I255851 @ 政府開放資料
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用於半導體銅金屬層之化學機械研磨漿 | 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 蔡明策、史宗淮、潘文玨、范陽鑑 | 證書號碼: I255851 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |
用於半導體銅金屬層之化學機械研磨漿核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院飛彈所 | 產出年度: 95 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫 | 專利發明人: 蔡明策、史宗淮、潘文玨、范陽鑑 | 證書號碼: I255851 @ 經濟部產業技術司–專利資料集 |