一種清洗晶背的方法
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文一種清洗晶背的方法的核准國家是奧地利, 證書號碼是412043, 專利性質是發明, 執行單位是工研院電子所, 產出年度是93, 計畫名稱是工研院通訊與光電領域環境建構計畫, 專利發明人是周維揚, 馬慶輝.

序號	752
產出年度	93
領域別	(空)
專利名稱-中文	一種清洗晶背的方法
執行單位	工研院電子所
產出單位	(空)
計畫名稱	工研院通訊與光電領域環境建構計畫
專利發明人	周維揚 \| 馬慶輝
核准國家	奧地利
獲證日期	(空)
證書號碼	412043
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	本發明係為一種清洗背面受汙染之基材的方法，該方法至少包含：供應酸劑至該基材的背面，該基材的背面朝上，數個夾具夾住該基材的一位置，且該基材的旋轉速度為175至300 rpm，同時以氣體流速75 至300 1/min 吹向該基材的正面；變換該夾具的位置，其係以該數個夾具夾住該基材的一位置轉移至第二位置完成；及供應去離子水至該基材的背面，該基材的轉速約為175至300 rpm 之間，利用該氣體以流速75 至300 1/min 吹向該基材的正面。本發明可解決殘酸的問題。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	謝旺廷
電話	03-5913551
傳真	(空)
電子信箱	wthsieh@itri.org.tw
參考網址	http://www.itri.org.tw
備註	原領域別為通訊光電，95年改為電資通光
特殊情形	(空)

序號

752

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

一種清洗晶背的方法

執行單位

工研院電子所

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院通訊與光電領域環境建構計畫

專利發明人

周維揚 | 馬慶輝

核准國家

奧地利

獲證日期

(空)

證書號碼

412043

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明係為一種清洗背面受汙染之基材的方法，該方法至少包含：供應酸劑至該基材的背面，該基材的背面朝上，數個夾具夾住該基材的一位置，且該基材的旋轉速度為175至300 rpm，同時以氣體流速75 至300 1/min 吹向該基材的正面；變換該夾具的位置，其係以該數個夾具夾住該基材的一位置轉移至第二位置完成；及供應去離子水至該基材的背面，該基材的轉速約為175至300 rpm 之間，利用該氣體以流速75 至300 1/min 吹向該基材的正面。本發明可解決殘酸的問題。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

謝旺廷

電話

03-5913551

傳真

(空)

電子信箱

wthsieh@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

備註

原領域別為通訊光電，95年改為電資通光

特殊情形

(空)

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網頁資料文件轉換為網路服務介面之方法以及儲存執行此方法之電腦程式的儲存媒體	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200852 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 杜宗瑋、王派斌
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本體自動建構系統與方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 205837 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 廖嘉新、李健興、郭耀煌、蒙以亨、龔俊杰
整合應用程式之處理方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 205852 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 秦其巍,林于絹
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