晶圓偏心矯正卡匣 ---嘉晶
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專利名稱-中文晶圓偏心矯正卡匣 ---嘉晶的核准國家是中華民國, 證書號碼是第I223372, 專利性質是發明, 執行單位是中科院飛彈所, 產出年度是93, 計畫名稱是新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫, 專利發明人是王偉正、黃耀明、洪建中、游欽宏、練福人、李玉麟.

序號	98
產出年度	93
領域別	(空)
專利名稱-中文	晶圓偏心矯正卡匣 ---嘉晶
執行單位	中科院飛彈所
產出單位	(空)
計畫名稱	新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫
專利發明人	王偉正 \| 黃耀明 \| 洪建中 \| 游欽宏 \| 練福人 \| 李玉麟
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	第I223372
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種晶圓偏心矯正卡匣，係用於晶圓輸送之設備中．以提供晶圓置放的中心位置偏移之矯正的功能，該晶圓偏心矯正卡匣，包括一蓋板，複數個第一晶圓矯正板、複數個第二晶圓矯正板、複數個間隔環。一底桿與一底板及第一卡匣底座與第二卡匣底座。該晶圓偏心矯正卡匣．係將頁空吸附裝置吸放晶圓過程中，所產生之晶圓置放的中心位置偏移予以矯正．一方面可提供機械手臂間轉接之功能，使真空吸附裝置與晶圓底部之接觸式之大氣機械手臂作雙向之傳輸，另一方面可使卡匣承載室( LoadLock chamber )具有儲放大量處理前及處理後之晶圓的功能，俾機械手臂於適當之時機再行存取晶圓。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	韓宏武
電話	03-4712201轉352013
傳真	03-4711605
電子信箱	(空)
參考網址	(空)
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

晶圓偏心矯正卡匣 ---嘉晶

執行單位

中科院飛彈所

產出單位

(空)

計畫名稱

新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫

專利發明人

王偉正 | 黃耀明 | 洪建中 | 游欽宏 | 練福人 | 李玉麟

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

第I223372

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種晶圓偏心矯正卡匣，係用於晶圓輸送之設備中．以提供晶圓置放的中心位置偏移之矯正的功能，該晶圓偏心矯正卡匣，包括一蓋板，複數個第一晶圓矯正板、複數個第二晶圓矯正板、複數個間隔環。一底桿與一底板及第一卡匣底座與第二卡匣底座。該晶圓偏心矯正卡匣．係將頁空吸附裝置吸放晶圓過程中，所產生之晶圓置放的中心位置偏移予以矯正．一方面可提供機械手臂間轉接之功能，使真空吸附裝置與晶圓底部之接觸式之大氣機械手臂作雙向之傳輸，另一方面可使卡匣承載室( LoadLock chamber )具有儲放大量處理前及處理後之晶圓的功能，俾機械手臂於適當之時機再行存取晶圓。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

韓宏武

電話

03-4712201轉352013

傳真

03-4711605

電子信箱

(空)

參考網址

(空)

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

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正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置

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正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置

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內外軸式高真空磁力聯軸器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第202594 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 \| 專利發明人: 黃勝銘 \| 游欽宏 \| 陳獻忠 \| 宋震國 @ 技術司專利資料集
快速立體影像擷取及重建方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第I221589 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 醫療系統技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 邱鸞嬌 \| 蔡凱棟 \| 高進登 @ 技術司專利資料集
三維影像快速擷取及重建裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第212313 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 醫療系統技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 邱鸞嬌 \| 賴均在 \| 蔡凱棟 \| 高進登 @ 技術司專利資料集
數位醫療影像通訊處理方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第I220637 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 醫療系統技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳世英 \| 趙哲誼 \| 馬譯政 \| 林裕涵 \| 高進登 @ 技術司專利資料集
具同動驅動泵之流體配供裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第203387 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 \| 專利發明人: 周鍾平 \| 丘尚文 \| 柯明闊 @ 技術司專利資料集
直流無刷線性馬達全數位化控制參數自動調整法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第206237 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展三年計畫 \| 專利發明人: 黃繼震 \| 唐佩忠 @ 技術司專利資料集
即時三維超音波影像系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第I85723 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 醫療系統技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 邱鸞嬌 \| 賴均在 \| 余思廉 \| 高進登 @ 技術司專利資料集
數位醫療影像伺服器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 第201638 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院飛彈所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 醫療系統技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳世英 \| 趙哲誼 \| 馬譯政 \| 林裕涵 \| 高進登 @ 技術司專利資料集

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陽光下可顯示的顯示器的畫素元件結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 184692 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王文俊 \| 莊立聖
陽光下可顯示的顯示器的畫素元件結構	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6714268 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王文俊 \| 莊立聖
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具有自我對準輕摻雜汲極結構之多晶矽薄膜電晶體	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6677189 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 戴遠東 \| 廖宗能 \| 陳志強
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一種GAMMA校正驅動系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 193940 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王博文 \| 陳明道 \| 陳尚立
三極結構電子發射源之製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6705910 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李正中 \| 何家充 \| 許志榮 \| 鄭華琦 \| 張悠揚
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控制液晶顯示器之電壓---穿透率特徵曲線的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6750834 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 沈毓仁
奈米碳管場發射顯示器之陰極板與製程	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6811457 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 鄭華琦 \| 李正中 \| 廖貞慧 \| 張悠揚 \| 許志榮 \| 何家充
具低切換雜訊之構裝結構	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6683781 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 何宗哲 \| 李明林 \| 張慧如 \| 賴信助
低串聯阻抗薄膜電晶體I之製作方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6670224 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李啟聖 \| 常鼎國 \| 陳丕夫 \| 康育銘 \| 戴遠東

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序號

產出年度

領域別

專利名稱-中文

執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

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證書號碼

專利期間起

專利期間訖

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