微機電結構
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文微機電結構的核准國家是中華民國, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是101, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院環境建構總計畫, 專利發明人是陳振頤,王欽宏, 證書號碼是I353960.

序號	9854
產出年度	101
領域別	電資通光
專利名稱-中文	微機電結構
執行單位	工研院院本部
產出單位	工研院院本部
計畫名稱	工研院環境建構總計畫
專利發明人	陳振頤,王欽宏
核准國家	中華民國
獲證日期	101/01/13
證書號碼	I353960
專利期間起	100/12/11
專利期間訖	117/10/01
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種微機電結構及其製造方法，其中的微機電結構包括一個基板以及位在基板上的至少一個懸空微結構。前述懸空微結構包括多層金屬層、至少一層介電層以及至少一邊緣金屬壁。其中，介電層被夾在金屬層之間，而邊緣金屬壁則平行於懸空微結構的厚度方向並圍繞介電層的邊緣。上述邊緣金屬壁可阻擋製程中的蝕刻液蝕刻介電層，而金屬層複合介電層之結構則可以增加懸空微結構在厚度方向上的結構強度。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-5917812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.itri.org.tw
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

9854

產出年度

101

領域別

電資通光

專利名稱-中文

微機電結構

執行單位

工研院院本部

產出單位

工研院院本部

計畫名稱

工研院環境建構總計畫

專利發明人

陳振頤,王欽宏

核准國家

中華民國

獲證日期

101/01/13

證書號碼

I353960

專利期間起

100/12/11

專利期間訖

117/10/01

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種微機電結構及其製造方法，其中的微機電結構包括一個基板以及位在基板上的至少一個懸空微結構。前述懸空微結構包括多層金屬層、至少一層介電層以及至少一邊緣金屬壁。其中，介電層被夾在金屬層之間，而邊緣金屬壁則平行於懸空微結構的厚度方向並圍繞介電層的邊緣。上述邊緣金屬壁可阻擋製程中的蝕刻液蝕刻介電層，而金屬層複合介電層之結構則可以增加懸空微結構在厚度方向上的結構強度。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

備註

(空)

特殊情形

(空)

同步更新日期

2019-07-24

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微機電結構及其製造方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院環境建構總計畫 \| 專利發明人: 陳振頤,王欽宏 \| 證書號碼: ZL200810174526.6 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
微機電結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 南部產業共同實驗室環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳振頤,王欽宏 \| 證書號碼: 7,960,805 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

微機電結構及其製造方法

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微機電結構及其製造方法

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無線數據網路之行動管理方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 林一平, 楊舜仁, 馮文生 \| 證書號碼: 192304
提供雜訊信號之方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 陳芳祝, 蔡靜玲 \| 證書號碼: 200697
範例式概念導向資料擷取方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 林一中, 邱中人 \| 證書號碼: I221989
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領域別

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執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

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