懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法
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專利名稱-中文懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法的核准國家是中華民國, 證書號碼是I279536, 專利性質是發明, 執行單位是工研院南分院, 產出年度是96, 計畫名稱是南部產業關鍵技術計畫, 專利發明人是陳榮泰李佳言邱以泰朱俊勳.

序號	3187
產出年度	96
領域別	(空)
專利名稱-中文	懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法
執行單位	工研院南分院
產出單位	(空)
計畫名稱	南部產業關鍵技術計畫
專利發明人	陳榮泰李佳言邱以泰朱俊勳
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I279536
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法，係包括:提供一具有第一及第二表面之基板﹔該基板之第一表面及第二表面經氧化製程以形成一第一及第二氧化層﹔於該基板之第一氧化層依序形成一電阻感應層及濕度感應層﹔以及於該基板形成一貫穿第一及第二氧化層之開口，並於該開口中保留形成一懸臂，使該基板之懸臂上具有濕度感應層及電阻感應層，俾藉由該濕度感應層隨濕度變化而改變體積使電阻感應層產生變形，以用於感測環境的濕氣值。_x000D_
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

3187

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法

執行單位

工研院南分院

產出單位

(空)

計畫名稱

南部產業關鍵技術計畫

專利發明人

陳榮泰李佳言邱以泰朱俊勳

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I279536

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法，係包括:提供一具有第一及第二表面之基板﹔該基板之第一表面及第二表面經氧化製程以形成一第一及第二氧化層﹔於該基板之第一氧化層依序形成一電阻感應層及濕度感應層﹔以及於該基板形成一貫穿第一及第二氧化層之開口，並於該開口中保留形成一懸臂，使該基板之懸臂上具有濕度感應層及電阻感應層，俾藉由該濕度感應層隨濕度變化而改變體積使電阻感應層產生變形，以用於感測環境的濕氣值。_x000D_

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

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懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,523,643 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 98 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7523643 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 98 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
懸臂式電阻濕度感測結構及其制法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200610058514.8 \| 專利期間起: 1999/10/6 \| 專利期間訖: 115/03/09 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集

懸臂式電阻之濕度感測結構及其製法

電阻式微橋濕度感測結構及其制造方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200610145706.2 \| 專利期間起: 1999/8/25 \| 專利期間訖: 115/11/13 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
電阻式微橋濕度感測結構及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I319479 \| 專利期間起: 1999/1/11 \| 專利期間訖: 115/10/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
電阻式微橋濕度感測結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,770,449 \| 專利期間起: 99/08/10 \| 專利期間訖: 117/04/11 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集
電阻式微橋濕度感測結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7770449 \| 專利期間起: 1999/8/10 \| 專利期間訖: 117/04/11 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 陳榮泰 \| 李佳言 \| 邱以泰 \| 朱俊勳 @ 技術司專利資料集

一種高速假撚方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207547 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院化工所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 高科技纖維與產品技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳哲陽 \| 簡淑華 \| 黃麗娟 \| 黃泳彬 @ 技術司專利資料集
增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇 \| 李榮賢 \| 陳棓煌 @ 技術司專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 226177 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生 \| 楊書榮 @ 技術司專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6496481 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲 \| 馬金溝 @ 技術司專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6665253 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松 \| 張啟伸 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥 \| 余基祥 \| 林妍君 \| 薛勝文 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥 \| 余基祥 \| 林妍君 \| 薛勝文 @ 技術司專利資料集
萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 157850 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 抗病毒及抗發炎中草藥研發及現代化技術平台之建立四年計畫 \| 專利發明人: 潘一紅 \| 李連滋 \| 邱惜禾 \| 劉惠儒 \| 姚心然 @ 技術司專利資料集

複合透鏡的制作方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL99118515.3 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 郭孟鑫 \| 韓偉國
通用型數字影音錄放裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL00118357.5 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 吳國瑞 \| 桂清平 \| 黃得瑞 \| 喬作文 \| 陳傳章
具有多層記錄層的光碟片的製作方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL99111450.7 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 黃得瑞 \| 蔣東堯 \| 鄭尊仁 \| 應台發 \| 林耕華
可擦拭之光學記錄材料	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 189318 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 吳至原 \| 莊永欽 \| 蔣東堯 \| 鄭尊仁 \| 姚永德 \| 黃得瑞 \| 陳雲嬌 \| 顏文信
以旋鍍模壓方式製作多層光學記錄媒體的方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL00109085.2 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 黃得瑞
多層光信息記錄載體的製造方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL00130277.9 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 廖文毅 \| 黃得瑞 \| 鄭尊仁 \| 黃建喨 \| 楊惠雯 \| 顏伯甫
多層光資訊記錄載體的製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 192474 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 廖文毅 \| 黃得瑞 \| 鄭尊仁 \| 黃建喨 \| 楊惠雯 \| 顏伯甫
資料儲存媒體用之花青TCNQ錯化合物色素	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 190485 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 廖文毅 \| 黃建喨 \| 顏春福 \| 楊惠雯 \| 鄭尊仁 \| 黃得瑞 \| 胡德 \| 李明家 \| 李重君
喜好色調之色彩轉換方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 190237 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳君彥
適用於校正雷射三次元量測器之方法及裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 191497 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 羅文秀 \| 林明慧
以特徵線分割重建規則化三維模型的方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194398 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳加珍 \| 羅文秀
液晶顯示器的彩色濾光片	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 196458 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 呂春福 \| 謝玉凌 \| 陳錦泰
液晶顯示器的彩色濾光片	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,703,173 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 呂春福 \| 謝玉凌 \| 陳錦泰
多波長光源之光學掃描裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 206645 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 劉貞豪
光傳送模組之封裝	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 192247 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 蕭正達 \| 高旻聖 \| 王炯宏

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