電漿輔助有機薄膜沉積裝置
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文電漿輔助有機薄膜沉積裝置的核准國家是美國, 證書號碼是8235002, 專利期間起是101/08/07, 專利期間訖是118/11/12, 專利性質是發明, 執行單位是工研院南分院, 產出年度是101, 計畫名稱是軟性電子次世代設備及模組技術開發三年計畫, 專利發明人是黃國興,林東穎,張均豪,王家宏,王登彥.

序號	10612
產出年度	101
領域別	機械運輸
專利名稱-中文	電漿輔助有機薄膜沉積裝置
執行單位	工研院南分院
產出單位	工研院南分院
計畫名稱	軟性電子次世代設備及模組技術開發三年計畫
專利發明人	黃國興 \| 林東穎 \| 張均豪 \| 王家宏 \| 王登彥
核准國家	美國
獲證日期	101/10/19
證書號碼	8235002
專利期間起	101/08/07
專利期間訖	118/11/12
專利性質	發明
技術摘要-中文	本發明係提供一種電漿輔助有機薄膜沉積裝置，其主要係由一電漿產生室及一沉積室構成，該電漿產生室可進行電漿熱裂解該電漿產生室內之可聚合材料氣體；該沉積室係與該電漿產生室連通，用以接收該熱裂解之可聚合材料氣體，該沉積室包括一基板裝置，該基板裝置係可供該熱裂解之可聚合材料氣體沉積於其上以形成有機薄膜；由於電漿產生室與沉積室分離，因此可提供一低溫薄膜沉積製程，並可避免電漿離子直接撞擊基板；另可於該電漿產生室出口端設置導流裝置，對可聚合材料氣體產生導流或擾流作用，避免過度集中於出口端或基板中心，可有效改善有機薄膜表面粗糙度並提升其均勻性。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-5917812
傳真	03-5917431
電子信箱	noralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	(空)
特殊情形	(空)

序號

10612

產出年度

101

領域別

機械運輸

專利名稱-中文

電漿輔助有機薄膜沉積裝置

執行單位

工研院南分院

產出單位

工研院南分院

計畫名稱

軟性電子次世代設備及模組技術開發三年計畫

專利發明人

黃國興 | 林東穎 | 張均豪 | 王家宏 | 王登彥

核准國家

美國

獲證日期

101/10/19

證書號碼

8235002

專利期間起

101/08/07

專利期間訖

118/11/12

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明係提供一種電漿輔助有機薄膜沉積裝置，其主要係由一電漿產生室及一沉積室構成，該電漿產生室可進行電漿熱裂解該電漿產生室內之可聚合材料氣體；該沉積室係與該電漿產生室連通，用以接收該熱裂解之可聚合材料氣體，該沉積室包括一基板裝置，該基板裝置係可供該熱裂解之可聚合材料氣體沉積於其上以形成有機薄膜；由於電漿產生室與沉積室分離，因此可提供一低溫薄膜沉積製程，並可避免電漿離子直接撞擊基板；另可於該電漿產生室出口端設置導流裝置，對可聚合材料氣體產生導流或擾流作用，避免過度集中於出口端或基板中心，可有效改善有機薄膜表面粗糙度並提升其均勻性。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

noralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

(空)

特殊情形

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等離子體輔助有機薄膜沉積裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200710302363.0 \| 專利期間起: 1999/8/25 \| 專利期間訖: 116/12/24 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 軟性電子設備及模組技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 黃國興 ,林東穎 ,張均豪 ,王家宏 ,王登彥 @ 技術司專利資料集
有機薄膜封裝技術	執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 96 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 平面顯示器設備技術開發三年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 1.基板材質： PI on Glass_x000D_2.膜厚均勻性：＜5﹪_x000D_3.沉積速率：1000 Å \| 潛力預估: 1.平面顯示器 FPD_x000D_2.OLED薄膜封裝 OLED Thin Film Encapsulation @ 技術司可移轉技術資料集
電漿輔助有機薄膜沉積裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I364126 \| 專利期間起: 101/05/11 \| 專利期間訖: 116/11/22 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 101 \| 計畫名稱: 軟性電子次世代設備及模組技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 黃國興,林東穎,張均豪,王家宏,王登彥, @ 技術司專利資料集

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揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200810211084.8 \| 專利期間起: 102/01/23 \| 專利期間訖: 117/08/19 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陳明道 ,劉昌和 , @ 技術司專利資料集
晶圓級模封接合結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8,384,215 \| 專利期間起: 102/02/26 \| 專利期間訖: 120/06/30 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陸蘇財 ,莊敬業 ,林育民 @ 技術司專利資料集
感測裝置及其掃描驅動方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8,416,213 \| 專利期間起: 102/04/09 \| 專利期間訖: 120/03/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 沈煜棠 ,葉紹興 @ 技術司專利資料集
揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200710184913.3 \| 專利期間起: 102/03/20 \| 專利期間訖: 116/10/28 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 @ 技術司專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200910202828.4 \| 專利期間起: 102/04/03 \| 專利期間訖: 118/05/25 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 @ 技術司專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8,391,520 \| 專利期間起: 102/03/05 \| 專利期間訖: 120/12/15 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 @ 技術司專利資料集
照明裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I402456 \| 專利期間起: 102/07/21 \| 專利期間訖: 119/03/16 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃承揚 ,許詔開 @ 技術司專利資料集
Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8,940,333 \| 專利期間起: 104/01/27 \| 專利期間訖: 116/05/11 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 \| 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐 @ 技術司專利資料集

揚聲器單體結構

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晶圓級模封接合結構及其製造方法

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感測裝置及其掃描驅動方法

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揚聲器單體結構

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平面揚聲器單體與揚聲器裝置

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照明裝置

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Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same

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黏稠液吸出裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220186 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 何無忌
氣動工具之渦輪馬達	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 202004005998.3 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 郭啟榮, 吳嘉瑞, 張嘉揚, 王大維, 廖榮皇
應用光學干涉計之科氏力型流量計	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I220157 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 范政文, 粘金重, 郭忠柱, 朱高弘
應用光學干涉計之科氏力型流量計	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6722209 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 范政文, 粘金重, 郭忠柱, 朱高弘
微型振動式雙軸感測陀螺儀	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I220155 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 張凱程, 陳怡如, 許銘修, 范光錢, 梁佩芳
慣性感測器性能調整裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I220141 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 陳怡如, 張凱程, 范光錢, 許銘修, 梁佩芳
時差調節器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M242220 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 吳春蓉, 范光錢
抗爆貨櫃之底板邊樑吸能機制	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6786688 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王豐賀
高速轉子軸承預壓與緩衝機構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 224382 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 薛劍青
定位連結裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M246496 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 薛劍青, 許立傑
飛機客艙娛樂系統之紅外線無線控制裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL01100369.3 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 岑裕洲, 吳正南
通用型有限場乘法器裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 202615 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 徐裕峰, 陳自強
免用電池之無線麥克風裝置與傳輸方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 205117 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 童建凡
一種無線通訊之報警系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 205965 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 張民依
可調式漩渦粒子收集裝置	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 20315341.3 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 系統工程整合應用技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 張凱程, 梁佩芳, 張嘉原, 許品超

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