正面吸附式晶圓擷取手臂
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專利名稱-中文正面吸附式晶圓擷取手臂的核准國家是中華民國, 證書號碼是I283036, 專利性質是發明, 執行單位是中科院飛彈所, 產出年度是96, 計畫名稱是光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫, 專利發明人是王偉正、游欽宏、陳献忠、洪建中、練福人、林榮延、李玉麟.

序號	3822
產出年度	96
領域別	(空)
專利名稱-中文	正面吸附式晶圓擷取手臂
執行單位	中科院飛彈所
產出單位	(空)
計畫名稱	光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫
專利發明人	王偉正 \| 游欽宏 \| 陳献忠 \| 洪建中 \| 練福人 \| 林榮延 \| 李玉麟
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I283036
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	本項專利為正面吸附式晶圓擷取手臂，可應用於半導體晶圓輸送上，本發明重點與特色如下：1.提供從晶圓上方擷取之功能，可達到快速輸送及高準確重覆度之功能。2.利用進氣口之方式，使晶圓吸附於擷取臂時，不至於變形而使晶圓表面之不可接觸範圍與擷取臂接觸，造成污染失去功能。3.利用圓錐形狀，使晶圓在容許之位置誤差範圍內，仍能予以吸附。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	(空)
電話	(空)
傳真	(空)
電子信箱	(空)
參考網址	(空)
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

3822

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

正面吸附式晶圓擷取手臂

執行單位

中科院飛彈所

產出單位

(空)

計畫名稱

光電與精密機電系統關鍵技術研究發展三年計畫

專利發明人

王偉正 | 游欽宏 | 陳献忠 | 洪建中 | 練福人 | 林榮延 | 李玉麟

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I283036

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

本項專利為正面吸附式晶圓擷取手臂，可應用於半導體晶圓輸送上，本發明重點與特色如下：1.提供從晶圓上方擷取之功能，可達到快速輸送及高準確重覆度之功能。2.利用進氣口之方式，使晶圓吸附於擷取臂時，不至於變形而使晶圓表面之不可接觸範圍與擷取臂接觸，造成污染失去功能。3.利用圓錐形狀，使晶圓在容許之位置誤差範圍內，仍能予以吸附。

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(空)

聯絡人員

(空)

電話

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傳真

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電子信箱

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備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

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正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置

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雙螺旋轉子總成	核准國家: 英國 \| 證書號碼: GB2352777 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 方宏聲 \| 馮展華 \| 王漢聰 \| 蔡政展 \| 陳俊宏 \| 陳明豐
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應用于工具機直結式主軸的松刀機構	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL03251417.4 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 胡志揚 \| 黃鴻傑 \| 張恩生 \| 蔡坤龍
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應用於工具機直結式主軸之鬆刀機構	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,675,683 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 胡志揚 \| 黃鴻傑 \| 張恩生 \| 蔡坤龍

正面吸附式晶圓擷取手臂 - 技術司專利資料集 @ 經濟部

序號

產出年度

領域別

專利名稱-中文

執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

核准國家

獲證日期

證書號碼

專利期間起

專利期間訖

專利性質

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