真空腔體之加熱器均溫性檢測技術
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技術名稱-中文真空腔體之加熱器均溫性檢測技術的執行單位是中科院飛彈所, 產出年度是98, 計畫名稱是薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫, 技術規格是‧不銹鋼真空腔體：1900mm×1800mm×500mm，可視玻璃窗×2，腔體閘門×3 ‧壓力控制系統：變頻控制 ‧壓力範圍：從1大氣壓(760 Torr)至8×10-6 Torr ‧溫度感測元件：K-type熱電耦共81點偵測點與溫度記錄顯示，精度±1℃ ‧氣體流量系統：0~5000sccm ‧反..., 潛力預估是建立檢測平台，協助廠商切入相關產業並建立檢測技術技能，估計每年衍生效益達1000萬以上，創造產值可達0.5億/年.

序號	3026
產出年度	98
技術名稱-中文	真空腔體之加熱器均溫性檢測技術
執行單位	中科院飛彈所
產出單位	(空)
計畫名稱	薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫
領域	(空)
已申請專利之國家	(空)
已獲得專利之國家	(空)
技術現況敘述-中文	利用不銹鋼之真空腔體與前級乾式真空幫浦搭配中高真空度之渦輪分子幫浦，建立大面積腔體之真空技術，透過陣列式多點溫度感應裝置搭配特殊真空防洩接頭，可進行真空環境下之溫度同步紀錄，加熱器均溫性檢測平板尺寸最大可達1100mm×1400mm，溫度量測點可達81點，精度可達±1℃。
技術現況敘述-英文	(空)
技術規格	‧不銹鋼真空腔體：1900mm×1800mm×500mm，可視玻璃窗×2，腔體閘門×3 ‧壓力控制系統：變頻控制 ‧壓力範圍：從1大氣壓(760 Torr)至8×10-6 Torr ‧溫度感測元件：K-type熱電耦共81點偵測點與溫度記錄顯示，精度±1℃ ‧氣體流量系統：0~5000sccm ‧反應氣體：氬氣(Ar) ‧冷卻系統：>6000 kcal/H
技術成熟度	雛形
可應用範圍	真空環境之大面積加熱基板均溫性檢測、真空環境測試平台、真空幫浦(pump)性能測試等。
潛力預估	建立檢測平台，協助廠商切入相關產業並建立檢測技術技能，估計每年衍生效益達1000萬以上，創造產值可達0.5億/年
聯絡人員	秦懷山
電話	07-6955298轉256
傳真	07-6955247
電子信箱	am96@mail.mirdc.org.tw
參考網址	http://www.mirdc.org.tw
所須軟硬體設備	真空均溫量測設備(真空加熱腔體、溫度感測元件)
需具備之專業人才	機械設備、真空工學、熱流分析相關背景
同步更新日期	2019-07-24

序號

3026

產出年度

技術名稱-中文

真空腔體之加熱器均溫性檢測技術

執行單位

中科院飛彈所

產出單位

(空)

計畫名稱

薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫

領域

(空)

已申請專利之國家

(空)

已獲得專利之國家

(空)

技術現況敘述-中文

利用不銹鋼之真空腔體與前級乾式真空幫浦搭配中高真空度之渦輪分子幫浦，建立大面積腔體之真空技術，透過陣列式多點溫度感應裝置搭配特殊真空防洩接頭，可進行真空環境下之溫度同步紀錄，加熱器均溫性檢測平板尺寸最大可達1100mm×1400mm，溫度量測點可達81點，精度可達±1℃。

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

‧不銹鋼真空腔體：1900mm×1800mm×500mm，可視玻璃窗×2，腔體閘門×3 ‧壓力控制系統：變頻控制 ‧壓力範圍：從1大氣壓(760 Torr)至8×10-6 Torr ‧溫度感測元件：K-type熱電耦共81點偵測點與溫度記錄顯示，精度±1℃ ‧氣體流量系統：0~5000sccm ‧反應氣體：氬氣(Ar) ‧冷卻系統：>6000 kcal/H

技術成熟度

雛形

可應用範圍

真空環境之大面積加熱基板均溫性檢測、真空環境測試平台、真空幫浦(pump)性能測試等。

潛力預估

建立檢測平台，協助廠商切入相關產業並建立檢測技術技能，估計每年衍生效益達1000萬以上，創造產值可達0.5億/年

聯絡人員

秦懷山

電話

07-6955298轉256

傳真

07-6955247

電子信箱

am96@mail.mirdc.org.tw

參考網址

http://www.mirdc.org.tw

所須軟硬體設備

真空均溫量測設備(真空加熱腔體、溫度感測元件)

需具備之專業人才

機械設備、真空工學、熱流分析相關背景

同步更新日期

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無線生理訊號感測模組設計技術	執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 \| 領域: \| 技術規格: (1) 無線訊號傳輸平台：Antenna Factor: 10dB、Reader: USB/RS-232/LCD Interface、RFID Frequency: 433 MHz / 915MHz、... \| 潛力預估: 據經濟部工業局研究報告指出，估計1992到2002年全球醫療器材複合年成長率為14.83%，台灣醫療保健產業產值成長率更達18.5%，若我們依美國市場推估，則台灣地區居"家"照護市場規模每年約20~3...