電容式超音波換能裝置及其製作方法
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文電容式超音波換能裝置及其製作方法的核准國家是中國大陸, 執行單位是工研院服科中心, 產出年度是102, 專利性質是發明, 計畫名稱是智慧生活科技運用計畫, 專利發明人是張明暐 ,郭忠柱 ,鄧澤民 ,鍾禎元, 證書號碼是ZL201110099228.7.

序號	11151
產出年度	102
領域別	研發服務
專利名稱-中文	電容式超音波換能裝置及其製作方法
執行單位	工研院服科中心
產出單位	工研院服科中心
計畫名稱	智慧生活科技運用計畫
專利發明人	張明暐 ,郭忠柱 ,鄧澤民 ,鍾禎元
核准國家	中國大陸
獲證日期	102/10/11
證書號碼	ZL201110099228.7
專利期間起	102/09/18
專利期間訖	115/11/21
專利性質	發明
技術摘要-中文	本發明係提供一種電容式超音波換能裝置及其製作方法。該超音波換能裝置係利用多層金屬堆疊與研磨技術製作而成之結構。該超音波換能裝置之製作方法主要利用金屬材料作為犧牲層以及主體結構之材料，經過多次堆疊與研磨後再配合微影以及犧牲層蝕刻之技術以製作出振動所需之腔室以及結構。此外，本發明更在該超音波換能裝置之上以金屬材料沉積製作出保護凸塊以保護該超音波換能裝置之主體結構。本發明具有別於傳統超音波換能裝置之結構外，在製作方法上更省去電極之製作、高溫製成以及退火之步驟，使得本發明之超音波換能裝置具有製程容易、降低製造成本之優點。此外本發明之超音波換能裝置更可整合電子電路裝置，以廣泛的應用於消費性電子產品、生物醫學以及工程之領域。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	Tsung-Ju Gwo
電話	(03)5914894
傳真	(03)5716231
電子信箱	jamesgwo@itri.org.tw
參考網址	(空)
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

11151

產出年度

102

領域別

研發服務

專利名稱-中文

電容式超音波換能裝置及其製作方法

執行單位

工研院服科中心

產出單位

工研院服科中心

計畫名稱

智慧生活科技運用計畫

專利發明人

張明暐 ,郭忠柱 ,鄧澤民 ,鍾禎元

核准國家

中國大陸

獲證日期

102/10/11

證書號碼

ZL201110099228.7

專利期間起

102/09/18

專利期間訖

115/11/21

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明係提供一種電容式超音波換能裝置及其製作方法。該超音波換能裝置係利用多層金屬堆疊與研磨技術製作而成之結構。該超音波換能裝置之製作方法主要利用金屬材料作為犧牲層以及主體結構之材料，經過多次堆疊與研磨後再配合微影以及犧牲層蝕刻之技術以製作出振動所需之腔室以及結構。此外，本發明更在該超音波換能裝置之上以金屬材料沉積製作出保護凸塊以保護該超音波換能裝置之主體結構。本發明具有別於傳統超音波換能裝置之結構外，在製作方法上更省去電極之製作、高溫製成以及退火之步驟，使得本發明之超音波換能裝置具有製程容易、降低製造成本之優點。此外本發明之超音波換能裝置更可整合電子電路裝置，以廣泛的應用於消費性電子產品、生物醫學以及工程之領域。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

Tsung-Ju Gwo

電話

(03)5914894

傳真

(03)5716231

電子信箱

jamesgwo@itri.org.tw

參考網址

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特殊情形

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2019-07-24

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電容式超音波換能裝置及其製作方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 張明暐郭忠柱鄧澤民鍾禎元 \| 證書號碼: I268183 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電容式超音波換能裝置及其製作方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 張明暐郭忠柱鄧澤民鍾禎元 \| 證書號碼: I289199 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
Capacitive ultrasonic transducer and method of fabricating the same(電容式超音波換能裝置及其製作方法)	核准國家: 韓國 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 97 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線射頻辨識系統關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 張明暐郭忠柱鄧澤民鍾禎元 \| 證書號碼: 10-0791821 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電容式超音波換能裝置及其製作方法	核准國家: 日本 \| 執行單位: 工研院辨識中心 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 多重感測智慧型辨識與安全技術發展計畫 \| 專利發明人: 張明暐 ,郭忠柱 ,鄧澤民 ,鍾禎元 , \| 證書號碼: 4425245 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電容式超音波換能裝置及其制作方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院服科中心 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 多重感測智慧型辨識與安全技術發展計畫 \| 專利發明人: 張明暐,郭忠柱,鄧澤民,鍾禎元 \| 證書號碼: ZL200610145639.4 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電容式超音波換能器及其製作方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院服科中心 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 多重感測智慧型辨識與安全技術發展計畫 \| 專利發明人: 張明暐,郭忠柱,鄧澤民,鍾禎元 \| 證書號碼: 7626891 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電容式超音波換能器及其製作方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院服科中心 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧生活科技運用計畫 \| 專利發明人: 張明暐,郭忠柱,鄧澤民,鍾禎元, \| 證書號碼: 7,937,834 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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組合式流體動壓軸承及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 施文章, 黃晉興, 張裕修, 徐弘光 \| 證書號碼: 6,769,808
蝶型光訊號收發模組	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 光通訊與光電元組件關鍵性技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 朱慕道, 吳文進, 張淵仁, 陳穎志, 李俊興, 陳智禮 \| 證書號碼: 215129
光訊號交錯分波器	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 光通訊與光電元組件關鍵性技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 黃承彬, 胡杰, 許立根 \| 證書號碼: 186383
光訊號交錯分波器	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 光通訊與光電元組件關鍵性技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 黃承彬, 胡杰, 許立根 \| 證書號碼: 6,643,064
與極化無關的可調式聲光濾波器及其方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 光通訊與光電元組件關鍵性技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林耕華, 黃承彬, 周維仁, 楊淑媚, 胡杰 \| 證書號碼: ZL01100585.8
虛擬空間劃分區域的方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 數位學習技術研發五年計畫 \| 專利發明人: 張傑智, 林明芬, 連健淋 \| 證書號碼: 6,693,632
運用模糊推論的電腦繪圖模型簡化方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 數位學習技術研發五年計畫 \| 專利發明人: 張勤振, 楊舒凱, 段鼎洲, 林明芬 \| 證書號碼: 6,751,599
檢測信號抖動的系統及其校正方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 王金印, 王吉祥, 黃兆銘, 盧樹台 \| 證書號碼: 190527
多波長之光學讀寫頭	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 施錫富, 盧威志 \| 證書號碼: 191310
多層薄盤壓電致動式超音波馬達	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 藍永松, 黃晉興, 張吉龍, 歐陽敏盛, 黃友謙, 游祥杰, 黃振源, 鄭尊仁, 朱朝居 \| 證書號碼: 204230
多層薄盤壓電致動式超音波馬達	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 藍永松, 黃晉興, 張吉龍, 歐陽敏盛, 黃友謙, 游祥杰, 黃振源, 鄭尊仁, 朱朝居 \| 證書號碼: 6,717,331
近場光學頭物鏡	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 李源欽, 朱朝居, 鄭尊仁, 廖文毅, 張吉龍, 朱志雄, 邱國基, 吳至原 \| 證書號碼: 202513
多層膜碟片膜層分離裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張朝信, 郭利德, 馬榮昌, 張裕修 \| 證書號碼: 187272
多層膜碟片膜層分離裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張朝信, 郭利德, 馬榮昌, 張裕修 \| 證書號碼: 6,668,894
多層膜資訊儲存媒體之製作方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 楊惠雯, 廖文毅, 鄭尊仁, 黃建喨, 黃得瑞, 鄭懷瑜 \| 證書號碼: 190370

電容式超音波換能裝置及其製作方法 - 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

序號

產出年度

領域別

專利名稱-中文

執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

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專利期間起

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