利用加熱刀具切割晶圓貼合膜的裝置及方法
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專利名稱-中文利用加熱刀具切割晶圓貼合膜的裝置及方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是I475608, 專利期間起是104/03/01, 專利期間訖是121/12/31, 專利性質是發明, 執行單位是精機中心, 產出年度是104, 計畫名稱是智慧自動化系統關鍵技術開發計畫, 專利發明人是蕭仁忠、何嘉萍、陳勁豪、張桂榮.

序號	17189
產出年度	104
領域別	製造精進
專利名稱-中文	利用加熱刀具切割晶圓貼合膜的裝置及方法
執行單位	精機中心
產出單位	精機中心
計畫名稱	智慧自動化系統關鍵技術開發計畫
專利發明人	蕭仁忠 \| 何嘉萍 \| 陳勁豪 \| 張桂榮
核准國家	中華民國
獲證日期	104/03/01
證書號碼	I475608
專利期間起	104/03/01
專利期間訖	121/12/31
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種利用加熱刀具切割晶圓貼合膜的裝置，應用於一晶圓及一貼覆於該晶圓的貼合膜，該裝置包含一承載座、一刀具單元及一加熱單元，該承載座包括一用以承載該晶圓的承載部，及一圍繞該承載部並供局部的該貼合膜貼覆的環框部，該刀具單元設置於該承載座上方，且包括一可受驅動而繞該承載部移動以切割該貼合膜的刀具，該加熱單元相鄰該刀具單元設置，並可對該刀具進行加熱，藉由該加熱單元的設置，使該刀具能夠同時以直接切割及熱熔切割兩種方式進行，即便該刀具受到磨損依然能以熱熔切割的方式進行切割，確保切割作業能長時間進行而不間斷。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	林士育
電話	04-2359009#806
傳真	04-23598846
電子信箱	e10143@mail.pmc.org.tw
參考網址	http://www.pmc.org.tw/
備註	(空)
特殊情形	(空)

序號

17189

產出年度

104

領域別

製造精進

專利名稱-中文

利用加熱刀具切割晶圓貼合膜的裝置及方法

執行單位

精機中心

產出單位

精機中心

計畫名稱

智慧自動化系統關鍵技術開發計畫

專利發明人

蕭仁忠 | 何嘉萍 | 陳勁豪 | 張桂榮

核准國家

中華民國

獲證日期

104/03/01

證書號碼

I475608

專利期間起

104/03/01

專利期間訖

121/12/31

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種利用加熱刀具切割晶圓貼合膜的裝置，應用於一晶圓及一貼覆於該晶圓的貼合膜，該裝置包含一承載座、一刀具單元及一加熱單元，該承載座包括一用以承載該晶圓的承載部，及一圍繞該承載部並供局部的該貼合膜貼覆的環框部，該刀具單元設置於該承載座上方，且包括一可受驅動而繞該承載部移動以切割該貼合膜的刀具，該加熱單元相鄰該刀具單元設置，並可對該刀具進行加熱，藉由該加熱單元的設置，使該刀具能夠同時以直接切割及熱熔切割兩種方式進行，即便該刀具受到磨損依然能以熱熔切割的方式進行切割，確保切割作業能長時間進行而不間斷。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

林士育

電話

04-2359009#806

傳真

04-23598846

電子信箱

e10143@mail.pmc.org.tw

參考網址

http://www.pmc.org.tw/

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(空)

特殊情形

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用於射出成型之參數設定方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I478805 \| 專利期間起: 104/04/01 \| 專利期間訖: 120/12/31 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 許逸書 \| 張睿文 \| 鍾智雄 \| 陳信宏 @ 技術司專利資料集
線性馬達之位置檢知方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I482400 \| 專利期間起: 104/04/21 \| 專利期間訖: 122/12/31 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 何嘉萍 \| 方景亮 @ 技術司專利資料集
具有煞車鎖定機構之旋轉台	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL201210195085.4 \| 專利期間起: 101/06/13 \| 專利期間訖: 121/06/13 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 劉育安 @ 技術司專利資料集
用於機械加工設備之感測模組、具有該感測模組之監控系統，以及該監控系統之操作方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I491463 \| 專利期間起: 104/07/11 \| 專利期間訖: 121/09/25 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 鍾添淦 \| 張睿文 \| 蔡沛原 @ 技術司專利資料集
角度編碼器之角度檢知方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I506250 \| 專利期間起: 104/11/01 \| 專利期間訖: 122/01/13 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 方景亮 \| 廖茂欽 @ 技術司專利資料集
線性滑軌組之位置檢知方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I506263 \| 專利期間起: 104/11/01 \| 專利期間訖: 122/01/13 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 何嘉萍 \| 方景亮 \| 廖茂欽 @ 技術司專利資料集
應用於並聯型機器手的關節裝置	核准國家: 日本 \| 證書號碼: 5832486 \| 專利期間起: 102/07/18 \| 專利期間訖: 122/07/18 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 易子民 \| 林俊村 @ 技術司專利資料集
應用於並聯型機器手的關節裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I508831 \| 專利期間起: 104/11/21 \| 專利期間訖: 122/01/27 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 104 \| 計畫名稱: 智慧自動化系統關鍵技術開發計畫 \| 專利發明人: 易子民 \| 林俊村 @ 技術司專利資料集

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海水或滷水中鋰離子濃縮方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 192177 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 永續資源技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 吳宗杰 \| 林俊仁 \| 許哲源 \| 江玉琳
二氧化碳超臨界流萃取天然氨基酸之製造法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 195746 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 永續資源技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 劉致中 \| 林俊仁 \| 許哲源
化學機制控制型高濃度臭氧/反應液體產生系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 197106 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 永續資源技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 金光祖 \| 陳秋美
從滷水生產鋰濃縮液的方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 203406 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 永續資源技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 張怡隆 \| 江玉琳 \| 許哲源 \| 林俊仁
從滷水生產鋰濃縮液的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,764,584 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 永續資源技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 張怡隆 \| 江玉琳 \| 許哲源 \| 林俊仁
用於鋰離子電池之正極的改質鋰鈷氧化物，其製備方法及鋰離子電池	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 192322 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 永續資源技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 李日琪 \| 林俊仁 \| 許哲源
四氧化三鈷之低溫合成方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 206821 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 永續資源技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 李日琪 \| 許哲源 \| 林俊仁
半固態金屬射出成形之方法與裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 189315 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 彭暄 \| 蔡浪富 \| 梁沐旺 \| 徐文敏 \| 賴根賢 \| 胡立德
電腦視窗界面的快速多工控制系統	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL98125165.X \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 許文通 \| 郭文章 \| 王國光 \| 葉昭蘭
雙螺旋轉子總成	核准國家: 英國 \| 證書號碼: GB2352777 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 方宏聲 \| 馮展華 \| 王漢聰 \| 蔡政展 \| 陳俊宏 \| 陳明豐
無電鍍形成雙層以上金屬凸塊的製備方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL01118735.2 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 梁沐旺 \| 曾乙修 \| 蔣邦民
無電鍍形成雙層以上金屬凸塊之製程	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6653235 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 梁沐旺 \| 曾乙修 \| 蔣邦民
微工件之選料裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6817465 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 潘正堂 \| 吳東權
潔淨容器之氣孔裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6732877 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 吳宗明 \| 蔡昇富 \| 蘇戊成
應用于工具機直結式主軸的松刀機構	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL03251417.4 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 胡志揚 \| 黃鴻傑 \| 張恩生 \| 蔡坤龍

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序號

產出年度

領域別

專利名稱-中文

執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

核准國家

獲證日期

證書號碼

專利期間起

專利期間訖

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