正面吸附式晶圓擷取手臂
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專利名稱-中文正面吸附式晶圓擷取手臂的核准國家是中華民國, 證書號碼是I283036, 專利性質是發明, 執行單位是中科院飛彈所, 產出年度是96, 計畫名稱是光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫, 專利發明人是王偉正、游欽宏、陳献忠、洪建中、練福人、林榮延、李玉麟.

序號3822
產出年度96
領域別(空)
專利名稱-中文正面吸附式晶圓擷取手臂
執行單位中科院飛彈所
產出單位(空)
計畫名稱光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫
專利發明人王偉正 | 游欽宏 | 陳献忠 | 洪建中 | 練福人 | 林榮延 | 李玉麟
核准國家中華民國
獲證日期(空)
證書號碼I283036
專利期間起(空)
專利期間訖(空)
專利性質發明
技術摘要-中文本項專利為正面吸附式晶圓擷取手臂,可應用於半導體晶圓輸送上,本發明重點與特色如下:1.提供從晶圓上方擷取之功能,可達到快速輸送及高準確重覆度之功能。2.利用進氣口之方式,使晶圓吸附於擷取臂時,不至於變形而使晶圓表面之不可接觸範圍與擷取臂接觸,造成污染失去功能。3.利用圓錐形狀,使晶圓在容許之位置誤差範圍內,仍能予以吸附。
技術摘要-英文(空)
聯絡人員(空)
電話(空)
傳真(空)
電子信箱(空)
參考網址(空)
備註原領域別為機械運輸,95年改為機電運輸
特殊情形(空)

序號

3822

產出年度

96

領域別

(空)

專利名稱-中文

正面吸附式晶圓擷取手臂

執行單位

中科院飛彈所

產出單位

(空)

計畫名稱

光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫

專利發明人

王偉正 | 游欽宏 | 陳献忠 | 洪建中 | 練福人 | 林榮延 | 李玉麟

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I283036

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

本項專利為正面吸附式晶圓擷取手臂,可應用於半導體晶圓輸送上,本發明重點與特色如下:1.提供從晶圓上方擷取之功能,可達到快速輸送及高準確重覆度之功能。2.利用進氣口之方式,使晶圓吸附於擷取臂時,不至於變形而使晶圓表面之不可接觸範圍與擷取臂接觸,造成污染失去功能。3.利用圓錐形狀,使晶圓在容許之位置誤差範圍內,仍能予以吸附。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

(空)

電話

(空)

傳真

(空)

電子信箱

(空)

參考網址

(空)

備註

原領域別為機械運輸,95年改為機電運輸

特殊情形

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