旋轉蝕刻機用之化學液回收再生裝置
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專利名稱-中文旋轉蝕刻機用之化學液回收再生裝置的核准國家是美國, 證書號碼是6712926, 專利性質是發明, 執行單位是工研院機械所, 產出年度是93, 計畫名稱是工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫, 專利發明人是江源遠, 董福慶, 王家康, P. Mahneke.

序號	941
產出年度	93
領域別	(空)
專利名稱-中文	旋轉蝕刻機用之化學液回收再生裝置
執行單位	工研院機械所
產出單位	(空)
計畫名稱	工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫
專利發明人	江源遠 \| 董福慶 \| 王家康 \| P. Mahneke
核准國家	美國
獲證日期	(空)
證書號碼	6712926
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種旋轉蝕刻製程中化學藥液回收與再生的裝置，無需改變原有旋轉蝕刻機之製程反應室的外觀尺寸下，即可進行化學藥液的回收。主要是利用旋轉所產生的離心力，將化學藥液甩出晶圓夾盤，而以化學藥液回收環區分不同的化學藥液以進行回收。本發明可以使用於多種旋轉蝕刻化學藥液的回收，依需求分類並流入指定的管路中，進行後續的再生或排放。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	董月嬌
電話	03-5915914
傳真	03-5826534
電子信箱	joycedong@itri.org.tw
參考網址	http://www.itri.org.tw
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

941

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

旋轉蝕刻機用之化學液回收再生裝置

執行單位

工研院機械所

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫

專利發明人

江源遠 | 董福慶 | 王家康 | P. Mahneke

核准國家

美國

獲證日期

(空)

證書號碼

6712926

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種旋轉蝕刻製程中化學藥液回收與再生的裝置，無需改變原有旋轉蝕刻機之製程反應室的外觀尺寸下，即可進行化學藥液的回收。主要是利用旋轉所產生的離心力，將化學藥液甩出晶圓夾盤，而以化學藥液回收環區分不同的化學藥液以進行回收。本發明可以使用於多種旋轉蝕刻化學藥液的回收，依需求分類並流入指定的管路中，進行後續的再生或排放。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

董月嬌

電話

03-5915914

傳真

03-5826534

電子信箱

joycedong@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

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刀具狀態檢測裝置及方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200610169985.6 \| 專利期間起: 100/12/14 \| 專利期間訖: 115/12/25 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 101 \| 計畫名稱: 工研院中分院區域研發計畫-新世代智能工廠控制系統發展計畫 \| 專利發明人: 張漢傑 @ 技術司專利資料集
半固態金屬射出成形之方法與裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 189315 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 彭暄 \| 蔡浪富 \| 梁沐旺 \| 徐文敏 \| 賴根賢 \| 胡立德 @ 技術司專利資料集
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雙螺旋轉子總成	核准國家: 英國 \| 證書號碼: GB2352777 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 方宏聲 \| 馮展華 \| 王漢聰 \| 蔡政展 \| 陳俊宏 \| 陳明豐 @ 技術司專利資料集
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無電鍍形成雙層以上金屬凸塊之製程	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6653235 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 梁沐旺 \| 曾乙修 \| 蔣邦民 @ 技術司專利資料集
微工件之選料裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6817465 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 潘正堂 \| 吳東權 @ 技術司專利資料集
潔淨容器之氣孔裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6732877 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 吳宗明 \| 蔡昇富 \| 蘇戊成 @ 技術司專利資料集

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多維度多演算法之文件分類方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 184311 \| 專利期間起: 37823 \| 專利期間訖: 44536 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李漢超 \| 陳文鋕 \| 施信德
電子文件轉換裝置及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 191467 \| 專利期間起: 37936 \| 專利期間訖: 44548 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 楊志偉 \| 蔡篤賢
個人資料保密技術	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I222304 \| 專利期間起: 38271 \| 專利期間訖: 44501 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李漢超 \| 施信德
多維度多演算法之文件分類方法及系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: US6,792,415B2 \| 專利期間起: 38244 \| 專利期間訖: 45060 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李漢超 \| 陳文鋕 \| 施信德
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調整網頁外觀資訊的可延伸性標記語言文件內容連結之方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 197827 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 杜宗瑋 \| 黃文石 \| 余淳鈞
網頁資料文件轉換為網路服務介面之方法以及儲存執行此方法之電腦程式的儲存媒體	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200852 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 杜宗瑋 \| 王派斌
關聯式資料庫與可延伸性標示語言文件之資料轉換方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 197828 \| 專利期間起: 38038 \| 專利期間訖: 44891 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 譚國俊 \| 張鈞皓
利用框架架構整合應用程式之方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 197830 \| 專利期間起: 38038 \| 專利期間訖: 44918 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 秦其巍 \| 林于絹
結合文件轉換器與相似度節點篩選的多重條件檢索之裝置方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200485 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 蔡篤賢 \| 黃千泰
本體自動建構系統與方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 205837 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 廖嘉新 \| 李健興 \| 郭耀煌 \| 蒙以亨 \| 龔俊杰
整合應用程式之處理方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 205852 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 秦其巍 \| 林于絹
交錯式磁碟排程方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第184611號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 \| 專利發明人: 丁建文 \| 黃悅民 \| 黃建文
SYSTEM AND METHOD FOR ON-DEMAND ACCESS CONCENTRATOR FOR VIRTUAL PRIVATE NETWORKS	核准國家: 美國 \| 證書號碼: US6,694,437B1 \| 專利期間起: 38034 \| 專利期間訖: 43638 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 \| 專利發明人: 鮑立國 \| 杜唯源 \| 李逸元
網路封包快速分類器及分類方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第192884號 \| 專利期間起: 37926 \| 專利期間訖: 44011 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 \| 專利發明人: 楊儒林 \| 廖基宏

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專利名稱-中文

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