I270131 @ 政府開放資料

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壓電式低應力拋光裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 95 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 \| 專利發明人: 范陽鑑、鄭友仁、蔡孟勳、潘文玨、賴哲雄 \| 證書號碼: I270131 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
壓電式低應力拋光裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 \| 專利發明人: 范陽鑑鄭友仁蔡孟勳潘文玨賴哲雄 \| 證書號碼: I270131 @ 經濟部產業技術司–專利資料集