一種運用於元件之微細尺寸機上量測之方法及系統
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專利名稱-中文一種運用於元件之微細尺寸機上量測之方法及系統的核准國家是中國大陸, 證書號碼是200610156377.1, 專利性質是發明, 執行單位是金屬中心, 產出年度是98, 計畫名稱是金屬中心機械與自動化環境建構計畫, 專利發明人是安乃駿、莊殷、陳勤志.

序號	6193
產出年度	98
領域別	(空)
專利名稱-中文	一種運用於元件之微細尺寸機上量測之方法及系統
執行單位	金屬中心
產出單位	(空)
計畫名稱	金屬中心機械與自動化環境建構計畫
專利發明人	安乃駿 \| 莊殷 \| 陳勤志
核准國家	中國大陸
獲證日期	(空)
證書號碼	200610156377.1
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	本發明係一種運用於元件之微細尺寸機上量測之方法，係包含提供一微細尺寸之機上量測系統步驟、提供一待測元件步驟、運用控制單元產出一量測路徑作業步驟、運用訊號單元產出一量測訊號作業，並傳送量測訊號至微細量測探頭步驟、進行微細量測探頭位移以電性測量方式量測元件之微細尺寸作業步驟及進行分析量測尺寸訊號作業步驟，當本發明實施運用時，係不需離線量測，且能提升元件成品之微細尺寸精度及提供更微小之量測尺度範圍，另外，本發明還包含一種運用於元件之微細尺寸機上量測之系統。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	安乃駿
電話	07-3513121轉2919
傳真	07-3533581
電子信箱	alan@mail.mirdc.org.tw
參考網址	http://www.mirdc.org.tw
備註	20101459-Joanne
特殊情形	(空)

序號

6193

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

一種運用於元件之微細尺寸機上量測之方法及系統

執行單位

金屬中心

產出單位

(空)

計畫名稱

金屬中心機械與自動化環境建構計畫

專利發明人

安乃駿 | 莊殷 | 陳勤志

核准國家

中國大陸

獲證日期

(空)

證書號碼

200610156377.1

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明係一種運用於元件之微細尺寸機上量測之方法，係包含提供一微細尺寸之機上量測系統步驟、提供一待測元件步驟、運用控制單元產出一量測路徑作業步驟、運用訊號單元產出一量測訊號作業，並傳送量測訊號至微細量測探頭步驟、進行微細量測探頭位移以電性測量方式量測元件之微細尺寸作業步驟及進行分析量測尺寸訊號作業步驟，當本發明實施運用時，係不需離線量測，且能提升元件成品之微細尺寸精度及提供更微小之量測尺度範圍，另外，本發明還包含一種運用於元件之微細尺寸機上量測之系統。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

安乃駿

電話

07-3513121轉2919

傳真

07-3533581

電子信箱

alan@mail.mirdc.org.tw

參考網址

http://www.mirdc.org.tw

備註

20101459-Joanne

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多孔性材料在陶瓷基板上平坦化	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,667,072 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院材料與化工領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 徐文泰, 盧榮宏, 廖聖茹, 張懷祿, 洪松慰, 黃瑞呈
自組成奈米介面結構在電子元件的應用	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194413 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院材料與化工領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 廖聖茹, 盧榮宏, 張懷祿, 陳炯雄, 黃依蘋, 周裕福, 潘浩然
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微米針頭陣列製造方法及其結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194421 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院材料與化工領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳玄芳, 周淑金, 葉信宏, 楊昀良, 顏佳瑩
薄膜之低溫成長方法與設備	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200889 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 彭成鑑, 陳豐彥
薄膜體聲波共振子濾波裝置及使用該裝置之雙工器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198451 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 邢泰剛, 戴建雄, 田慶成, 李耀東
具有表面奈米機能結構之材料及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I224079 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 陳一誠, 曾永寬, 林澤勝
平衡式架構之薄膜體聲波共振子濾波裝置及使用該裝置之雙工器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I224891 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 戴建雄, 邢泰剛, 田慶成, 李耀東
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製造含有多數個被動元件之單一積體化元件的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,737,282 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 鄭世裕, 陳雲田
一種具有多階反射率的可覆寫相變化型光記錄媒體結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220521 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 方敦盈, 曾美榕, 鄧明人, 蔡松雨
超高密度可錄式光資訊記錄媒體及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 曾美榕, 徐偉智, 蔡松雨, 鄧明人
有機電激發光裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207098 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 曾美榕, 劉仲明, 王俊凱, 林顯光

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