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金屬薄膜量測方法 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 顧逸霞 ,張柏毅 ,陳義昌 ,龐秀蘭 | 證書號碼: I463110 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
金屬薄膜量測方法核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 顧逸霞 ,張柏毅 ,陳義昌 ,龐秀蘭 | 證書號碼: I463110 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |