大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術
- 技術司可移轉技術資料集 @ 經濟部

技術名稱-中文大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術的執行單位是工研院能資所, 產出年度是93, 計畫名稱是永續資源技術開發三年計畫, 技術規格是玻璃基板經 UV 光照射清洗後，基板上五點接觸角平均 < 10度, 潛力預估是應映2008年LCD設備國產化需達50％之目標，故國內廠商需積極佈局易跨入之前段製程設備，此製程技術與設備皆為前段清洗設備必須。.

序號	311
產出年度	93
技術名稱-中文	大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術
執行單位	工研院能資所
產出單位	(空)
計畫名稱	永續資源技術開發三年計畫
領域	(空)
已申請專利之國家	(空)
已獲得專利之國家	(空)
技術現況敘述-中文	台灣目前環境水資源嚴重短缺與代用水資源開發不足等現象，高科技產業用水勢必面臨相當嚴苛之挑戰，為抒解高科技產業用水壓力，發展乾式清洗製程為必然之趨勢，清洗製程佔整個製造流程的 30%，清洗效率佳可獲得良好之導電性與薄膜密著性，與產品良率密切相關；此技術發展朝向高潔淨度、省水、減廢、與回收再利用等目標，符合永續資源技術發展之精神。
技術現況敘述-英文	(空)
技術規格	玻璃基板經 UV 光照射清洗後，基板上五點接觸角平均 < 10度
技術成熟度	雛型
可應用範圍	TFT-LCD, OLED, OTFT 等顯示器面板業、生物晶片製造業、半導體製造業與高科技周邊設備製造業等。
潛力預估	應映2008年LCD設備國產化需達50％之目標，故國內廠商需積極佈局易跨入之前段製程設備，此製程技術與設備皆為前段清洗設備必須。
聯絡人員	鄭曉芬
電話	03-5913154
傳真	03-5835338
電子信箱	hfcheng.erl@itri.org.tw
參考網址	http://www.itri.org.tw/chi/services/transferable/trtfm.jsp
所須軟硬體設備	機台建構設備
需具備之專業人才	需瞭解 UV 燈管正常使用、維護等基本程序與機台操作流程

序號

311

產出年度

技術名稱-中文

大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術

執行單位

工研院能資所

產出單位

(空)

計畫名稱

永續資源技術開發三年計畫

領域

(空)

已申請專利之國家

(空)

已獲得專利之國家

(空)

技術現況敘述-中文

台灣目前環境水資源嚴重短缺與代用水資源開發不足等現象，高科技產業用水勢必面臨相當嚴苛之挑戰，為抒解高科技產業用水壓力，發展乾式清洗製程為必然之趨勢，清洗製程佔整個製造流程的 30%，清洗效率佳可獲得良好之導電性與薄膜密著性，與產品良率密切相關；此技術發展朝向高潔淨度、省水、減廢、與回收再利用等目標，符合永續資源技術發展之精神。

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

玻璃基板經 UV 光照射清洗後，基板上五點接觸角平均 < 10度

技術成熟度

雛型

可應用範圍

TFT-LCD, OLED, OTFT 等顯示器面板業、生物晶片製造業、半導體製造業與高科技周邊設備製造業等。

潛力預估

應映2008年LCD設備國產化需達50％之目標，故國內廠商需積極佈局易跨入之前段製程設備，此製程技術與設備皆為前段清洗設備必須。

聯絡人員

鄭曉芬

電話

03-5913154

傳真

03-5835338

電子信箱

hfcheng.erl@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw/chi/services/transferable/trtfm.jsp

所須軟硬體設備

機台建構設備

需具備之專業人才

需瞭解 UV 燈管正常使用、維護等基本程序與機台操作流程

根據名稱大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術找到的相關資料

無其他大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術資料。

[ 搜尋所有 大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術 ... ]

根據電話 03-5913154 找到的相關資料

(以下顯示 6 筆) (或要:直接搜尋所有 03-5913154 ...)

奈米用水系統微量有機物質氧化去除技術	執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 93 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 工研院永續發展領域環境建構計畫 \| 領域: \| 技術規格: 0.13 mm 製程水質規格：TOC ≦ 0.8 ppb、Bacteria < 1 cfu/ml、total SiO2 ≦ 1 ppb、ion < 20 ppt、Particle ≦ 2 count... \| 潛力預估: 應映奈米及高科技製程所需用水規格，科針對國內12吋晶圓及下世代大尺寸的用水系統進行設計。 @ 技術司可移轉技術資料集
奈米顆粒表面電位分析及控制技術	執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 高科技產業用水技術開發計畫 \| 領域: \| 技術規格: 藉由本技術能將顆粒表面電位控制在±1.8mV以內 \| 潛力預估: 可解決奈米級顆粒及溶解態Silica問題，並降低處理成本及縮短處理時間。 @ 技術司可移轉技術資料集
奈米級顆粒廢水中有機添加劑去除技術	執行單位: 工研院能資所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 高科技產業用水技術開發計畫 \| 領域: \| 技術規格: 藉由本技術能將CMP廢水中TOC = 20~70 mg/L降低至回用水標準 \| 潛力預估: 可解決奈米級顆粒廢水中TOC問題，並降低處理成本及縮短處理時間。 @ 技術司可移轉技術資料集
連續式高流量奈米溶膠過濾模組開發	執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 95 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 高科技產業用水技術開發三年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 本技術針對CMP廢水的處理流量可達6噸/天，且水質可達回收標準。 \| 潛力預估: 佳 @ 技術司可移轉技術資料集
奈米顆粒廢水回收系統設計開發	執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 95 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 高科技產業用水技術開發三年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 經本技術將CMP廢水中TDS \| 潛力預估: 佳 @ 技術司可移轉技術資料集
電混凝水處理反應器中犧牲電極間電場產生之改善方法	執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 95 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 高科技產業用水技術開發三年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 處理流量6噸/天時可連續處理至少6小時，且水質可達回收標準。 \| 潛力預估: 佳 @ 技術司可移轉技術資料集

[ 搜尋所有 03-5913154 ... ]

在『技術司可移轉技術資料集』資料集內搜尋:

與大面積TFT-LCD 光激化乾式清洗技術同分類的技術司可移轉技術資料集

光開關對光平台技術	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 \| 領域: \| 技術規格: 解析度：XYZ≦10nm、qx、qy、qz≦0.001度, 對位精度：0.1μm \| 潛力預估: 提高生產效益, 良率與品質, 降低人力成本
精密雷射加工控制技術	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 \| 領域: \| 技術規格: 視窗環境人機介面顯示 /檔案管理 /加工路徑顯示 /翻、排版指令 /中斷點重新啟動功能 \| 潛力預估: 具備畫面瀏覽器功能，可由機器製造商自由編輯設定顯示畫面以增加系統專有特色功能，提高市場競爭力。
馬達直驅式旋轉主軸頭	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 \| 領域: \| 技術規格: C/A旋轉速度:60rpm_x000D_；C/A軸定位精度:10秒_x000D_；主軸轉速:15000rpm \| 潛力預估: 目前國內並無相關專業製造廠
精密微量射出成型和自動化技術	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 鎖模力:3～6噸；射出速度≧ 800 mm/sec；模板平行度≦20μm_x000D_；成品重量誤差≦0.1%；脫模與取出模組；堆疊模組；粉末微射出成型模組 \| 潛力預估: 本技術所指之微量射出成型技術，係指製作幾何外形以及重量皆屬微小級之產品，一般以小於10噸之射出成型機來成型。
半導體隔離應用技術	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 \| 領域: \| 技術規格: 符合SEMI標準；潔淨等級Class 1或更佳；表面阻抗≦10^5 Ohms/sq；MCBF＞25,000次。 \| 潛力預估: 提供晶圓廠中光罩儲存傳送及載入機台更物美價廉的解決方案
2.0L/1.8L/1.6L汽車模組化引擎技術	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 型式：DOHC 直列4缸，引擎長度：536 mm，排氣量：1998c.c.，缸徑：86 mm，行程：86 mm，汽門數：每缸4閥，壓縮比：10.0，燃油：95 RON，冷卻方式：水冷，最大馬力：108... \| 潛力預估: 乾式汽缸套全鋁合金汽缸體設計發展技術、VVT系統整合應用技術、EGR系統整合應用技術、NLEV引擎設計及EMS整合應用技術
四行程125 C.C.水冷式機車引擎雛型機	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 排氣量：125 C.C. \| 潛力預估: 汽門數：2閥_x000D_，馬力7.0 kw/7500 rpm
1.2L四行程汽車引擎與後輪傳動五速手排變速箱雛型機	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 引擎：1200 c.c. 8汽門、水冷、直列四缸、微電腦控制多點式噴油。馬力50.6 kW/6000 rpm、扭力102 Nm/4500 rpm。變速箱：後輪傳動、五速手排單桿式換擋機構，具備擴充四... \| 潛力預估: 曲軸系及閥門系工程輔助分析、零組件專業工程資訊同步整合及配合發展,建立四行程水冷式速克達機車引擎，含CVT匹配設計發展技術,引擎管理系統調教及發展
大排氣量250C.C.機車雛型引擎開發	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 排氣量：250 CC \| 潛力預估: 變速箱：國際檔六檔_x000D_，最大馬力﹕20.0kW@10000rpm
四行程泛用小引擎雛型機	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 排氣量：26 CC \| 潛力預估: _x000D_，馬力0.53kW/7000rpm_x000D_，扭力0.86 N-m/3500rpm
小引擎微電腦引擎管理系統	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 小引擎微電腦管理系統，涵蓋引擎控制策略、流程與程式軟體、引擎控制器硬體_x000D_。八位元微電腦控制器，具備下列功能:1.燃油控制：啟動控制、正常控制、加速控制、減速控制、切油控制、補償控制_x00... \| 潛力預估: 開迴路燃油控制或閉迴路燃油控制及機車引擎點火控制
微脈動噴油技術	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 陣列微泵浦：熱泡式無閥構造，晶片尺寸5.5x7.8mm，設80個微泵浦，噴孔徑80μm，可使用無鉛汽油。陣列微孔噴射泵浦：壓電板式無閥結構，噴孔板14x17mm，噴孔徑50μm，可噴射汽油_x000D... \| 潛力預估: 已可採用壓電板式微泵浦的架構，預期系統的穩定度、成本和效能將比熱泡式者為優應用噴嘴與擴散孔的流阻差異之特性,配合環繞式微流道設計與流體最佳參數調校,大幅提昇陣列微泵浦單位面積最大噴射量。利用迴流式負壓...
自行車傳/制動系統技術	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 27速Index System, 內變速器, Roller Brake；HCF動態疲勞測試；整車煞車系統測試(DIN-79100) \| 潛力預估: 運用系統化的創新專利設計流程，有效建立產品之專利技術。建立傳/制動系統功能驗證技術，作為發展系統設計之基礎
自行車電動助力模組	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 無刷馬達：350W_x000D_，輔助方式：比例式、純電動模式 \| 潛力預估: 多重行車輔助模式，建立整車煞車系統功能驗證技術，作為發展系統設計之基礎
375c.c.四行程稀薄燃燒引擎	執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 94 \| 產出單位: \| 計畫名稱: 先進車輛系統關鍵技術發展計畫 \| 領域: \| 技術規格: 排氣量:373c.c(Bore 60mm* Stroke 66mm)，引擎型式:四行程，汽缸數:雙缸，閥門數:4閥/缸，排列方式:V型-90，冷卻方式:水冷，燃油系統:氣道噴射，點火系統:電晶體微電腦... \| 潛力預估: 小型低速雙缸四行程噴射引擎系統設計、稀油燃燒進氣氣道設計、EMS開迴路控制、循序燃油控制與循序引擎點火控制