一種化學氣相沉積設備及其氣體擴散裝置
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文一種化學氣相沉積設備及其氣體擴散裝置的核准國家是中華民國, 執行單位是金屬中心, 產出年度是103, 專利性質是發明, 計畫名稱是CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫, 專利發明人是吳奕達、李書鋒、吳春森, 證書號碼是I432602.

序號	14909
產出年度	103
領域別	綠能科技
專利名稱-中文	一種化學氣相沉積設備及其氣體擴散裝置
執行單位	金屬中心
產出單位	金屬中心
計畫名稱	CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫
專利發明人	吳奕達、李書鋒、吳春森
核准國家	中華民國
獲證日期	103/04/01
證書號碼	I432602
專利期間起	120/11/23
專利期間訖	一種化學氣相沉積設備及其氣體擴散裝置，該化學氣相沉積設備係於內部形成一反應腔室，且該化學氣相沉積設備設有連通該反應腔室的一製程氣體通入端及一排氣端，該反應腔室內設有一氣體擴散裝置，該氣體擴散裝置係包含：一基板，係包含一第一分區及一第二分區，該第一分區用以對位於一化學氣相沉積設備之製程氣體通入端，該第二分區鄰接該第一分區之外周邊；及數氣體通孔，係包含貫穿該基板的數第一通孔及數第二通孔，該數第一通孔及數第二通孔分別佈置在該基板之第一分區及第二分區，且該第二通孔之最小孔徑大於該第一通孔之最小孔徑。
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種化學氣相沉積設備及其氣體擴散裝置，該化學氣相沉積設備係於內部形成一反應腔室，且該化學氣相沉積設備設有連通該反應腔室的一製程氣體通入端及一排氣端，該反應腔室內設有一氣體擴散裝置，該氣體擴散裝置係包含：一基板，係包含一第一分區及一第二分區，該第一分區用以對位於一化學氣相沉積設備之製程氣體通入端，該第二分區鄰接該第一分區之外周邊；及數氣體通孔，係包含貫穿該基板的數第一通孔及數第二通孔，該數第一通孔及數第二通孔分別佈置在該基板之第一分區及第二分區，且該第二通孔之最小孔徑大於該第一通孔之最小孔徑。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	吳奕達
電話	*07-6955510311**
傳真	07-6955512
電子信箱	allenwu@mail.mirdc.org.tw
參考網址	(空)
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2023-07-05

序號

14909

產出年度

103

領域別

綠能科技

專利名稱-中文

一種化學氣相沉積設備及其氣體擴散裝置

執行單位

金屬中心

產出單位

金屬中心

計畫名稱

CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫

專利發明人

吳奕達、李書鋒、吳春森

核准國家

中華民國

獲證日期

103/04/01

證書號碼

I432602

專利期間起

120/11/23

專利期間訖

一種化學氣相沉積設備及其氣體擴散裝置，該化學氣相沉積設備係於內部形成一反應腔室，且該化學氣相沉積設備設有連通該反應腔室的一製程氣體通入端及一排氣端，該反應腔室內設有一氣體擴散裝置，該氣體擴散裝置係包含：一基板，係包含一第一分區及一第二分區，該第一分區用以對位於一化學氣相沉積設備之製程氣體通入端，該第二分區鄰接該第一分區之外周邊；及數氣體通孔，係包含貫穿該基板的數第一通孔及數第二通孔，該數第一通孔及數第二通孔分別佈置在該基板之第一分區及第二分區，且該第二通孔之最小孔徑大於該第一通孔之最小孔徑。

專利性質

發明

技術摘要-中文

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

吳奕達

電話

07-6955510*311

傳真

07-6955512

電子信箱

allenwu@mail.mirdc.org.tw

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備註

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特殊情形

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具熱膨脹間隙監測功能的加熱裝置

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電磁式同軸驅動射出裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院機械所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 精密機械技術研究發展四年計畫 \| 專利發明人: 許嘉峻, 鍾永鎮, 林家弘, 馮文宏, 陳明祈 \| 證書號碼: 221346
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