以稀土族氧化物作為矽電晶體及鍺電容元件之閘極介電層研究
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論文名稱以稀土族氧化物作為矽電晶體及鍺電容元件之閘極介電層研究的作者是吳昭懿, 指導教授是巫勇賢, 學位類別是碩士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是Study of Rare-Earth Oxide as the Gate Dielectric for Si MOSFETs and Ge MOS Capacitors, 系所名稱是工程與系統科學系, 學校名稱是國立清華大學.

論文名稱	以稀土族氧化物作為矽電晶體及鍺電容元件之閘極介電層研究
論文名稱(外文)	Study of Rare-Earth Oxide as the Gate Dielectric for Si MOSFETs and Ge MOS Capacitors
學校名稱	國立清華大學
系所名稱	工程與系統科學系
畢業學年度	102
學位類別	碩士
作者	吳昭懿
指導教授	巫勇賢
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/2h67pm

論文名稱

以稀土族氧化物作為矽電晶體及鍺電容元件之閘極介電層研究

論文名稱(外文)

Study of Rare-Earth Oxide as the Gate Dielectric for Si MOSFETs and Ge MOS Capacitors

學校名稱

國立清華大學

系所名稱

工程與系統科學系

畢業學年度

102

學位類別

碩士

作者

吳昭懿

指導教授

巫勇賢

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/2h67pm

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