300mm電子迴旋共振高密度電漿蝕刻機台
- 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 @ 經濟部
技術名稱-中文300mm電子迴旋共振高密度電漿蝕刻機台的執行單位是中科院飛彈所, 產出年度是93, 計畫名稱是新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫, 技術規格是．蝕刻300mm 晶圓之0.25μ細線．蝕刻速率為2,500 A /min ．蝕刻均勻度小於3 %, 潛力預估是我國半導體製造已耀居全球第四位，所需求之半導體前段設備投資規格已居全球第三，於民國91年市場達34.6億美元，預計至95年我國半導體製程達56.2億美元。本機台可應用在半導體前段製程及LCD製程，預估未來每年至少有新台幣50億元之商機.
| 序號 | 424 |
| 產出年度 | 93 |
| 技術名稱-中文 | 300mm電子迴旋共振高密度電漿蝕刻機台 |
| 執行單位 | 中科院飛彈所 |
| 產出單位 | (空) |
| 計畫名稱 | 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 |
| 領域 | (空) |
| 已申請專利之國家 | (空) |
| 已獲得專利之國家 | (空) |
| 技術現況敘述-中文 | 300mm電子迴旋共振電槳機台為高密度大面積電漿源，已安裝於清華大學之半導體中心進行合作研究，本機台所產生電漿為高密度、低能量較適合製作精密次微米溝槽蝕刻或大型微電子電路製作 |
| 技術現況敘述-英文 | (空) |
| 技術規格 | ．蝕刻300mm 晶圓之0.25μ細線．蝕刻速率為2,500 A /min ．蝕刻均勻度小於3 % |
| 技術成熟度 | 試量產 |
| 可應用範圍 | 300mm 晶圓之精密蝕刻、清洗; TFT-LCD之蝕刻、清洗 |
| 潛力預估 | 我國半導體製造已耀居全球第四位，所需求之半導體前段設備投資規格已居全球第三，於民國91年市場達34.6億美元，預計至95年我國半導體製程達56.2億美元。本機台可應用在半導體前段製程及LCD製程，預估未來每年至少有新台幣50億元之商機 |
| 聯絡人員 | 戴涪 |
| 電話 | 03-4452098 |
| 傳真 | 03-4711605 |
| 電子信箱 | (空) |
| 參考網址 | (空) |
| 所須軟硬體設備 | ‧2.45GHz、2.5KW、高功率微波輸送系統。
．500Φ、873高斯中空電磁場，10KW、50V、直流電源供應器。
．多組電漿反應氣體，質流量穩流供應控制器。
．Barotron高真空感應，自動大閥門，分子渦輪幫浦真空控制系統
．電漿化學氣相沉積製程，程序自動化控制系統 |
| 需具備之專業人才 | 電機、電子、機械、物理、化學 |
| 同步更新日期 | 2019-07-24 |
序號424 |
產出年度93 |
技術名稱-中文300mm電子迴旋共振高密度電漿蝕刻機台 |
執行單位中科院飛彈所 |
產出單位(空) |
計畫名稱新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 |
領域(空) |
已申請專利之國家(空) |
已獲得專利之國家(空) |
技術現況敘述-中文300mm電子迴旋共振電槳機台為高密度大面積電漿源，已安裝於清華大學之半導體中心進行合作研究，本機台所產生電漿為高密度、低能量較適合製作精密次微米溝槽蝕刻或大型微電子電路製作 |
技術現況敘述-英文(空) |
技術規格．蝕刻300mm 晶圓之0.25μ細線．蝕刻速率為2,500 A /min ．蝕刻均勻度小於3 % |
技術成熟度試量產 |
可應用範圍300mm 晶圓之精密蝕刻、清洗; TFT-LCD之蝕刻、清洗 |
潛力預估我國半導體製造已耀居全球第四位，所需求之半導體前段設備投資規格已居全球第三，於民國91年市場達34.6億美元，預計至95年我國半導體製程達56.2億美元。本機台可應用在半導體前段製程及LCD製程，預估未來每年至少有新台幣50億元之商機 |
聯絡人員戴涪 |
電話03-4452098 |
傳真03-4711605 |
電子信箱(空) |
參考網址(空) |
所須軟硬體設備‧2.45GHz、2.5KW、高功率微波輸送系統。
．500Φ、873高斯中空電磁場，10KW、50V、直流電源供應器。
．多組電漿反應氣體，質流量穩流供應控制器。
．Barotron高真空感應，自動大閥門，分子渦輪幫浦真空控制系統
．電漿化學氣相沉積製程，程序自動化控制系統 |
需具備之專業人才電機、電子、機械、物理、化學 |
同步更新日期2019-07-24 |
根據名稱 300mm電子迴旋共振高密度電漿蝕刻機台 找到的相關資料
| 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 蝕刻300mm 晶圓之0.25μ細線；蝕刻速率為2,500 A /min ；蝕刻均勻度小於3 % | 潛力預估: 我國半導體製造已耀居全球第四位，所需求之半導體前段設備投資規格已居全球第三，於民國91年市場達34.6億美元，預計至95年我國半導體製程達56.2億美元。本機台可應用在半導體前段製程及LCD製程，預估... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 蝕刻300mm 晶圓之0.25μ細線；蝕刻速率為2,500 A /min ；蝕刻均勻度小於3 % | 潛力預估: 我國半導體製造已耀居全球第四位，所需求之半導體前段設備投資規格已居全球第三，於民國91年市場達34.6億美元，預計至95年我國半導體製程達56.2億美元。本機台可應用在半導體前段製程及LCD製程，預估... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
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(以下顯示 6 筆) (或要:直接搜尋所有 03-4452098 ...) | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 沉積率:2,500A/min，沉積溫度低於350℃，沉積均勻度為3% | 潛力預估: 為我國從民國87年起，投資LCD相關產業約新台幣 2,000億元，LCD全球市場在民國94年將達390億美元，而全球設備產業將達61億美元，其中LCD前段製程設備則佔33億美元。本機台可應用在半導體... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
| 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 基板大小:300mm×300mm，製程溫度低於450℃，均勻度為3% | 潛力預估: 奈米碳管可用於場發射元件、奈米導線、奈米探針、儲能材料、結構複合材料等領域，為本世紀最具應用潛力的新材料，世界先進國家均積極投入研發，並列為各該國家奈米計畫研究重點項目。因此，開發大面積、高密度電漿源... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
| 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 沉積率:2,500A/min，沉積溫度低於350℃，沉積均勻度為3% | 潛力預估: 為我國從民國87年起，投資LCD相關產業約新台幣 2,000億元，LCD全球市場在民國94年將達390億美元，而全球設備產業將達61億美元，其中LCD前段製程設備則佔33億美元。本機台可應用在半導體... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
| 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Leak rate: body, valve seat< 1×10^-9 mbar Pressure range1×10^-9 mbar to 3.0 bar (abs)Differential pr... | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
| 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 承載台加熱尺寸：1220X1400mm；材料：5083鋁合金；輸入功率：16KW；加熱方式：電熱管。 | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
| 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 頻率：2.45GHz；材料：6061鋁合金；輸入功率：6KW。 | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 沉積率:2,500A/min，沉積溫度低於350℃，沉積均勻度為3% | 潛力預估: 為我國從民國87年起，投資LCD相關產業約新台幣 2,000億元，LCD全球市場在民國94年將達390億美元，而全球設備產業將達61億美元，其中LCD前段製程設備則佔33億美元。本機台可應用在半導體... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 基板大小:300mm×300mm，製程溫度低於450℃，均勻度為3% | 潛力預估: 奈米碳管可用於場發射元件、奈米導線、奈米探針、儲能材料、結構複合材料等領域，為本世紀最具應用潛力的新材料，世界先進國家均積極投入研發，並列為各該國家奈米計畫研究重點項目。因此，開發大面積、高密度電漿源... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 沉積率:2,500A/min，沉積溫度低於350℃，沉積均勻度為3% | 潛力預估: 為我國從民國87年起，投資LCD相關產業約新台幣 2,000億元，LCD全球市場在民國94年將達390億美元，而全球設備產業將達61億美元，其中LCD前段製程設備則佔33億美元。本機台可應用在半導體... @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: Leak rate: body, valve seat< 1×10^-9 mbar Pressure range1×10^-9 mbar to 3.0 bar (abs)Differential pr... | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 承載台加熱尺寸：1220X1400mm；材料：5083鋁合金；輸入功率：16KW；加熱方式：電熱管。 | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 領域: | 技術規格: 頻率：2.45GHz；材料：6061鋁合金；輸入功率：6KW。 | 潛力預估: 從半導體、平面顯示器到薄膜太陽能電池製程設備。 @ 經濟部產業技術司–可移轉技術資料集 |
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| 執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 丹尼數50-20d 抗撕裂強度500g 耐磨>10000rubs之針梭織物 | 潛力預估: 可發展運動休閒市場成衣用料 |
| 執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 硬體規格CPU:1GHZ Ram:520MB VGA:RAM64MB WINDOW系統2000以上 設計規格:dobby梭織織物 | 潛力預估: 降低設計及織造錯誤 |
| 執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 組織防水成衣 | 潛力預估: 開發符合都會休閒品牌需求之各類防雨淋成衣 |
| 執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 組織防水成衣 | 潛力預估: 開發符合野外活動品牌需求之各類防雨淋成衣 |
| 執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 超輕薄成衣 | 潛力預估: 開發符合戶外運動品牌需求之各類超輕薄成衣 |
| 執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 超輕薄成衣 | 潛力預估: 開發符合都會休閒品牌需求之各類超輕薄成衣 |
| 執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 梭織及傢飾 | 潛力預估: 節省試樣時間及設計溝通成本。 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 奈米材料晶粒＜10nm，具結晶性；多孔性材料具高度規則性，比表面積可調整(300~1200m2/g)。 | 潛力預估: 可切入民生、戶外用品及汽車領域市場。 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 經110次標準水洗試驗，阻抗變化＜10%，系統準確度＞90％ | 潛力預估: 可以搶攻居家照護與保健以及遠端醫療市場 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: RF頻段UHF(902~928MHz)，全方向性訊號接收空間配置點4，準確度達99％。 | 潛力預估: 預估2006~2008年RFID的市場會倍增，市場潛力相大 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 本不織布之斷裂伸度可超過450%，斷裂強力超過3.5kg/10cm，且50%彈性回復率超過90%以上，另外具有透氣及透濕、良好撥水效果及低過敏性 | 潛力預估: 彈性人造皮革可以搶攻鞋材、皮件與汽車內裝市場；醫療彈性不織布可搶攻護具、口罩、手套、包紮材料、繃帶、敷材貼布等相當具有潛力 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 拉伸強度>400kg/5cm，撕裂強度>70kgf，耐磨>700次(ASTM D3884 H18 1Kg)，耐候試驗(ASTM-G155-1)500小時，強度衰減率 | 潛力預估: 可部分取代現有的後加工用材料，極具市場性及潛力 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 改質共聚物占4~8mole%,RV>2.4,Tm>180℃ | 潛力預估: 國內耐隆年產能70萬噸,預估取代1%產能,產值約10億元 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 膠原蛋白複合纖維強度> 3g/d， 膠原蛋白複合敷材無細胞毒性，且較市售之氧化纖維素止血時間縮短30％以上 | 潛力預估: 國內市場年產值(約)NT$ 2億元；年銷售額(約) NT$ 1億元 |
| 執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 1.傷口治癒時程較市售敷料(BGC matrix)短；2.凝膠樣品沾水前保持力大於78.4N/m2/day。沾水後保持力小於1N/m2/day | 潛力預估: 國內市場年產值(約)NT$ 1.5億元；年銷售額(約) NT$ 2億元 |
執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 丹尼數50-20d 抗撕裂強度500g 耐磨>10000rubs之針梭織物 | 潛力預估: 可發展運動休閒市場成衣用料 |
執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 硬體規格CPU:1GHZ Ram:520MB VGA:RAM64MB WINDOW系統2000以上 設計規格:dobby梭織織物 | 潛力預估: 降低設計及織造錯誤 |
執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 組織防水成衣 | 潛力預估: 開發符合都會休閒品牌需求之各類防雨淋成衣 |
執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 組織防水成衣 | 潛力預估: 開發符合野外活動品牌需求之各類防雨淋成衣 |
執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 超輕薄成衣 | 潛力預估: 開發符合戶外運動品牌需求之各類超輕薄成衣 |
執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 超輕薄成衣 | 潛力預估: 開發符合都會休閒品牌需求之各類超輕薄成衣 |
執行單位: 紡拓會 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 紡織品設計與數位應用計畫 | 領域: | 技術規格: 梭織及傢飾 | 潛力預估: 節省試樣時間及設計溝通成本。 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 奈米材料晶粒＜10nm，具結晶性；多孔性材料具高度規則性，比表面積可調整(300~1200m2/g)。 | 潛力預估: 可切入民生、戶外用品及汽車領域市場。 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 經110次標準水洗試驗，阻抗變化＜10%，系統準確度＞90％ | 潛力預估: 可以搶攻居家照護與保健以及遠端醫療市場 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: RF頻段UHF(902~928MHz)，全方向性訊號接收空間配置點4，準確度達99％。 | 潛力預估: 預估2006~2008年RFID的市場會倍增，市場潛力相大 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 本不織布之斷裂伸度可超過450%，斷裂強力超過3.5kg/10cm，且50%彈性回復率超過90%以上，另外具有透氣及透濕、良好撥水效果及低過敏性 | 潛力預估: 彈性人造皮革可以搶攻鞋材、皮件與汽車內裝市場；醫療彈性不織布可搶攻護具、口罩、手套、包紮材料、繃帶、敷材貼布等相當具有潛力 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 高科技紡織品研究與開發計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 拉伸強度>400kg/5cm，撕裂強度>70kgf，耐磨>700次(ASTM D3884 H18 1Kg)，耐候試驗(ASTM-G155-1)500小時，強度衰減率 | 潛力預估: 可部分取代現有的後加工用材料，極具市場性及潛力 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 改質共聚物占4~8mole%,RV>2.4,Tm>180℃ | 潛力預估: 國內耐隆年產能70萬噸,預估取代1%產能,產值約10億元 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 膠原蛋白複合纖維強度> 3g/d， 膠原蛋白複合敷材無細胞毒性，且較市售之氧化纖維素止血時間縮短30％以上 | 潛力預估: 國內市場年產值(約)NT$ 2億元；年銷售額(約) NT$ 1億元 |
執行單位: 紡織所 | 產出年度: 94 | 產出單位: 紡織所 | 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: 1.傷口治癒時程較市售敷料(BGC matrix)短；2.凝膠樣品沾水前保持力大於78.4N/m2/day。沾水後保持力小於1N/m2/day | 潛力預估: 國內市場年產值(約)NT$ 1.5億元；年銷售額(約) NT$ 2億元 |
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