氧化物薄膜的圖案化製程
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專利名稱-中文氧化物薄膜的圖案化製程的核准國家是中華民國, 證書號碼是I523073, 專利期間起是105/02/21, 專利期間訖是121/07/30, 專利性質是發明, 執行單位是工研院材化所, 產出年度是105, 計畫名稱是ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫, 專利發明人是林晉慶 ,陳俞君 ,王恩光 ,江美靜 ,陳怡真.

序號17333
產出年度105
領域別綠能科技
專利名稱-中文氧化物薄膜的圖案化製程
執行單位工研院材化所
產出單位工研院材化所
計畫名稱ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫
專利發明人林晉慶 | 陳俞君 | 王恩光 | 江美靜 | 陳怡真
核准國家中華民國
獲證日期105/02/25
證書號碼I523073
專利期間起105/02/21
專利期間訖121/07/30
專利性質發明
技術摘要-中文本發明提供一種氧化物薄膜的圖案化製程,包括:將一阻擋層組合物覆蓋在一基材上以形成一圖案化的阻擋層,其中阻擋層組合物包含一無機成分以及一有機黏著劑;無機成分與該有機黏著劑的重量比為50-98:2-50;將一氧化物薄膜形成於圖案化的阻擋層及基材上,其中阻擋層的厚度(D1)與氧化物薄膜的厚度(D2)比(D1/D2)範圍介於5~2000;以及,剝除(lifting-off)阻擋層及阻擋層上的氧化物薄膜,留下基材上的氧化物薄膜。
技術摘要-英文(空)
聯絡人員李露蘋
電話03-5917812
傳真03-5917431
電子信箱noralp@itri.org.tw
參考網址(空)
備註(空)
特殊情形(空)

序號

17333

產出年度

105

領域別

綠能科技

專利名稱-中文

氧化物薄膜的圖案化製程

執行單位

工研院材化所

產出單位

工研院材化所

計畫名稱

ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫

專利發明人

林晉慶 | 陳俞君 | 王恩光 | 江美靜 | 陳怡真

核准國家

中華民國

獲證日期

105/02/25

證書號碼

I523073

專利期間起

105/02/21

專利期間訖

121/07/30

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明提供一種氧化物薄膜的圖案化製程,包括:將一阻擋層組合物覆蓋在一基材上以形成一圖案化的阻擋層,其中阻擋層組合物包含一無機成分以及一有機黏著劑;無機成分與該有機黏著劑的重量比為50-98:2-50;將一氧化物薄膜形成於圖案化的阻擋層及基材上,其中阻擋層的厚度(D1)與氧化物薄膜的厚度(D2)比(D1/D2)範圍介於5~2000;以及,剝除(lifting-off)阻擋層及阻擋層上的氧化物薄膜,留下基材上的氧化物薄膜。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

noralp@itri.org.tw

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氧化物薄膜的圖案化製程

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,906,247 | 專利期間起: 103/12/09 | 專利期間訖: 122/07/14 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院材化所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫 | 專利發明人: 林晉慶 ,陳俞君 ,王恩光 ,江美靜 ,陳怡真

@ 技術司專利資料集

氧化物薄膜的圖案化製程

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8906247 | 專利期間起: 103/12/09 | 專利期間訖: 122/07/14 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院材化所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫 | 專利發明人: 林晉慶 ,陳俞君 ,王恩光 ,江美靜 ,陳怡真

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氧化物薄膜的圖案化制程

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL201210413839.9 | 專利期間起: 105/03/23 | 專利期間訖: 121/10/24 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院材化所 | 產出年度: 105 | 計畫名稱: ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫 | 專利發明人: 林晉慶 ,陳俞君 ,王恩光 ,江美靜 ,陳怡真

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氧化物薄膜的圖案化製程

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,906,247 | 專利期間起: 103/12/09 | 專利期間訖: 122/07/14 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院材化所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫 | 專利發明人: 林晉慶 ,陳俞君 ,王恩光 ,江美靜 ,陳怡真

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氧化物薄膜的圖案化製程

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8906247 | 專利期間起: 103/12/09 | 專利期間訖: 122/07/14 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院材化所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫 | 專利發明人: 林晉慶 ,陳俞君 ,王恩光 ,江美靜 ,陳怡真

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氧化物薄膜的圖案化制程

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL201210413839.9 | 專利期間起: 105/03/23 | 專利期間訖: 121/10/24 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院材化所 | 產出年度: 105 | 計畫名稱: ICT應用關鍵材料及元件技術開發計畫 | 專利發明人: 林晉慶 ,陳俞君 ,王恩光 ,江美靜 ,陳怡真

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揚聲器單體結構

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200810211084.8 | 專利期間起: 102/01/23 | 專利期間訖: 117/08/19 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 陳明道 ,劉昌和 ,

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晶圓級模封接合結構及其製造方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,384,215 | 專利期間起: 102/02/26 | 專利期間訖: 120/06/30 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 陸蘇財 ,莊敬業 ,林育民

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感測裝置及其掃描驅動方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,416,213 | 專利期間起: 102/04/09 | 專利期間訖: 120/03/17 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 沈煜棠 ,葉紹興

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揚聲器單體結構

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200710184913.3 | 專利期間起: 102/03/20 | 專利期間訖: 116/10/28 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道

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平面揚聲器單體與揚聲器裝置

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200910202828.4 | 專利期間起: 102/04/03 | 專利期間訖: 118/05/25 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道

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平面揚聲器單體與揚聲器裝置

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,391,520 | 專利期間起: 102/03/05 | 專利期間訖: 120/12/15 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道

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照明裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I402456 | 專利期間起: 102/07/21 | 專利期間訖: 119/03/16 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 黃承揚 ,許詔開

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Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,940,333 | 專利期間起: 104/01/27 | 專利期間訖: 116/05/11 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院生醫所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 | 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐

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揚聲器單體結構

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200810211084.8 | 專利期間起: 102/01/23 | 專利期間訖: 117/08/19 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 陳明道 ,劉昌和 ,

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晶圓級模封接合結構及其製造方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,384,215 | 專利期間起: 102/02/26 | 專利期間訖: 120/06/30 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 陸蘇財 ,莊敬業 ,林育民

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感測裝置及其掃描驅動方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,416,213 | 專利期間起: 102/04/09 | 專利期間訖: 120/03/17 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 沈煜棠 ,葉紹興

@ 技術司專利資料集

揚聲器單體結構

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200710184913.3 | 專利期間起: 102/03/20 | 專利期間訖: 116/10/28 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道

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平面揚聲器單體與揚聲器裝置

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200910202828.4 | 專利期間起: 102/04/03 | 專利期間訖: 118/05/25 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道

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平面揚聲器單體與揚聲器裝置

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,391,520 | 專利期間起: 102/03/05 | 專利期間訖: 120/12/15 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道

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照明裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I402456 | 專利期間起: 102/07/21 | 專利期間訖: 119/03/16 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電光所 | 產出年度: 102 | 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 | 專利發明人: 黃承揚 ,許詔開

@ 技術司專利資料集

Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same

核准國家: 美國 | 證書號碼: 8,940,333 | 專利期間起: 104/01/27 | 專利期間訖: 116/05/11 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院生醫所 | 產出年度: 104 | 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 | 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐

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與氧化物薄膜的圖案化製程同分類的技術司專利資料集

定位連結裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: M246496 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 | 專利發明人: 薛劍青, 許立傑

飛機客艙娛樂系統之紅外線無線控制裝置

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL01100369.3 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 岑裕洲, 吳正南

通用型有限場乘法器裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 202615 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 徐裕峰, 陳自強

免用電池之無線麥克風裝置與傳輸方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205117 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 童建凡

一種無線通訊之報警系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205965 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 張民依

可調式漩渦粒子收集裝置

核准國家: 德國 | 證書號碼: 20315341.3 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 系統工程整合應用技術發展三年計畫 | 專利發明人: 張凱程, 梁佩芳, 張嘉原, 許品超

可調式漩渦粒子收集裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I220654 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 系統工程整合應用技術發展三年計畫 | 專利發明人: 張凱程, 梁佩芳, 張嘉原, 許品超

應用於分散式網際網路的爪哇腳本語言程式錯誤處理方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 202852 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 系統工程整合應用技術發展三年計畫 | 專利發明人: 陳人豪, 盧東宏, 林慶典, 吳銓友

葉片包覆軸流式散熱風扇

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200320102743.7 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 郭啟榮, 張嘉揚, 魏增武

葉片包覆軸流式散熱風扇

核准國家: 德國 | 證書號碼: 20319562.0 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 郭啟榮, 張嘉揚, 魏增武

自動化載送不同尺寸LCD面板的載具機構

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL03266694.2 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 電腦整合自動化系統技術研究發展四年計畫 | 專利發明人: 范振智

自動化載送不同尺寸LCD面板之載具機構

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 224407 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 電腦整合自動化系統技術研究發展四年計畫 | 專利發明人: 范振智

分散式現場設備資料存取方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205113 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 電腦整合自動化系統技術研究發展四年計畫 | 專利發明人: 林長民, 柯嘉城, 吳長協, 王哲龍

氣渦輪引擎

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,711,889 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭啟榮, 王大維, 吳嘉瑞, 石心怡, 熊道邦, 張嘉揚

磁流發電與冷卻之裝置及方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205889 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 許立傑

定位連結裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: M246496 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 | 專利發明人: 薛劍青, 許立傑

飛機客艙娛樂系統之紅外線無線控制裝置

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL01100369.3 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 岑裕洲, 吳正南

通用型有限場乘法器裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 202615 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 徐裕峰, 陳自強

免用電池之無線麥克風裝置與傳輸方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205117 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 童建凡

一種無線通訊之報警系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205965 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 航電系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 張民依

可調式漩渦粒子收集裝置

核准國家: 德國 | 證書號碼: 20315341.3 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 系統工程整合應用技術發展三年計畫 | 專利發明人: 張凱程, 梁佩芳, 張嘉原, 許品超

可調式漩渦粒子收集裝置

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I220654 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 系統工程整合應用技術發展三年計畫 | 專利發明人: 張凱程, 梁佩芳, 張嘉原, 許品超

應用於分散式網際網路的爪哇腳本語言程式錯誤處理方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 202852 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 系統工程整合應用技術發展三年計畫 | 專利發明人: 陳人豪, 盧東宏, 林慶典, 吳銓友

葉片包覆軸流式散熱風扇

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200320102743.7 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 郭啟榮, 張嘉揚, 魏增武

葉片包覆軸流式散熱風扇

核准國家: 德國 | 證書號碼: 20319562.0 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 郭啟榮, 張嘉揚, 魏增武

自動化載送不同尺寸LCD面板的載具機構

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL03266694.2 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 電腦整合自動化系統技術研究發展四年計畫 | 專利發明人: 范振智

自動化載送不同尺寸LCD面板之載具機構

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 224407 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 新型 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 電腦整合自動化系統技術研究發展四年計畫 | 專利發明人: 范振智

分散式現場設備資料存取方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205113 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 電腦整合自動化系統技術研究發展四年計畫 | 專利發明人: 林長民, 柯嘉城, 吳長協, 王哲龍

氣渦輪引擎

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,711,889 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭啟榮, 王大維, 吳嘉瑞, 石心怡, 熊道邦, 張嘉揚

磁流發電與冷卻之裝置及方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205889 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院系統中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 許立傑

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