一種清洗晶背的方法
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專利名稱(中文)一種清洗晶背的方法的核准國家是奧地利, 執行單位是工研院電子所, 產出年度是93, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院通訊與光電領域環境建構計畫, 專利發明人是周維揚, 馬慶輝, 證書號碼是412043.

序號

752

產出年度

93

領域別

(空)

專利名稱(中文)

一種清洗晶背的方法

執行單位

工研院電子所

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院通訊與光電領域環境建構計畫

專利發明人

周維揚, 馬慶輝

核准國家

奧地利

獲證日期

(空)

證書號碼

412043

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要(中文)

本發明係為一種清洗背面受汙染之基材的方法,該方法至少包含:供應酸劑至該基材的背面,該基材的背面朝上,數個夾具夾住該基材的一位置,且該基材的旋轉速度為175至300 rpm,同時以氣體流速75 至300 1/min 吹向該基材的正面;變換該夾具的位置,其係以該數個夾具夾住該基材的一位置轉移至第二位置完成;及供應去離子水至該基材的背面,該基材的轉速約為175至300 rpm 之間,利用該氣體以流速75 至300 1/min 吹向該基材的正面。本發明可解決殘酸的問題。

技術摘要(英文)

(空)

聯絡人員

謝旺廷

電話

03-5913551

傳真

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電子信箱

wthsieh@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

備註

原領域別為通訊光電,95年改為電資通光

特殊情形

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與一種清洗晶背的方法同分類的經濟部技術處–專利資料集

  1. 含有遠志(polygala)萃取物的抗憂鬱醫藥組成物(Anti-depression pharmaceutical composition containing polygala extract)

    核准國家: 美國分割案一 | 執行單位: 藥技中心 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 提升傳統中草藥產業研發技術四年計畫 | 專利發明人: 柯逢年、韓玉鳳、劉正格、陳品方 | 證書號碼: US6911222B2

  2. 抗潰瘍醫藥組成物、其製法及用途(Anti-ulcer pharmaceutical composition and the preparation thereof)

    核准國家: 美國分割案 | 執行單位: 藥技中心 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 提升傳統中草藥產業研發技術四年計畫 | 專利發明人: 柯逢年、石謙仁、林哲毅、吳佩琪、鄭模池 | 證書號碼: US 6,800,304 B2

  3. 抗潰瘍醫藥組成物、其製法及用途(Anti-ulcer pharmaceutical composition and the preparation thereof)

    核准國家: 中華民國 | 執行單位: 藥技中心 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 提升傳統中草藥產業研發技術四年計畫 | 專利發明人: 柯逢年、石謙仁、林哲毅、吳佩琪、鄭模池 | 證書號碼: 發明第 I222357號

  4. 含羥基丙二酚芳磷酯製備法

    核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發與應用四年計畫 | 專利發明人: 蘇文炯,施明德 | 證書號碼: 196112

  5. 含磷環氧樹脂單體及其硬化劑與組成物

    核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發與應用四年計畫 | 專利發明人: 蘇文炯,林江珍,王俊仁,蕭世明,鄭如忠 | 證書號碼: 196119

  6. 環己酮二聚物之改良製造方法

    核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發與應用四年計畫 | 專利發明人: 王傳中,李靜淵,嚴定萍 | 證書號碼: 200476

  7. Method for the preparation of ferrocenyl-1,3-butadiene

    核准國家: 美國 | 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發與應用四年計畫 | 專利發明人: 鍾顯政 | 證書號碼: 6664409

  8. 含羥基氟化聚(矽氧烷醯胺)

    核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發與應用四年計畫 | 專利發明人: 楊正乾,陳鴻斌,張德全,王國平 | 證書號碼: 184459

  9. 以聚矽氧烷醯胺改質的酚醛樹脂、該聚矽氧烷醯胺及其等之製法

    核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發與應用四年計畫 | 專利發明人: 楊正乾,馬振基,陳鴻斌 | 證書號碼: 188617

  10. 難燃壓克力磷樹脂之製備方法

    核准國家: 中華民國 | 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 功能性化學品關鍵技術開發與應用四年計畫 | 專利發明人: 蘇文炯,施明德 | 證書號碼: 194234

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