蝕刻結構側壁平坦化之方法
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專利名稱-中文蝕刻結構側壁平坦化之方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是I266367, 專利性質是發明, 執行單位是工研院醫材中心, 產出年度是95, 計畫名稱是微小化生醫診療工程及組織再生技術開發計畫, 專利發明人是翁國曜.

序號	2969
產出年度	95
領域別	(空)
專利名稱-中文	蝕刻結構側壁平坦化之方法
執行單位	工研院醫材中心
產出單位	(空)
計畫名稱	微小化生醫診療工程及組織再生技術開發計畫
專利發明人	翁國曜
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I266367
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種蝕刻結構側壁平坦化之方法，係於一基板進行深蝕刻製程以形成一凹槽後，於凹槽之表面形成一填補層，並利用高溫回流的製程使填補層填平此凹槽側壁之蝕刻波紋，以減少凹槽側壁之粗糙度。A method for smoothing the sidewall ripples of an etching structure applies to a substrate with an etching structure formed by deep reactive ion etching process. By forming an offset layer on the deep etching structure and then using the high temperature reflow process to smooth the sidewall ripples of the etching structure.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為生技醫藥，95年改為生醫材化
特殊情形	(空)

序號

2969

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

蝕刻結構側壁平坦化之方法

執行單位

工研院醫材中心

產出單位

(空)

計畫名稱

微小化生醫診療工程及組織再生技術開發計畫

專利發明人

翁國曜

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I266367

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種蝕刻結構側壁平坦化之方法，係於一基板進行深蝕刻製程以形成一凹槽後，於凹槽之表面形成一填補層，並利用高溫回流的製程使填補層填平此凹槽側壁之蝕刻波紋，以減少凹槽側壁之粗糙度。A method for smoothing the sidewall ripples of an etching structure applies to a substrate with an etching structure formed by deep reactive ion etching process. By forming an offset layer on the deep etching structure and then using the high temperature reflow process to smooth the sidewall ripples of the etching structure.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為生技醫藥，95年改為生醫材化

特殊情形

(空)

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微型生物培養裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 188117 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 微小化生醫診療工程技術四年計畫 \| 專利發明人: 姚南光, 翁國曜 @ 技術司專利資料集
微流體導引裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6743636 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 鍾震桂, 張為傑, 蕭价伶, 翁國曜 @ 技術司專利資料集
微流體裝置及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I274040 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院醫材中心 \| 產出年度: 96 \| 計畫名稱: 醫護電子與創新診療器材開發計畫 \| 專利發明人: 翁國曜 @ 技術司專利資料集
微型噴嘴之製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I282775 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院醫材中心 \| 產出年度: 96 \| 計畫名稱: 醫護電子與創新診療器材開發計畫 \| 專利發明人: 翁國曜黃建誌郭健葒姚良瑜王美雅 @ 技術司專利資料集
微流體裝置及其製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,541,578 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院醫材中心 \| 產出年度: 98 \| 計畫名稱: 醫護電子與創新診療器材開發計畫 \| 專利發明人: 翁國曜 @ 技術司專利資料集
流體裝置及其控制方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,794,665 \| 專利期間起: 99/09/14 \| 專利期間訖: 118/07/13 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 醫護電子與創新診療器材開發計畫 \| 專利發明人: 翁國曜 @ 技術司專利資料集
流體操控方法及系統、及其流體裝置和致動裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I320879 \| 專利期間起: 1999/2/21 \| 專利期間訖: 115/07/12 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 醫護電子與創新診療器材開發計畫 \| 專利發明人: 翁國曜 ,柯震宇 , @ 技術司專利資料集
流體裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,858,047 \| 專利期間起: 99/12/28 \| 專利期間訖: 118/07/01 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 預警及診斷醫療器材開發計畫 \| 專利發明人: 翁國曜,陳建安,柯震宇,蘇志賢,周念仁,楊志文, @ 技術司專利資料集

微型生物培養裝置

一種高速假撚方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207547 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院化工所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 高科技纖維與產品技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳哲陽、簡淑華、黃麗娟、黃泳彬 @ 技術司專利資料集
增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇、李榮賢、陳棓煌 @ 技術司專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 226177 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生、楊書榮 @ 技術司專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6496481 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲、馬金溝 @ 技術司專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6665253 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松、張啟伸 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 @ 技術司專利資料集
萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 157850 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 抗病毒及抗發炎中草藥研發及現代化技術平台之建立四年計畫 \| 專利發明人: 潘一紅、李連滋、邱惜禾、劉惠儒、姚心然 @ 技術司專利資料集

自組成奈米介面結構在電子元件的應用	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194413 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院材料與化工領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 廖聖茹, 盧榮宏, 張懷祿, 陳炯雄, 黃依蘋, 周裕福, 潘浩然
場發射源元件的金屬性奈米絲或奈米管的植入方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I221624 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院材料與化工領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 徐文泰, 盧榮宏, 周有偉, 葉國光, 戴椿河, 張志銘
微米針頭陣列製造方法及其結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194421 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院材料與化工領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳玄芳, 周淑金, 葉信宏, 楊昀良, 顏佳瑩
薄膜之低溫成長方法與設備	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200889 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 彭成鑑, 陳豐彥
薄膜體聲波共振子濾波裝置及使用該裝置之雙工器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198451 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 邢泰剛, 戴建雄, 田慶成, 李耀東
具有表面奈米機能結構之材料及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I224079 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 陳一誠, 曾永寬, 林澤勝
平衡式架構之薄膜體聲波共振子濾波裝置及使用該裝置之雙工器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I224891 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 戴建雄, 邢泰剛, 田慶成, 李耀東
積體化薄膜被動元件之製造方法及其結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 195323 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張宏宜, 鄭世裕, 許清淵
製造含有多數個被動元件之單一積體化元件的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,737,282 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 鄭世裕, 陳雲田
一種具有多階反射率的可覆寫相變化型光記錄媒體結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220521 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 方敦盈, 曾美榕, 鄧明人, 蔡松雨
超高密度可錄式光資訊記錄媒體及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 曾美榕, 徐偉智, 蔡松雨, 鄧明人
有機電激發光裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207098 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 曾美榕, 劉仲明, 王俊凱, 林顯光
積層質子交換膜、其製造方法以及包含該積層質子交換膜的直接甲醇進料型燃料電池	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 195331 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 陳中屏, 陳振鑾, 施志哲, 陳致源
氣體感測器及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 202724 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 魏碧玉, 賴宏仁, 蘇平貴, 吳仁彰, 林鴻明, 孫益陸
薄膜氣體擴散電極及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 190616 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 李文錦, 周淑金, 葉信宏, 陳冠良, 謝坤龍, 陳銘倫

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