長行程微結構三維形貌光學檢測技術
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技術名稱-中文長行程微結構三維形貌光學檢測技術的執行單位是金屬中心, 產出年度是96, 計畫名稱是平面顯示器設備技術開發三年計畫, 技術規格是量測視野範圍:0.1x0.1 ~ 1.5x1.5mm2_x000D_量測縱向範圍:10μm/sec, 潛力預估是以全域式高速量測得到微結構形貌,加速製程檢測效率,可應用至FPD產業、精微加工產業等品管。.

序號2299
產出年度96
技術名稱-中文長行程微結構三維形貌光學檢測技術
執行單位金屬中心
產出單位(空)
計畫名稱平面顯示器設備技術開發三年計畫
領域(空)
已申請專利之國家(空)
已獲得專利之國家(空)
技術現況敘述-中文工研院量測中心所開發之光學式非接觸形貌檢測儀,利用白光低同調特性,突破傳統相移干涉儀在階高量測上的限制,並合併相位計算的方法,同時達到速度與解析度的提升,具有非接觸/非破壞、區域取像/高速、奈米級解析度等多項的優點,對物體的表面形貌、粗度等重要參數提供最佳的量測工具,以滿足業界微/奈米結構量測的需求。
技術現況敘述-英文(空)
技術規格量測視野範圍:0.1x0.1 ~ 1.5x1.5mm2_x000D_量測縱向範圍:10μm/sec
技術成熟度雛型
可應用範圍微機電元件、FPD面板微結構尺寸量測_x000D_表面粗糙度和平面度量測_x000D_雷射標記/探針腳印形貌量測_x000D_超精微細加工機械元件形貌量測
潛力預估以全域式高速量測得到微結構形貌,加速製程檢測效率,可應用至FPD產業、精微加工產業等品管。
聯絡人員陳金亮
電話03-5743879
傳真03-5722383
電子信箱JinLiangChen@itri.org.tw
參考網址(空)
所須軟硬體設備顯微鏡、照明光源、影像擷取設備、干涉物鏡、微致動器、C++
需具備之專業人才光學、軟體
同步更新日期2019-07-24

序號

2299

產出年度

96

技術名稱-中文

長行程微結構三維形貌光學檢測技術

執行單位

金屬中心

產出單位

(空)

計畫名稱

平面顯示器設備技術開發三年計畫

領域

(空)

已申請專利之國家

(空)

已獲得專利之國家

(空)

技術現況敘述-中文

工研院量測中心所開發之光學式非接觸形貌檢測儀,利用白光低同調特性,突破傳統相移干涉儀在階高量測上的限制,並合併相位計算的方法,同時達到速度與解析度的提升,具有非接觸/非破壞、區域取像/高速、奈米級解析度等多項的優點,對物體的表面形貌、粗度等重要參數提供最佳的量測工具,以滿足業界微/奈米結構量測的需求。

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

量測視野範圍:0.1x0.1 ~ 1.5x1.5mm2_x000D_量測縱向範圍:10μm/sec

技術成熟度

雛型

可應用範圍

微機電元件、FPD面板微結構尺寸量測_x000D_表面粗糙度和平面度量測_x000D_雷射標記/探針腳印形貌量測_x000D_超精微細加工機械元件形貌量測

潛力預估

以全域式高速量測得到微結構形貌,加速製程檢測效率,可應用至FPD產業、精微加工產業等品管。

聯絡人員

陳金亮

電話

03-5743879

傳真

03-5722383

電子信箱

JinLiangChen@itri.org.tw

參考網址

(空)

所須軟硬體設備

顯微鏡、照明光源、影像擷取設備、干涉物鏡、微致動器、C++

需具備之專業人才

光學、軟體

同步更新日期

2019-07-24

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表徵顯微及動態特性量測技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 平面顯示器設備技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測視野範圍:0.1x0.1 ~ 1.5x1.5mm2_x000D_量測縱向範圍:< 400μm (可選購 < 5mm)_x000D_量測空間解析度:0.6 ~ 1.1μm_x000D_動態量測頻寬:... | 潛力預估: 自動化掃頻與全域式振動模態掃描功能,可提供微機電產業、微致動器產業等製程品管。

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白光干涉表徵顯微技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 平面顯示器設備技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 干涉物鏡倍率:10X, 20X, 50X; 量測視野範圍:0.1x0.1 ~ 1.5x1.5mm2; 量測縱向範圍:100μm (optional: ~400μm, 5mm); 量測縱向解析度:0.... | 潛力預估: 可應用至微加工、微型化與微機電市場,提供未來產業高規格之量測工具

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表徵顯微及動態特性量測技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 平面顯示器設備技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 量測視野範圍:0.1x0.1 ~ 1.5x1.5mm2_x000D_量測縱向範圍:< 400μm (可選購 < 5mm)_x000D_量測空間解析度:0.6 ~ 1.1μm_x000D_動態量測頻寬:... | 潛力預估: 自動化掃頻與全域式振動模態掃描功能,可提供微機電產業、微致動器產業等製程品管。

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白光干涉表徵顯微技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 平面顯示器設備技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 干涉物鏡倍率:10X, 20X, 50X; 量測視野範圍:0.1x0.1 ~ 1.5x1.5mm2; 量測縱向範圍:100μm (optional: ~400μm, 5mm); 量測縱向解析度:0.... | 潛力預估: 可應用至微加工、微型化與微機電市場,提供未來產業高規格之量測工具

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一種使用雷射植入奈米碳管場發射子之製程方法

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 奈米碳管直徑:10μm | 潛力預估: 可搶攻FPD市場,極具市場淺力

光開關對光平台技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 解析度:XYZ≦10nm、qx、qy、qz≦0.001度, 對位精度:0.1μm | 潛力預估: 提高生產效益, 良率與品質, 降低人力成本

精密雷射加工控制技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 視窗環境人機介面顯示 /檔案管理 /加工路徑顯示 /翻、排版指令 /中斷點重新啟動功能 | 潛力預估: 具備畫面瀏覽器功能,可由機器製造商自由編輯設定顯示畫面以增加系統專有特色功能,提高市場競爭力。

馬達直驅式旋轉主軸頭

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 | 領域: | 技術規格: C/A旋轉速度:60rpm_x000D_;C/A軸定位精度:10秒_x000D_;主軸轉速:15000rpm | 潛力預估: 目前國內並無相關專業製造廠

精密微量射出成型和自動化技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 | 領域: | 技術規格: 鎖模力:3~6噸;射出速度≧ 800 mm/sec;模板平行度≦20μm_x000D_;成品重量誤差≦0.1%;脫模與取出模組;堆疊模組 ;粉末微射出成型模組 | 潛力預估: 本技術所指之微量射出成型技術,係指製作幾何外形以及重量皆屬微小級之產品,一般以小於10噸之射出成型機來成型。

半導體隔離應用技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 | 領域: | 技術規格: 符合SEMI標準;潔淨等級Class 1或更佳;表面阻抗≦10^5 Ohms/sq;MCBF>25,000次。 | 潛力預估: 提供晶圓廠中光罩儲存傳送及載入機台更物美價廉的解決方案

2.0L/1.8L/1.6L汽車模組化引擎技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 型式:DOHC 直列4缸,引擎長度:536 mm,排氣量:1998c.c.,缸徑:86 mm,行程:86 mm,汽門數:每缸4閥,壓縮比:10.0,燃油:95 RON,冷卻方式:水冷,最大馬力:108... | 潛力預估: 乾式汽缸套全鋁合金汽缸體設計發展技術、VVT系統整合應用技術、EGR系統整合應用技術、NLEV引擎設計及EMS整合應用技術

四行程125 C.C.水冷式機車引擎雛型機

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 排氣量:125 C.C. 點火方式:CDI_x000D_,供油方式:化油器 冷卻方式:水冷式_x000D_,傳動方式:CVT 汽門數:2閥_x000D_,馬力7.0 kw/7500 rpm ,扭力10... | 潛力預估: 建立四行程水冷式速克達機車引擎,含CVT匹配設計發展技術

1.2L四行程汽車引擎與後輪傳動五速手排變速箱雛型機

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 引擎:1200 c.c. 8汽門、水冷、直列四缸、微電腦控制多點式噴油。馬力50.6 kW/6000 rpm、扭力102 Nm/4500 rpm。變速箱:後輪傳動、五速手排單桿式換擋機構,具備擴充四... | 潛力預估: 曲軸系及閥門系工程輔助分析、零組件專業工程資訊同步整合及配合發展,建立四行程水冷式速克達機車引擎,含CVT匹配設計發展技術,引擎管理系統調教及發展

大排氣量250C.C.機車雛型引擎開發

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 排氣量:250 CC 型式:V型汽缸_x000D_,閥門系統:4閥雙凸輪軸/缸, 燃油系統:雙化油器_x000D_,冷卻系統:水冷式 變速箱:國際檔六檔_x000D_,最大馬力﹕20.0kW@10... | 潛力預估: 國內首具多缸V型結構之機車引擎,最大馬力轉速超過10000轉,單位輸出馬力達80kW/l、最高轉速13000rpm

四行程泛用小引擎雛型機

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 排氣量:26 CC _x000D_,點火方式:TCI _x000D_,供油方式:膜片式化油器 _x000D_,冷卻系統:氣冷式_x000D_,閥系統:2閥OHV設計 _x000D_,馬力0.53kW/... | 潛力預估: 小型、輕量化與高轉速運轉之OHV閥系統設計,濕式機油潤滑系統,設計簡單,信賴度高,並可多角度翻轉使用

小引擎微電腦引擎管理系統

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 小引擎微電腦管理系統,涵蓋引擎控制策略、流程與程式軟體、引擎控制器硬體_x000D_。八位元微電腦控制器,具備下列功能:1.燃油控制:啟動控制、正常控制、加速控制、減速控制、切油控制、補償控制_x00... | 潛力預估: 開迴路燃油控制或閉迴路燃油控制及機車引擎點火控制

微脈動噴油技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 陣列微泵浦:熱泡式無閥構造,晶片尺寸5.5x7.8mm,設80個微泵浦,噴孔徑80μm,可使用無鉛汽油。陣列微孔噴射泵浦:壓電板式無閥結構,噴孔板14x17mm,噴孔徑50μm,可噴射汽油_x000D... | 潛力預估: 已可採用壓電板式微泵浦的架構,預期系統的穩定度、成本和效能將比熱泡式者為優應用噴嘴與擴散孔的流阻差異之特性,配合環繞式微流道設計與流體最佳參數調校,大幅提昇陣列微泵浦單位面積最大噴射量。利用迴流式負壓...

自行車傳/制動系統技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 27速Index System, 內變速器, Roller Brake;HCF動態疲勞測試;整車煞車系統測試(DIN-79100) | 潛力預估: 運用系統化的創新專利設計流程,有效建立產品之專利技術。建立傳/制動系統功能驗證技術,作為發展系統設計之基礎

自行車電動助力模組

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 無刷馬達:350W_x000D_,輔助方式:比例式、純電動模式 | 潛力預估: 多重行車輔助模式,建立整車煞車系統功能驗證技術,作為發展系統設計之基礎

一種使用雷射植入奈米碳管場發射子之製程方法

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 奈米碳管直徑:10μm | 潛力預估: 可搶攻FPD市場,極具市場淺力

光開關對光平台技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 解析度:XYZ≦10nm、qx、qy、qz≦0.001度, 對位精度:0.1μm | 潛力預估: 提高生產效益, 良率與品質, 降低人力成本

精密雷射加工控制技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 視窗環境人機介面顯示 /檔案管理 /加工路徑顯示 /翻、排版指令 /中斷點重新啟動功能 | 潛力預估: 具備畫面瀏覽器功能,可由機器製造商自由編輯設定顯示畫面以增加系統專有特色功能,提高市場競爭力。

馬達直驅式旋轉主軸頭

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 | 領域: | 技術規格: C/A旋轉速度:60rpm_x000D_;C/A軸定位精度:10秒_x000D_;主軸轉速:15000rpm | 潛力預估: 目前國內並無相關專業製造廠

精密微量射出成型和自動化技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 | 領域: | 技術規格: 鎖模力:3~6噸;射出速度≧ 800 mm/sec;模板平行度≦20μm_x000D_;成品重量誤差≦0.1%;脫模與取出模組;堆疊模組 ;粉末微射出成型模組 | 潛力預估: 本技術所指之微量射出成型技術,係指製作幾何外形以及重量皆屬微小級之產品,一般以小於10噸之射出成型機來成型。

半導體隔離應用技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 | 領域: | 技術規格: 符合SEMI標準;潔淨等級Class 1或更佳;表面阻抗≦10^5 Ohms/sq;MCBF>25,000次。 | 潛力預估: 提供晶圓廠中光罩儲存傳送及載入機台更物美價廉的解決方案

2.0L/1.8L/1.6L汽車模組化引擎技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 型式:DOHC 直列4缸,引擎長度:536 mm,排氣量:1998c.c.,缸徑:86 mm,行程:86 mm,汽門數:每缸4閥,壓縮比:10.0,燃油:95 RON,冷卻方式:水冷,最大馬力:108... | 潛力預估: 乾式汽缸套全鋁合金汽缸體設計發展技術、VVT系統整合應用技術、EGR系統整合應用技術、NLEV引擎設計及EMS整合應用技術

四行程125 C.C.水冷式機車引擎雛型機

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 排氣量:125 C.C. 點火方式:CDI_x000D_,供油方式:化油器 冷卻方式:水冷式_x000D_,傳動方式:CVT 汽門數:2閥_x000D_,馬力7.0 kw/7500 rpm ,扭力10... | 潛力預估: 建立四行程水冷式速克達機車引擎,含CVT匹配設計發展技術

1.2L四行程汽車引擎與後輪傳動五速手排變速箱雛型機

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 引擎:1200 c.c. 8汽門、水冷、直列四缸、微電腦控制多點式噴油。馬力50.6 kW/6000 rpm、扭力102 Nm/4500 rpm。變速箱:後輪傳動、五速手排單桿式換擋機構,具備擴充四... | 潛力預估: 曲軸系及閥門系工程輔助分析、零組件專業工程資訊同步整合及配合發展,建立四行程水冷式速克達機車引擎,含CVT匹配設計發展技術,引擎管理系統調教及發展

大排氣量250C.C.機車雛型引擎開發

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 排氣量:250 CC 型式:V型汽缸_x000D_,閥門系統:4閥雙凸輪軸/缸, 燃油系統:雙化油器_x000D_,冷卻系統:水冷式 變速箱:國際檔六檔_x000D_,最大馬力﹕20.0kW@10... | 潛力預估: 國內首具多缸V型結構之機車引擎,最大馬力轉速超過10000轉,單位輸出馬力達80kW/l、最高轉速13000rpm

四行程泛用小引擎雛型機

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 排氣量:26 CC _x000D_,點火方式:TCI _x000D_,供油方式:膜片式化油器 _x000D_,冷卻系統:氣冷式_x000D_,閥系統:2閥OHV設計 _x000D_,馬力0.53kW/... | 潛力預估: 小型、輕量化與高轉速運轉之OHV閥系統設計,濕式機油潤滑系統,設計簡單,信賴度高,並可多角度翻轉使用

小引擎微電腦引擎管理系統

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 小引擎微電腦管理系統,涵蓋引擎控制策略、流程與程式軟體、引擎控制器硬體_x000D_。八位元微電腦控制器,具備下列功能:1.燃油控制:啟動控制、正常控制、加速控制、減速控制、切油控制、補償控制_x00... | 潛力預估: 開迴路燃油控制或閉迴路燃油控制及機車引擎點火控制

微脈動噴油技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 陣列微泵浦:熱泡式無閥構造,晶片尺寸5.5x7.8mm,設80個微泵浦,噴孔徑80μm,可使用無鉛汽油。陣列微孔噴射泵浦:壓電板式無閥結構,噴孔板14x17mm,噴孔徑50μm,可噴射汽油_x000D... | 潛力預估: 已可採用壓電板式微泵浦的架構,預期系統的穩定度、成本和效能將比熱泡式者為優應用噴嘴與擴散孔的流阻差異之特性,配合環繞式微流道設計與流體最佳參數調校,大幅提昇陣列微泵浦單位面積最大噴射量。利用迴流式負壓...

自行車傳/制動系統技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 27速Index System, 內變速器, Roller Brake;HCF動態疲勞測試;整車煞車系統測試(DIN-79100) | 潛力預估: 運用系統化的創新專利設計流程,有效建立產品之專利技術。建立傳/制動系統功能驗證技術,作為發展系統設計之基礎

自行車電動助力模組

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 | 領域: | 技術規格: 無刷馬達:350W_x000D_,輔助方式:比例式、純電動模式 | 潛力預估: 多重行車輔助模式,建立整車煞車系統功能驗證技術,作為發展系統設計之基礎

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