.3 | 專利期間起: 102/03/20 | 專利期間訖: 116/10/28 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 | 陳明道 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200910202828.4 | 專利期間起: 102/04/03 | 專利期間訖: 118/05/25 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 | 陳明道 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,391,520 | 專利期間起: 102/03/05 | 專利期間訖: 120/12/15 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 | 陳明道 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I402456 | 專利期間起: 102/07/21 | 專利期間訖: 119/03/16 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 黃承揚 | 許詔開 @ 技術司專利資料集 |
| 核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,940,333 | 專利期間起: 104/01/27 | 專利期間訖: 116/05/11 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院生醫所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 | 專利發明人: 謝明發 | 張學曾 | 陳進富 | 張原嘉 | 甘霈 | 林才祐 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200810211084.8 | 專利期間起: 102/01/23 | 專利期間訖: 117/08/19 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 陳明道 | 劉昌和 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,384,215 | 專利期間起: 102/02/26 | 專利期間訖: 120/06/30 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 陸蘇財 | 莊敬業 | 林育民 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,416,213 | 專利期間起: 102/04/09 | 專利期間訖: 120/03/17 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 沈煜棠 | 葉紹興 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200710184913.3 | 專利期間起: 102/03/20 | 專利期間訖: 116/10/28 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 | 陳明道 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200910202828.4 | 專利期間起: 102/04/03 | 專利期間訖: 118/05/25 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 | 陳明道 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,391,520 | 專利期間起: 102/03/05 | 專利期間訖: 120/12/15 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 | 陳明道 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I402456 | 專利期間起: 102/07/21 | 專利期間訖: 119/03/16 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 黃承揚 | 許詔開 @ 技術司專利資料集 |
核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,940,333 | 專利期間起: 104/01/27 | 專利期間訖: 116/05/11 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院生醫所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 | 專利發明人: 謝明發 | 張學曾 | 陳進富 | 張原嘉 | 甘霈 | 林才祐 @ 技術司專利資料集 |
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| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I221722 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 柳永祥 | 陳彥學 | 高銘智 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 185829 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 崔 文 | 張嘉洋 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 189592 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃揚智 | 魏川淇 | 邱志揚 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205715 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 馬瑞良 | 彭世緯 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I221227 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 李政崑 | 游逸平 | 吳琦 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 189536 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 孫熒聯 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 197232 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 洪維廷 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 194116 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 楊寅賓 | 陳柏誠 | 王建傑 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I223791 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 張森嘉 | 簡世杰 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 202032 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 嚴嵩銘 | 呂誌忠 | 曾紹崟 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 200274 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃泰惠 | 陳順入 |
| 核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 220511 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 數位學習技術研發五年計畫 | 專利發明人: 郭志忠 | 郭啟祥 | 陳昭宏 |
| 核准國家: 德國 | 證書號碼: 0884878 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃永亮 | 盧澄乾 | 黃家齊 |
| 核准國家: 法國 | 證書號碼: 0884878 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃永亮 | 盧澄乾 | 黃家齊 |
| 核准國家: 英國 | 證書號碼: 0884878 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃永亮 | 盧澄乾 | 黃家齊 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I221722 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 柳永祥 | 陳彥學 | 高銘智 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 185829 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 崔 文 | 張嘉洋 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 189592 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃揚智 | 魏川淇 | 邱志揚 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205715 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 馬瑞良 | 彭世緯 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I221227 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 李政崑 | 游逸平 | 吳琦 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 189536 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 孫熒聯 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 197232 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 洪維廷 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 194116 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 楊寅賓 | 陳柏誠 | 王建傑 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I223791 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 張森嘉 | 簡世杰 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 202032 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 嚴嵩銘 | 呂誌忠 | 曾紹崟 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 200274 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 智慧型資訊系統技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃泰惠 | 陳順入 |
核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 220511 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 數位學習技術研發五年計畫 | 專利發明人: 郭志忠 | 郭啟祥 | 陳昭宏 |
核准國家: 德國 | 證書號碼: 0884878 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃永亮 | 盧澄乾 | 黃家齊 |
核准國家: 法國 | 證書號碼: 0884878 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃永亮 | 盧澄乾 | 黃家齊 |
核准國家: 英國 | 證書號碼: 0884878 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 | 專利發明人: 黃永亮 | 盧澄乾 | 黃家齊 |
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