靜電式驅動之微繼電器及其製造方法
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文靜電式驅動之微繼電器及其製造方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是198718, 專利性質是發明, 執行單位是工研院電子所, 產出年度是93, 計畫名稱是工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫, 專利發明人是邱景宏, 顏凱翔, 王欽宏, 陳振頤, 房佩怡.

序號858
產出年度93
領域別(空)
專利名稱-中文靜電式驅動之微繼電器及其製造方法
執行單位工研院電子所
產出單位(空)
計畫名稱工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫
專利發明人邱景宏 | 顏凱翔 | 王欽宏 | 陳振頤 | 房佩怡
核准國家中華民國
獲證日期(空)
證書號碼198718
專利期間起(空)
專利期間訖(空)
專利性質發明
技術摘要-中文一種靜電式驅動之微繼電器及其製造方法,先利用互補式金氧半導體製程於矽晶片上製作出微繼電器之初步結構,再利用後加工製程-濕式化學蝕刻及無電極電鍍的方式完成微繼電器之製造;此方式可完全與積體電路互相整合,以進行量產,且在後加工製程中不需用到光罩,可有效簡化製程,並幫助降低製造的成本。(
技術摘要-英文(空)
聯絡人員楊倉錄
電話03-5914393
傳真03-5820434
電子信箱yangtl@itri.org.tw
參考網址http://www.itri.org.tw
備註原領域別為機械運輸,95年改為機電運輸
特殊情形(空)

序號

858

產出年度

93

領域別

(空)

專利名稱-中文

靜電式驅動之微繼電器及其製造方法

執行單位

工研院電子所

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫

專利發明人

邱景宏 | 顏凱翔 | 王欽宏 | 陳振頤 | 房佩怡

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

198718

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種靜電式驅動之微繼電器及其製造方法,先利用互補式金氧半導體製程於矽晶片上製作出微繼電器之初步結構,再利用後加工製程-濕式化學蝕刻及無電極電鍍的方式完成微繼電器之製造;此方式可完全與積體電路互相整合,以進行量產,且在後加工製程中不需用到光罩,可有效簡化製程,並幫助降低製造的成本。(

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

楊倉錄

電話

03-5914393

傳真

03-5820434

電子信箱

yangtl@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw

備註

原領域別為機械運輸,95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

根據識別碼 198718 找到的相關資料

(以下顯示 3 筆) (或要:直接搜尋所有 198718 ...)

蔡震樞

職稱: 監察人 | 持有股份數: 198718 | 所代表法人: | 殿基建設股份有限公司 | 統一編號: 86122116

@ 董監事資料集

許鴻政

職稱: 董事長 | 持有股份數: 198718 | 所代表法人: 華政開發有限公司 | 垚城地產股份有限公司 | 統一編號: 90613120

@ 董監事資料集

荔枝(黑葉)

工本價格: 198718.2808 | 成本項目: 第一種生產費 (22) | 年度: 2023 | 縣市別:

@ 農產品生產成本調查資料

蔡震樞

職稱: 監察人 | 持有股份數: 198718 | 所代表法人: | 殿基建設股份有限公司 | 統一編號: 86122116

@ 董監事資料集

許鴻政

職稱: 董事長 | 持有股份數: 198718 | 所代表法人: 華政開發有限公司 | 垚城地產股份有限公司 | 統一編號: 90613120

@ 董監事資料集

荔枝(黑葉)

工本價格: 198718.2808 | 成本項目: 第一種生產費 (22) | 年度: 2023 | 縣市別:

@ 農產品生產成本調查資料

[ 搜尋所有 198718 ... ]

根據名稱 靜電式驅動之微繼電器及其製造方法 找到的相關資料

無其他 靜電式驅動之微繼電器及其製造方法 資料。

[ 搜尋所有 靜電式驅動之微繼電器及其製造方法 ... ]

根據姓名 邱景宏 顏凱翔 王欽宏 陳振頤 房佩怡 找到的相關資料

無其他 邱景宏 顏凱翔 王欽宏 陳振頤 房佩怡 資料。

[ 搜尋所有 邱景宏 顏凱翔 王欽宏 陳振頤 房佩怡 ... ]

根據電話 03-5914393 找到的相關資料

(以下顯示 8 筆) (或要:直接搜尋所有 03-5914393 ...)

電化學蝕刻停止技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 懸膜厚度尺寸變化在±1μm。 | 潛力預估: 有替代技術,應用潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

鎳鈷及金微電鑄及製程技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 工件尺寸(max.) – Au : 24 cm (W) x 18(cm D) Ni : 25 cm (W) x 30 cm (D) Ni - Co: 20 cm (W) x 25 cm (D) ‧ 被... | 潛力預估: 應用潛力高

@ 技術司可移轉技術資料集

微鰭片散熱技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 | 領域: | 技術規格: Fin Size < 0.3mm, Fin Height < 10.2mm, Aspect Ratio >35 | 潛力預估: 應用潛力中

@ 技術司可移轉技術資料集

矽晶片濕蝕刻精密對準製程技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: KOH蝕刻參數及精密對準的光罩(error<0.2度)。 | 潛力預估: 體型微加工重要技術,應用潛力高

@ 技術司可移轉技術資料集

室溫熱像儀驅動顯示控制技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 | 領域: | 技術規格: (1)畫面速率 30Hz (2)視訊 NTSC標準 | 潛力預估: 應用潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

低表面缺陷非晶質矽膜之製作技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 製程溫度 : 300°C ,薄膜厚度 >2um | 潛力預估: 須搭配元件技術,應用潛力低

@ 技術司可移轉技術資料集

利用單晶矽之反應性蝕刻與金屬化等製程製作微機電元件

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 結構高度(max.) : > 10 um、寬度 : > 2 um、結構間隙 : > 2 um ‧ 深寬比 > 3 | 潛力預估: 單一光罩製程,製程簡單,應用潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

矽晶片蝕穿技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 矽蝕刻深度 > 525um ‧ 蝕刻率 > 4 um/min ‧ 蝕刻垂直度 > 89度 ‧ 深寬比 > 30 | 潛力預估: 潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

電化學蝕刻停止技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 懸膜厚度尺寸變化在±1μm。 | 潛力預估: 有替代技術,應用潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

鎳鈷及金微電鑄及製程技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 工件尺寸(max.) – Au : 24 cm (W) x 18(cm D) Ni : 25 cm (W) x 30 cm (D) Ni - Co: 20 cm (W) x 25 cm (D) ‧ 被... | 潛力預估: 應用潛力高

@ 技術司可移轉技術資料集

微鰭片散熱技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 | 領域: | 技術規格: Fin Size < 0.3mm, Fin Height < 10.2mm, Aspect Ratio >35 | 潛力預估: 應用潛力中

@ 技術司可移轉技術資料集

矽晶片濕蝕刻精密對準製程技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: KOH蝕刻參數及精密對準的光罩(error<0.2度)。 | 潛力預估: 體型微加工重要技術,應用潛力高

@ 技術司可移轉技術資料集

室溫熱像儀驅動顯示控制技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 微奈米系統應用技術四年計畫 | 領域: | 技術規格: (1)畫面速率 30Hz (2)視訊 NTSC標準 | 潛力預估: 應用潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

低表面缺陷非晶質矽膜之製作技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 製程溫度 : 300°C ,薄膜厚度 >2um | 潛力預估: 須搭配元件技術,應用潛力低

@ 技術司可移轉技術資料集

利用單晶矽之反應性蝕刻與金屬化等製程製作微機電元件

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 結構高度(max.) : > 10 um、寬度 : > 2 um、結構間隙 : > 2 um ‧ 深寬比 > 3 | 潛力預估: 單一光罩製程,製程簡單,應用潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

矽晶片蝕穿技術

執行單位: 工研院電子所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院精密製造與微機電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 矽蝕刻深度 > 525um ‧ 蝕刻率 > 4 um/min ‧ 蝕刻垂直度 > 89度 ‧ 深寬比 > 30 | 潛力預估: 潛力中等

@ 技術司可移轉技術資料集

[ 搜尋所有 03-5914393 ... ]

在『技術司專利資料集』資料集內搜尋:


與靜電式驅動之微繼電器及其製造方法同分類的技術司專利資料集

一種採用動態子視窗捨棄轉換編碼方法的視訊轉換編碼器及視訊通訊系統

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,711,212 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文

資料傳輸控制的系統與方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205016 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 吳垂蒼 | 徐偉倫 | 吳承菘 | 黃海陽

藉由網頁文件轉換與分配形成網站伺服叢集的方法與結構

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 184549 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 吳文哲 | 蔡駿逸 | 周慶華 | 黃海陽

具有數位放影機功能之視訊資料流傳輸方法與系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205017 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文 | 孫明廷 | 徐宏昇

具有數位放影機功能之視訊資料流傳輸方法與系統

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,738,980 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文 | 孫明廷 | 徐宏昇

針對範圍查尋且用來查尋資料符合設定規則的方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 197334 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 袁國華 | 陳文智

低複雜度之壓縮域視訊轉換編碼器與方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I221075 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文 | 蔡序開 | 羅嘉智

提供多路徑回聲消除之方法及系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 220603 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 吳政勳 | 吳安宇

以監測下載頻寬來管制網路流量之系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 197235 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 江家齊 | 林于勝 | 吳文哲

自動調整增益/頻寬迴路濾波器及其中之方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,696,886 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 柯俊男 | 黃正壹 | 范志鵬

使用後段脈衝處理濾波器技術之擁有快速收斂速率之平行化處理架構可調適決策回饋等化器

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,697,424 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 楊孟達 | 吳安宇

以多階網路遞迴式建構的累計和加法器網路

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,591,285 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李碩彥

特定限制下具備非阻塞特性的單模循環型交換器

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,657,998 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李碩彥

訊號處理方法及裝置

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,658,161 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 多媒體數位視訊技術發展三年計畫 | 專利發明人: 陳自強 | 謝勳璋

碼群組辨識與框邊界同步的方法與裝置

核准國家: 法國 | 證書號碼: 2816142 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 王惠民 | 吳如純 | 林慶鴻

一種採用動態子視窗捨棄轉換編碼方法的視訊轉換編碼器及視訊通訊系統

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,711,212 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文

資料傳輸控制的系統與方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205016 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 吳垂蒼 | 徐偉倫 | 吳承菘 | 黃海陽

藉由網頁文件轉換與分配形成網站伺服叢集的方法與結構

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 184549 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 吳文哲 | 蔡駿逸 | 周慶華 | 黃海陽

具有數位放影機功能之視訊資料流傳輸方法與系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 205017 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文 | 孫明廷 | 徐宏昇

具有數位放影機功能之視訊資料流傳輸方法與系統

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,738,980 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文 | 孫明廷 | 徐宏昇

針對範圍查尋且用來查尋資料符合設定規則的方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 197334 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 袁國華 | 陳文智

低複雜度之壓縮域視訊轉換編碼器與方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I221075 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 林嘉文 | 蔡序開 | 羅嘉智

提供多路徑回聲消除之方法及系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 220603 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 吳政勳 | 吳安宇

以監測下載頻寬來管制網路流量之系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 197235 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 江家齊 | 林于勝 | 吳文哲

自動調整增益/頻寬迴路濾波器及其中之方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,696,886 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 柯俊男 | 黃正壹 | 范志鵬

使用後段脈衝處理濾波器技術之擁有快速收斂速率之平行化處理架構可調適決策回饋等化器

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,697,424 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 楊孟達 | 吳安宇

以多階網路遞迴式建構的累計和加法器網路

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,591,285 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李碩彥

特定限制下具備非阻塞特性的單模循環型交換器

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,657,998 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 寬頻有線通訊系統技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李碩彥

訊號處理方法及裝置

核准國家: 美國 | 證書號碼: 6,658,161 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 多媒體數位視訊技術發展三年計畫 | 專利發明人: 陳自強 | 謝勳璋

碼群組辨識與框邊界同步的方法與裝置

核准國家: 法國 | 證書號碼: 2816142 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 王惠民 | 吳如純 | 林慶鴻

 |