等離子體產生裝置
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文等離子體產生裝置的核准國家是中國大陸, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是102, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院環境建構總計畫, 專利發明人是張家豪 ,張志振, 證書號碼是ZL200910250438.4.

序號	11845
產出年度	102
領域別	電資通光
專利名稱-中文	等離子體產生裝置
執行單位	工研院院本部
產出單位	工研院院本部
計畫名稱	工研院環境建構總計畫
專利發明人	張家豪 ,張志振
核准國家	中國大陸
獲證日期	102/03/04
證書號碼	ZL200910250438.4
專利期間起	102/01/23
專利期間訖	118/12/08
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種電漿產生裝置。電漿產生裝置包括一電漿處理腔體、一上電極板、一下電極板及至少兩個阻抗調變器。上電極板用以連接一射頻電源。此些阻抗調變器兩兩成對。各個阻抗調變器具有一阻抗調變值曲線。此些阻抗調變器係並聯於上電極板之對稱處。其中，各個阻抗調變值曲線隨時間變化，且此些阻抗調變值曲線之一並聯等效阻抗值曲線隨時間固定。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-5917812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.itri.org.tw
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

11845

產出年度

102

領域別

電資通光

專利名稱-中文

等離子體產生裝置

執行單位

工研院院本部

產出單位

工研院院本部

計畫名稱

工研院環境建構總計畫

專利發明人

張家豪 ,張志振

核准國家

中國大陸

獲證日期

102/03/04

證書號碼

ZL200910250438.4

專利期間起

102/01/23

專利期間訖

118/12/08

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種電漿產生裝置。電漿產生裝置包括一電漿處理腔體、一上電極板、一下電極板及至少兩個阻抗調變器。上電極板用以連接一射頻電源。此些阻抗調變器兩兩成對。各個阻抗調變器具有一阻抗調變值曲線。此些阻抗調變器係並聯於上電極板之對稱處。其中，各個阻抗調變值曲線隨時間變化，且此些阻抗調變值曲線之一並聯等效阻抗值曲線隨時間固定。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

備註

(空)

特殊情形

(空)

同步更新日期

2019-07-24

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處理系統及其等離子體產生裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 劉志宏,謝文宗,蔡陳德,蘇濬賢,陳志瑋,林春宏, \| 證書號碼: ZL200610153707.1 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
具有電弧控制功能的大氣等離子體產生裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 吳清吉,蔡陳德,許文通 \| 證書號碼: ZL200810178844.X @ 經濟部產業技術司–專利資料集

處理系統及其等離子體產生裝置

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電漿產生裝置

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揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陳明道 ,劉昌和 , \| 證書號碼: ZL200810211084.8 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶圓級模封接合結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陸蘇財 ,莊敬業 ,林育民 \| 證書號碼: 8,384,215 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
感測裝置及其掃描驅動方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 沈煜棠 ,葉紹興 \| 證書號碼: 8,416,213 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200710184913.3 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200910202828.4 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: 8,391,520 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
照明裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃承揚 ,許詔開 \| 證書號碼: I402456 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 104 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 \| 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐 \| 證書號碼: 8,940,333 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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喜好色調之色彩轉換方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳君彥 \| 證書號碼: 190237
適用於校正雷射三次元量測器之方法及裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 羅文秀, 林明慧 \| 證書號碼: 191497
以特徵線分割重建規則化三維模型的方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳加珍, 羅文秀 \| 證書號碼: 194398
液晶顯示器的彩色濾光片	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 呂春福, 謝玉凌, 陳錦泰 \| 證書號碼: 196458
液晶顯示器的彩色濾光片	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 呂春福, 謝玉凌, 陳錦泰 \| 證書號碼: 6,703,173
多波長光源之光學掃描裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 劉貞豪 \| 證書號碼: 206645
光傳送模組之封裝	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 蕭正達, 高旻聖, 王炯宏 \| 證書號碼: 192247
光傳送模組之封裝	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 蕭正達, 高旻聖, 王炯宏 \| 證書號碼: 6,661,565
室溫紫外光增益之氮化物材料的氧化方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 何晉國, 黃兆年, 彭隆翰, 徐易千, 陳金源 \| 證書號碼: 204003
以低電壓製作塊狀鐵電性材料區域反轉之方式	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 彭隆瀚, 林宜慶, 房宜澂 \| 證書號碼: 186269
光加取多工器	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 林士強, 周維仁, 江行健, 吳俊雄 \| 證書號碼: 6,661,944
具有三端口的光學循環器	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 胡杰, 黃承彬, 廖浚男 \| 證書號碼: ZL01109959.3
表面層以複合材料CaF2和TiO2所構成且具撥水功能之光學鍍膜元件	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 蔡榮源, 林浪津, 崋沐怡 \| 證書號碼: I223009
分佈回饋式(DFB)半導體雷射及其製作方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 余昱辰, 郭宗南, 潘彥廷 \| 證書號碼: 194417
光盤承載裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 下世代光資訊系統技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 黃偉煜 \| 證書號碼: ZL00129763.5

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執行單位

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