微機電結構及其製造方法
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文微機電結構及其製造方法的核准國家是中國大陸, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是101, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院環境建構總計畫, 專利發明人是陳振頤,王欽宏, 證書號碼是ZL200810174526.6.

序號	9853
產出年度	101
領域別	電資通光
專利名稱-中文	微機電結構及其製造方法
執行單位	工研院院本部
產出單位	工研院院本部
計畫名稱	工研院環境建構總計畫
專利發明人	陳振頤,王欽宏
核准國家	中國大陸
獲證日期	101/11/09
證書號碼	ZL200810174526.6
專利期間起	101/09/19
專利期間訖	117/11/09
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種微機電結構及其製造方法，其中的微機電結構包括一個基板以及位在基板上的至少一個懸空微結構。前述懸空微結構包括多層金屬層、至少一層介電層以及至少一邊緣金屬壁。其中，介電層被夾在金屬層之間，而邊緣金屬壁則平行於懸空微結構的厚度方向並圍繞介電層的邊緣。上述邊緣金屬壁可阻擋製程中的蝕刻液蝕刻介電層，而金屬層複合介電層之結構則可以增加懸空微結構在厚度方向上的結構強度。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-5917812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.itri.org.tw
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

9853

產出年度

101

領域別

電資通光

專利名稱-中文

微機電結構及其製造方法

執行單位

工研院院本部

產出單位

工研院院本部

計畫名稱

工研院環境建構總計畫

專利發明人

陳振頤,王欽宏

核准國家

中國大陸

獲證日期

101/11/09

證書號碼

ZL200810174526.6

專利期間起

101/09/19

專利期間訖

117/11/09

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種微機電結構及其製造方法，其中的微機電結構包括一個基板以及位在基板上的至少一個懸空微結構。前述懸空微結構包括多層金屬層、至少一層介電層以及至少一邊緣金屬壁。其中，介電層被夾在金屬層之間，而邊緣金屬壁則平行於懸空微結構的厚度方向並圍繞介電層的邊緣。上述邊緣金屬壁可阻擋製程中的蝕刻液蝕刻介電層，而金屬層複合介電層之結構則可以增加懸空微結構在厚度方向上的結構強度。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

備註

(空)

特殊情形

(空)

同步更新日期

2019-07-24

根據識別碼 ZL200810174526.6 找到的相關資料

無其他 ZL200810174526.6 資料。

[ 搜尋所有 ZL200810174526.6 ... ]

根據名稱微機電結構及其製造方法找到的相關資料

(以下顯示 2 筆) (或要:直接搜尋所有 微機電結構及其製造方法 ...)

微機電結構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院環境建構總計畫 \| 專利發明人: 陳振頤,王欽宏 \| 證書號碼: I353960 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
微機電結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 南部產業共同實驗室環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳振頤,王欽宏 \| 證書號碼: 7,960,805 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

微機電結構

@ 經濟部產業技術司–專利資料集

微機電結構及其製造方法

@ 經濟部產業技術司–專利資料集

[ 搜尋所有 微機電結構及其製造方法 ... ]

根據姓名陳振頤王欽宏找到的相關資料

靜電式驅動之微繼電器及其製造方法

@ 經濟部產業技術司–專利資料集

靜電式驅動之微繼電器及其製造方法

@ 經濟部產業技術司–專利資料集

[ 搜尋所有 陳振頤王欽宏 ... ]

根據電話 03-5917812 找到的相關資料

(以下顯示 8 筆) (或要:直接搜尋所有 03-5917812 ...)

揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陳明道 ,劉昌和 , \| 證書號碼: ZL200810211084.8 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶圓級模封接合結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陸蘇財 ,莊敬業 ,林育民 \| 證書號碼: 8,384,215 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
感測裝置及其掃描驅動方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 沈煜棠 ,葉紹興 \| 證書號碼: 8,416,213 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200710184913.3 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200910202828.4 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: 8,391,520 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
照明裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃承揚 ,許詔開 \| 證書號碼: I402456 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 104 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 \| 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐 \| 證書號碼: 8,940,333 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

[ 搜尋所有 03-5917812 ... ]

在『經濟部產業技術司–專利資料集』資料集內搜尋:

與微機電結構及其製造方法同分類的經濟部產業技術司–專利資料集

一種GAMMA校正驅動系統	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王博文, 陳明道, 陳尚立 \| 證書號碼: 193940
三極結構電子發射源之製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李正中, 何家充, 許志榮, 鄭華琦, 張悠揚 \| 證書號碼: 6705910
低溫多晶矽的製作方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林憲信, 李介文, 鄭紹良, 陳力俊, 彭遠清, 王文通 \| 證書號碼: 206403
控制液晶顯示器之電壓---穿透率特徵曲線的方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 沈毓仁 \| 證書號碼: 6750834
奈米碳管場發射顯示器之陰極板與製程	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 鄭華琦, 李正中, 廖貞慧, 張悠揚, 許志榮, 何家充 \| 證書號碼: 6811457
具低切換雜訊之構裝結構	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 何宗哲, 李明林, 張慧如, 賴信助 \| 證書號碼: 6683781
低串聯阻抗薄膜電晶體I之製作方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李啟聖, 常鼎國, 陳丕夫, 康育銘, 戴遠東 \| 證書號碼: 6670224
傾斜散射反射板的製造方法與結構	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 翁逸君, 魏明達, 張上文 \| 證書號碼: 6692902
低成本且可大面積化製作奈米碳管場發射顯示器之方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 張悠揚, 許志榮, 李鈞道, 李正中 \| 證書號碼: 6692791
無凸塊之內引腳與接合墊的接合方法及其結構	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 黃元璋 \| 證書號碼: 6656772
使用非導電性接著劑以接合IC晶片與基板之方法及其組裝結構	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代平面顯示關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 謝有德, 張世明, 林文迪 \| 證書號碼: 6605491
可調式電容及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 \| 專利發明人: 邱景宏, 顏凱翔, 林瑞進, 吳家宏, 周坤和 \| 證書號碼: 185849
具有偏射型對稱式加熱片之微型噴液產生器及其製造方法	核准國家: 日本 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 \| 專利發明人: 鍾震桂, 林俊仁, 陳仲竹 \| 證書號碼: 3533205
具有螺旋形導電層之漩渦狀微結構及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳維恕, 蘇慧琪, 陳宜孝, 梁兆鈞, 李政鴻, 莊政恩 \| 證書號碼: 223402
懸臂式測試卡及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 李政鴻, 李新立, 陳宜孝 \| 證書號碼: 184677

微機電結構及其製造方法 - 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

序號

產出年度

領域別

專利名稱-中文

執行單位

產出單位

計畫名稱

專利發明人

核准國家

獲證日期

證書號碼

專利期間起

專利期間訖

專利性質

技術摘要-中文

技術摘要-英文

聯絡人員

電話

傳真

電子信箱

參考網址

備註

特殊情形

同步更新日期

在『經濟部產業技術司–專利資料集』資料集內搜尋:

與微機電結構及其製造方法同分類的經濟部產業技術司–專利資料集

微機電結構及其製造方法
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部