電熱氧化裝置
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文電熱氧化裝置的核准國家是中國大陸, 執行單位是工研院綠能所, 產出年度是101, 專利性質是發明, 計畫名稱是健康生活產業環安技術開發計畫, 專利發明人是游生任,李壽南,施惠雅,顏紹儀,呂建豪,許榮男, 證書號碼是ZL200810100491.1.

序號	9246
產出年度	101
領域別	材料化工
專利名稱-中文	電熱氧化裝置
執行單位	工研院綠能所
產出單位	工研院綠能所
計畫名稱	健康生活產業環安技術開發計畫
專利發明人	游生任,李壽南,施惠雅,顏紹儀,呂建豪,許榮男
核准國家	中國大陸
獲證日期	101/02/24
證書號碼	ZL200810100491.1
專利期間起	101/02/01
專利期間訖	117/06/22
專利性質	發明
技術摘要-中文	電熱氧化裝置
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	游生任
電話	03-5914928
傳真	03-5915033
電子信箱	YSJ@itri.org.tw
參考網址	(空)
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

9246

產出年度

101

領域別

材料化工

專利名稱-中文

電熱氧化裝置

執行單位

工研院綠能所

產出單位

工研院綠能所

計畫名稱

健康生活產業環安技術開發計畫

專利發明人

游生任,李壽南,施惠雅,顏紹儀,呂建豪,許榮男

核准國家

中國大陸

獲證日期

101/02/24

證書號碼

ZL200810100491.1

專利期間起

101/02/01

專利期間訖

117/06/22

專利性質

發明

技術摘要-中文

電熱氧化裝置

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

游生任

電話

03-5914928

傳真

03-5915033

電子信箱

YSJ@itri.org.tw

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用以轉化SiH4的電熱氧化裝置	執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 97 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 產業永續發展環安技術研發四年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 處理或加熱風量範圍30-300lpm，處理SiH4濃度可達1.4%。 \| 潛力預估: 中 @ 經濟部產業技術司可移轉技術資料集
電熱氧化裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院綠能所 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 健康生活產業環安技術開發計畫 \| 專利發明人: 游生任,李壽南,施惠雅,顏紹儀,呂建豪,許榮男 \| 證書號碼: I359687 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

用以轉化SiH4的電熱氧化裝置

@ 經濟部產業技術司可移轉技術資料集

電熱氧化裝置

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含微粒處理單元的全氟化物的觸化劑式媒處理方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院綠能所 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 健康生活產業環安技術開發計畫 \| 專利發明人: 游生任,李壽南,顏紹儀,陳姿名 \| 證書號碼: ZL200710193364.6 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
含微粒處理單元之全氟化物觸媒處理方法	執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 96 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 產業永續發展環安技術研發四年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 系統操作溫度：450℃~800℃，微粒處理粒徑範圍：0.01μm~10μm，處理廢氣風量範圍:30~250 lpm。 \| 潛力預估: 在未來節能及基板擴大的趨勢下，此技術潛力大，預估至少NT$1,500,000。 @ 經濟部產業技術司可移轉技術資料集
製程尾氣資料庫建置與分類技術	執行單位: 工研院綠能所 \| 產出年度: 100 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 \| 領域: \| 技術規格: 半導體、光電廠尾氣資料分類邏輯一套，包含統計上之分析技術，分類演繹之母群體需涵蓋指標性製程，每種製程分類資訊需包含：原物料及產物種類、每物種隨時間之濃度趨勢(含平均濃度、最大濃度、最小濃度等資訊)一組... \| 潛力預估: 可發展為一整套監控系統，建構在高科技廠內作預防性控制。 @ 經濟部產業技術司可移轉技術資料集
含微粒處理單元之全氟化物觸媒處理方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院綠能所 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 健康生活產業環安技術開發計畫 \| 專利發明人: 游生任,李壽南,顏紹儀,陳姿名 \| 證書號碼: I355964 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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分離脆性材料的旋轉對位機構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳貴榮, 江錦忠 \| 證書號碼: 209926
改善非晶矽薄膜基板之製程方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 林宏彝, 吳東權, 李三保 \| 證書號碼: 194454
晶圓電鍍裝置與方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 杜陳忠, 蔣邦民, 王致誠, 黃振榮 \| 證書號碼: 195797
晶片取放翻轉機構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 劉俊賢, 黃國興, 林宏毅, 曾柏蒼 \| 證書號碼: 215880
分離脆性材料的切割刀頭機構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳貴榮, 陳孟群, 賴志一 \| 證書號碼: 210192
分離脆性材料的切割刀頭機構	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳貴榮, 陳孟群, 賴志一 \| 證書號碼: 6782883
臥式線型馬達工具機封閉型框架結構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 張恩生, 林清源, 許晉謀, 龔宣任 \| 證書號碼: 209952
光準直器中透鏡之夾持機構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 邱顯森, 黃相宇, 劉松河 \| 證書號碼: 214550
光準直器自動組裝系統改良結構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 黃相宇, 劉松河, 邱顯森 \| 證書號碼: 210229
光纖準直器自動化組裝系統改良結構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 劉松河, 黃相宇, 邱顯森 \| 證書號碼: 219577
用于納米轉印的平行度調整裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳明祈, 馮文宏, 陳釧鋒, 許嘉峻, 林家弘, 鍾永鎮 \| 證書號碼: ZL03257537.8
用於奈米轉印之平行度調整裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳明祈, 馮文宏, 陳釧鋒, 許嘉峻, 林家弘, 鍾永鎮 \| 證書號碼: 217025
用于納米轉印的均勻施壓裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 鍾永鎮, 林家弘, 許嘉峻, 陳釧鋒, 馮文宏, 陳明祈 \| 證書號碼: ZL03257536.X
用於奈米轉印之均勻施壓裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 鍾永鎮, 林家弘, 許嘉峻, 陳釧鋒, 馮文宏, 陳明祈 \| 證書號碼: 217875
均光模組	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 林坤龍, 周敏傑 \| 證書號碼: M243671

電熱氧化裝置 - 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

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