具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法
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專利名稱-中文具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是I434802, 專利期間起是119/12/22, 專利期間訖是一種具電性絕緣結構之微機電裝置，其包含一基板、一第一運動件、一第二運動件、複數個第一彈簧、複數個第二彈簧、複數個支撐座及一絕緣層。該絕緣層分別將該第一運動件、該第二運動件、各該支撐座、各該第一彈簧及各該第二彈簧分隔成相對應之第一導電部及第二導電部。該第一運動件包括一連接其第一導電部及第二導電部之第一..., 專利性質是發明, 執行單位是工研院南分院, 產出年度是103, 計畫名稱是南部新興產業發展關鍵技術計畫, 專利發明人是許郁文 ,林式庭 ,陳振頤 ,黃肇達.

序號	13926
產出年度	103
領域別	製造精進
專利名稱-中文	具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法
執行單位	工研院南分院
產出單位	工研院南分院
計畫名稱	南部新興產業發展關鍵技術計畫
專利發明人	許郁文 \| 林式庭 \| 陳振頤 \| 黃肇達
核准國家	中華民國
獲證日期	103/04/21
證書號碼	I434802
專利期間起	119/12/22
專利期間訖	一種具電性絕緣結構之微機電裝置，其包含一基板、一第一運動件、一第二運動件、複數個第一彈簧、複數個第二彈簧、複數個支撐座及一絕緣層。該絕緣層分別將該第一運動件、該第二運動件、各該支撐座、各該第一彈簧及各該第二彈簧分隔成相對應之第一導電部及第二導電部。該第一運動件包括一連接其第一導電部及第二導電部之第一導電通柱，又該第二運動件包含一第一隔絕部，該第一隔絕部分隔該第二運動件之第二導電部為一外導電區及一內導電區。至少一該支撐座包括一第二隔絕部及一第二導電通柱，該第二隔絕部分隔該支撐座之第二導電部為一外導電區及一內導電區。該第二導電通柱連接該支撐座之外導電區及第一導電部。藉由該第一與第二導電通柱、該第一與第二導電部及該第一與第二隔絕部分，該電性絕緣結構之微機電裝置具有多個獨立且不相互連接之電性通道。
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種具電性絕緣結構之微機電裝置，其包含一基板、一第一運動件、一第二運動件、複數個第一彈簧、複數個第二彈簧、複數個支撐座及一絕緣層。該絕緣層分別將該第一運動件、該第二運動件、各該支撐座、各該第一彈簧及各該第二彈簧分隔成相對應之第一導電部及第二導電部。該第一運動件包括一連接其第一導電部及第二導電部之第一導電通柱，又該第二運動件包含一第一隔絕部，該第一隔絕部分隔該第二運動件之第二導電部為一外導電區及一內導電區。至少一該支撐座包括一第二隔絕部及一第二導電通柱，該第二隔絕部分隔該支撐座之第二導電部為一外導電區及一內導電區。該第二導電通柱連接該支撐座之外導電區及第一導電部。藉由該第一與第二導電通柱、該第一與第二導電部及該第一與第二隔絕部分，該電性絕緣結構之微機電裝置具有多個獨立且不相互連接之電性通道。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-5917812
傳真	03-5917431
電子信箱	noralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	(空)
特殊情形	(空)

序號

13926

產出年度

103

領域別

製造精進

專利名稱-中文

具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法

執行單位

工研院南分院

產出單位

工研院南分院

計畫名稱

南部新興產業發展關鍵技術計畫

專利發明人

許郁文 | 林式庭 | 陳振頤 | 黃肇達

核准國家

中華民國

獲證日期

103/04/21

證書號碼

I434802

專利期間起

119/12/22

專利期間訖

一種具電性絕緣結構之微機電裝置，其包含一基板、一第一運動件、一第二運動件、複數個第一彈簧、複數個第二彈簧、複數個支撐座及一絕緣層。該絕緣層分別將該第一運動件、該第二運動件、各該支撐座、各該第一彈簧及各該第二彈簧分隔成相對應之第一導電部及第二導電部。該第一運動件包括一連接其第一導電部及第二導電部之第一導電通柱，又該第二運動件包含一第一隔絕部，該第一隔絕部分隔該第二運動件之第二導電部為一外導電區及一內導電區。至少一該支撐座包括一第二隔絕部及一第二導電通柱，該第二隔絕部分隔該支撐座之第二導電部為一外導電區及一內導電區。該第二導電通柱連接該支撐座之外導電區及第一導電部。藉由該第一與第二導電通柱、該第一與第二導電部及該第一與第二隔絕部分，該電性絕緣結構之微機電裝置具有多個獨立且不相互連接之電性通道。

專利性質

發明

技術摘要-中文

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

noralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

(空)

特殊情形

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具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8,695,426 \| 專利期間起: 121/02/04 \| 專利期間訖: 一種具電性絕緣結構之微機電裝置，其包含一基板、一第一運動件、一第二運動件、複數個第一彈簧、複數個第二彈簧、複數個支撐座及一絕緣層。該絕緣層分別將該第一運動件、該第二運動件、各該支撐座、各該第一彈簧及各... \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 103 \| 計畫名稱: 南部新興產業發展關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 許郁文 ,林式庭 ,陳振頤 ,黃肇達 @ 技術司專利資料集
具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8695426 \| 專利期間起: 121/02/04 \| 專利期間訖: 一種具電性絕緣結構之微機電裝置，其包含一基板、一第一運動件、一第二運動件、複數個第一彈簧、複數個第二彈簧、複數個支撐座及一絕緣層。該絕緣層分別將該第一運動件、該第二運動件、各該支撐座、各該第一彈簧及各... \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 103 \| 計畫名稱: 南部新興產業發展關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 許郁文 ,林式庭 ,陳振頤 ,黃肇達 @ 技術司專利資料集
具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 9,382,112 \| 專利期間起: 105/07/05 \| 專利期間訖: 121/01/18 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 105 \| 計畫名稱: 關鍵製造業製程高值化拔尖計畫 \| 專利發明人: 許郁文 ,林式庭 ,陳振頤 ,黃肇達 @ 技術司專利資料集
具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 9382112 \| 專利期間起: 105/07/05 \| 專利期間訖: 121/01/18 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 105 \| 計畫名稱: 關鍵製造業製程高值化拔尖計畫 \| 專利發明人: 許郁文 ,林式庭 ,陳振頤 ,黃肇達 @ 技術司專利資料集

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具有電絕緣結構的微機電系統裝置及其製造方法

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平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8,391,520 \| 專利期間起: 102/03/05 \| 專利期間訖: 120/12/15 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 @ 技術司專利資料集
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Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 8,940,333 \| 專利期間起: 104/01/27 \| 專利期間訖: 116/05/11 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 \| 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐 @ 技術司專利資料集

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平面揚聲器單體與揚聲器裝置

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自發配向的膽固醇液晶型增亮膜的製法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6721030 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 先進有機材料產業技術四年計畫 \| 專利發明人: 謝葆如, 郭惠隆, 吳平耀, 朱文彬

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