光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 @ 政府開放資料
光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 - 搜尋結果總共有 51 筆政府開放資料，以下是 1 - 20 [第 1 頁]。
微型陀螺儀設計製造開發 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測範圍：±100度/秒；非線性度：±1.0%；操作電壓：10.0±0.5伏特；操作溫度：-40℃~125℃；元件共振頻率：9 KHz；本體尺寸：9mm(L)×9mm(W)×1.3mm(H)。 | 潛力預估: 突破美國專利，完成型態、製程等核心技術專利佈局，廣泛應用於汽車、資訊、航太等產業，預計產業應用產值約40億美金。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
微型陀螺儀設計製造開發 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測範圍：±100度/秒；非線性度：±1.0%；操作電壓：10.0±0.5 伏特；操作溫度： -40℃ ~ 125℃；元件共振頻率：9 KHz；本體尺寸：9mm(L)×9mm(W)×1.3mm(H)。 | 潛力預估: 突破美國專利，完成型態、製程等核心技術專利佈局，廣泛應用於汽車、資訊、航太等產業，預計產業應用產值約40億美金。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
大面積加熱靜電吸附承載平台 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 承載台加熱尺寸：1220X1400mm；材料：5083鋁合金；輸入功率：16KW；加熱方式：電熱管。 | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
大尺寸長方型高真空閘閥 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Leak rate: body, valve seat< 1×10^-9 mbar Pressure range1×10^-9 mbar to 3.0 bar (abs)Differential pr... | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
微型陀螺儀設計製造開發 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測範圍： ±100度/秒 ；非線性度： ±1.0% ；操作電壓： 10.0±0.5 伏特 ；操作溫度： -40℃ ~ 125℃ ；元件共振頻率： 9 KHz；本體尺寸：9mm(L)×9mm(W)×1... | 潛力預估: 突破美國專利，完成型態、製程等核心技術專利佈局，廣泛應用於汽車、資訊、航太等產業，預計產業應用產值約40億美金。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
快速熱處理機台 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 最大尺寸–300 mmΦ；最高溫度–1200℃；最大溫升速率–100℃/sec；溫度均勻性–±2℃(3σ)。 | 潛力預估: 太陽能板及軟性電子製程運用。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
沉積製程之低溫退火 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 退火溫度 < 600 ℃、工件材質 - 玻璃。 | 潛力預估: 薄膜太陽能板製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
集束型晶圓輸送裝置及方法 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 游欽宏、洪建中、李玉麟、林榮延、黃耀明、王偉正、許覺良、汪培昇、 范鈞淵、 潘泰甫 | 證書號碼: I283037 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
半導體銅製程整合極低介電常數材料之拋光方法 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 潘文玨 許覺良 賴哲雄 范陽鑑 王鎰興 朱智偉 | 證書號碼: I302350 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
產生奈米結構之方法及其所製造的奈米結構 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 許晉睿、謝念中、黃繼震、張欽宗、許覺良 | 證書號碼: I253973 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
固態雷射玻璃切割設備 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Yb-YAG雷射750W CW wave，上下反射鏡，加工範圍 1100X1250以上。 | 潛力預估: 取代目前鑽石刀輪切割面板玻璃及其他玻璃切割。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
固態雷射玻璃切割設備 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Yb-YAG雷射750W CW wave，上下反射鏡，加工範圍 1100X1250以上。 | 潛力預估: 取代目前鑽石刀輪切割面板玻璃及其他玻璃切割。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
固態雷射玻璃切割設備 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Yb-YAG雷射750W CW wave，上下反射鏡，加工範圍1100X1250以上。 | 潛力預估: 取代目前鑽石刀輪切割面板玻璃及其他玻璃切割。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
正面吸附式晶圓擷取手臂 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 王偉正、游欽宏、陳献忠、洪建中、練福人、林榮延、李玉麟 | 證書號碼: I283036 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
用於半導體銅金屬層之化學機械研磨漿 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 蔡明策、史宗淮、潘文玨、范陽鑑 | 證書號碼: I255851 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
壓電式低應力拋光裝置 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 范陽鑑、鄭友仁、蔡孟勳、潘文玨、賴哲雄 | 證書號碼: I270131 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
壓電式低應力拋光裝置 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 范陽鑑 鄭友仁 蔡孟勳 潘文玨 賴哲雄 | 證書號碼: I270131 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
圓形共振腔天線結構及其發訊方法 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 戴 涪、黃重鈞、許覺良 | 證書號碼: I249264 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
雷射切割機之控制方法 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 黃石柱 翁仁彥 張欽宗 許覺良 | 證書號碼: I290075 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
雙軸旋轉機構之不平衡量量測法 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 石世雄 曾文豪 賴俊佑 古佳弘 | 證書號碼: I272372 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
微型陀螺儀設計製造開發執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測範圍：±100度/秒；非線性度：±1.0%；操作電壓：10.0±0.5伏特；操作溫度：-40℃~125℃；元件共振頻率：9 KHz；本體尺寸：9mm(L)×9mm(W)×1.3mm(H)。 | 潛力預估: 突破美國專利，完成型態、製程等核心技術專利佈局，廣泛應用於汽車、資訊、航太等產業，預計產業應用產值約40億美金。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
微型陀螺儀設計製造開發執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測範圍：±100度/秒；非線性度：±1.0%；操作電壓：10.0±0.5 伏特；操作溫度： -40℃ ~ 125℃；元件共振頻率：9 KHz；本體尺寸：9mm(L)×9mm(W)×1.3mm(H)。 | 潛力預估: 突破美國專利，完成型態、製程等核心技術專利佈局，廣泛應用於汽車、資訊、航太等產業，預計產業應用產值約40億美金。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
大面積加熱靜電吸附承載平台執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 承載台加熱尺寸：1220X1400mm；材料：5083鋁合金；輸入功率：16KW；加熱方式：電熱管。 | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
大尺寸長方型高真空閘閥執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Leak rate: body, valve seat< 1×10^-9 mbar Pressure range1×10^-9 mbar to 3.0 bar (abs)Differential pr... | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
微型陀螺儀設計製造開發執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測範圍： ±100度/秒 ；非線性度： ±1.0% ；操作電壓： 10.0±0.5 伏特 ；操作溫度： -40℃ ~ 125℃ ；元件共振頻率： 9 KHz；本體尺寸：9mm(L)×9mm(W)×1... | 潛力預估: 突破美國專利，完成型態、製程等核心技術專利佈局，廣泛應用於汽車、資訊、航太等產業，預計產業應用產值約40億美金。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
快速熱處理機台執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 最大尺寸–300 mmΦ；最高溫度–1200℃；最大溫升速率–100℃/sec；溫度均勻性–±2℃(3σ)。 | 潛力預估: 太陽能板及軟性電子製程運用。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
沉積製程之低溫退火執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 退火溫度 < 600 ℃、工件材質 - 玻璃。 | 潛力預估: 薄膜太陽能板製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
集束型晶圓輸送裝置及方法核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 游欽宏、洪建中、李玉麟、林榮延、黃耀明、王偉正、許覺良、汪培昇、 范鈞淵、 潘泰甫 | 證書號碼: I283037 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
半導體銅製程整合極低介電常數材料之拋光方法核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 潘文玨 許覺良 賴哲雄 范陽鑑 王鎰興 朱智偉 | 證書號碼: I302350 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
產生奈米結構之方法及其所製造的奈米結構核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 許晉睿、謝念中、黃繼震、張欽宗、許覺良 | 證書號碼: I253973 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
固態雷射玻璃切割設備執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Yb-YAG雷射750W CW wave，上下反射鏡，加工範圍 1100X1250以上。 | 潛力預估: 取代目前鑽石刀輪切割面板玻璃及其他玻璃切割。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
固態雷射玻璃切割設備執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Yb-YAG雷射750W CW wave，上下反射鏡，加工範圍 1100X1250以上。 | 潛力預估: 取代目前鑽石刀輪切割面板玻璃及其他玻璃切割。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
固態雷射玻璃切割設備執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Yb-YAG雷射750W CW wave，上下反射鏡，加工範圍1100X1250以上。 | 潛力預估: 取代目前鑽石刀輪切割面板玻璃及其他玻璃切割。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
正面吸附式晶圓擷取手臂核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 王偉正、游欽宏、陳献忠、洪建中、練福人、林榮延、李玉麟 | 證書號碼: I283036 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
用於半導體銅金屬層之化學機械研磨漿核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 蔡明策、史宗淮、潘文玨、范陽鑑 | 證書號碼: I255851 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
壓電式低應力拋光裝置核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 范陽鑑、鄭友仁、蔡孟勳、潘文玨、賴哲雄 | 證書號碼: I270131 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
壓電式低應力拋光裝置核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 范陽鑑 鄭友仁 蔡孟勳 潘文玨 賴哲雄 | 證書號碼: I270131 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
圓形共振腔天線結構及其發訊方法核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 戴 涪、黃重鈞、許覺良 | 證書號碼: I249264 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
雷射切割機之控制方法核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 黃石柱 翁仁彥 張欽宗 許覺良 | 證書號碼: I290075 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
雙軸旋轉機構之不平衡量量測法核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 石世雄 曾文豪 賴俊佑 古佳弘 | 證書號碼: I272372 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |