氮化矽側壁硬式光罩製造之環繞式閘極多晶矽無接面奈米線薄膜電晶體特性研究
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論文名稱氮化矽側壁硬式光罩製造之環繞式閘極多晶矽無接面奈米線薄膜電晶體特性研究的作者是簡崇哲, 指導教授是林鴻志黃調元, 學位類別是碩士, 畢業學年度是104, 論文名稱(外文)是Characterization of Gate-All-Around Nanowire Junctionless Poly-Silicon Thin Film Transistors Fabricated by Nitride Hard Mask Methods, 系所名稱是電子工程學系電子研究所, 學校名稱是國立交通大學.

論文名稱	氮化矽側壁硬式光罩製造之環繞式閘極多晶矽無接面奈米線薄膜電晶體特性研究
論文名稱(外文)	Characterization of Gate-All-Around Nanowire Junctionless Poly-Silicon Thin Film Transistors Fabricated by Nitride Hard Mask Methods
學校名稱	國立交通大學
系所名稱	電子工程學系電子研究所
畢業學年度	104
學位類別	碩士
作者	簡崇哲
指導教授	林鴻志黃調元
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/5cjydw

論文名稱

氮化矽側壁硬式光罩製造之環繞式閘極多晶矽無接面奈米線薄膜電晶體特性研究

論文名稱(外文)

Characterization of Gate-All-Around Nanowire Junctionless Poly-Silicon Thin Film Transistors Fabricated by Nitride Hard Mask Methods

學校名稱

國立交通大學

系所名稱

電子工程學系電子研究所

畢業學年度

104

學位類別

碩士

作者

簡崇哲

指導教授

林鴻志黃調元

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/5cjydw

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